一种RFGenerator通用控制盒制造技术

本发明专利技术涉及一种RF Generator通用控制盒，包括壳体，壳体正面设置有定时器、设定表头、一号数显表头和二号数显表头，定时器还配套设置有功率输出及定时电路，设定表头、一号数显表头和二号数显表头还配套设置有功率设定及信号反馈电路，定时器、设定表头、一号数显表头和二号数显表头之间通过电路相连；壳体的背面还设置有三号TIP插孔、I/L插孔、通讯端口、蜂鸣器、船型开关、BNC插头和供电插口，通讯端口配套设置有通讯连接电路，I/L插孔配套设置有外部信号输入电路，三号TIP插孔连接有功率设定及信号反馈电路，蜂鸣器还连接有状态指示电路，三号TIP插孔、I/L插孔、通讯端口、蜂鸣器、船型开关和供电插口之间通过电路相连。型开关和供电插口之间通过电路相连。型开关和供电插口之间通过电路相连。

【技术实现步骤摘要】
一种RF Generator通用控制盒


[0001]本专利技术涉及一种控制盒，尤其涉及一种RF Generator通用控制盒。

技术介绍

[0002]RF Generator为射频电源，射频电源广泛应用于半导体以及泛半导体领域，如显示面板、 LED和太阳能光伏行业、新材料，科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等。在芯片生产中主要应用于等离子体刻蚀和等离子增强气相沉积这两种设备上。对于不同型号的射频电源的控制与测试往往程序复杂、方法繁多，所用控制盒与测试平台也大不相同。
[0003]为了解决上述问题，本专利技术提供一种RF Generator通用控制盒。可以实现对不同型号的射频电源进行控制与测试。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种RF Generator通用控制盒。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种RF Generator通用控制盒，包括壳体，所述壳体正面设置有定时器、设定表头、一号数显表头和二号数显表头，所述定时器还配套设置有功率输出及定时电路，所述设定表头、所述一号数显表头和所述二号数显表头还配套设置有功率设定及信号反馈电路，所述定时器、所述设定表头、所述一号数显表头和所述二号数显表头之间通过电路相连；
[0007]所述壳体的背面还设置有三号TIP插孔、I/L插孔、通讯端口、蜂鸣器、船型开关、BNC 插头和供电插口，所述通讯端口配套设置有通讯连接电路，所述I/L插孔配套设置有外部信号输入电路，所述三号TIP插孔连接有所述功率设定及信号反馈电路，所述蜂鸣器还连接有状态指示电路，所述三号TIP插孔、所述I/L插孔、所述通讯端口、所述蜂鸣器、所述船型开关和所述供电插口之间通过电路相连。
[0008]进一步的，所述壳体还设置有一号拨位开关和三号拨位开关，所述一号拨位开关和三号拨位开关连接了所述功率设定及信号反馈电路，所述功率设定及信号反馈电路中设置有续流二极管FWD1、置位开关SET1和基准电压开关REF1，所述续流二极管FWD1、所述置位开关SET1 和所述基准电压开关REF1的引脚分别接地，所述设定表头与所述置位开关SET1相连，所述一号拨位开关和三号拨位开关分别与所述基准电压开关REF1和所述续流二极管FWD1相连，所述一号数显表头和所述二号数显表头分别与所述续流二极管FWD1和所述基准电压开关 REF1的引脚相连相连。
[0009]进一步的，还包括有二号拨位开关，所述二号拨位开关与所述一号拨位开关并联。
[0010]进一步的，还包括有一号TIP插孔和二号TIP插孔，所述一号TIP插孔、所述二号TIP 插孔和所述三号TIP插孔分别与所述功率设定及信号反馈电路相连。
[0011]进一步的，所述壳体还包括有四号拨位开关和五号拨位开关，所述四号拨位开关
和所述五号拨位开关与所述功率输出及定时电路相连；
[0012]所述功率输出及定时电路包括有定时器TIMER1、射频开关RF_ON1、真空锁LAOD_LOCK1、继电器K1、场效应管Q1、光耦J3和场效应管Q2，所述五号拨位开关与所述定时器相连，所述定时器与所述定时器TIMER1相连，所述定时器TIMER1的引脚1和所述真空锁LAOD_LOCK1的引脚2与四号拨位开关相连，所述定时器TIMER1的引脚2与所述射频开关RF_ON1的引脚1相连，所述射频开关RF_ON1的引脚2与所述继电器K1的引脚3相连，所述真空锁LAOD_LOCK1的引脚1与所述继电器K1的引脚1相连，所述场效应管Q1的源极接地，所述场效应管Q1的源极和地之间还串联有继电器K1，所述继电器K1的两端还并联有二极管D4，且所述二极管D4的正极朝向所述场效应管Q1的方向，所述场效应管Q1的漏极接12V电源，所述场效应管Q1的栅极接所述光耦J3的引脚4，所述场效应管Q1的漏极和栅极之间还连接有电阻R4，所述光耦J3的引脚3接地，所述光耦J3的引脚1接5V电源，所述光耦J3的引脚2与所述场效应管Q2的漏极相连，所述光耦J3的引脚2与所述场效应管Q2的漏极之间还串联有电阻R5，所述场效应管Q2的源极接地且源极和栅极之间并联有电阻R11，所述场效应管Q2的栅极与所述四号拨位开关相连，所述场效应管Q2的的栅极与所述四号拨位开关之间还串联有电阻R10。
[0013]进一步的，所述壳体上还设置有ACON指示灯、RFON指示灯、MAXPOWER指示灯和OVERTEMP指示灯，所述ACON指示灯、所述RFON指示灯、所述MAXPOWER指示灯和所述OVERTEMP指示灯与所述状态指示电路相连；
[0014]所述状态指示电路还分为绿灯模块和警示模块，所述绿灯模块分为两部分别为电源输入模块和射频功率输出模块，电源输入模块和射频功率输出模块分别与所述ACON指示灯和所述RFON指示灯相连，所述警示模块与MAXPOWER指示灯、OVERTEMP指示灯和蜂鸣器相连。
[0015]进一步的，所述电源输入模块包括ACON指示灯，所述ACON指示灯的引脚1接12V电源，所述ACON指示灯的引脚2与插口P5的引脚1相连，所述ACON指示灯的引脚2与插口P5的引脚1之间还串联有电阻R20，所述插口P5的引脚1与光耦J6的引脚4相连，所述光耦J6的引脚1与所述插口P5的引脚3相连，所述光耦J6的引脚1与所述插口P5的引脚3之间串联有电阻R23，所述光耦J6的引脚2和引脚3相连；
[0016]所述射频功率输出模块包括有RFON指示灯，所述RFON指示灯的引脚1接12V电源，所述RFON指示灯的引脚2与插口P7的引脚1相连，所述RFON指示灯的引脚2与插口P7的引脚1之间还串联有电阻R24，所述插口P7的引脚1与光耦J7的引脚4相连，所述光耦J7的引脚1与所述插口P7的引脚3相连，所述光耦J7的引脚1与所述插口P7的引脚3之间串联有电阻R25，所述光耦J7的引脚2和引脚3相连；
[0017]所述警示模块包括MAXPOWER指示灯、OVERTEMP指示灯、九号拨位开关和蜂鸣器，所述九号拨位开关与所述蜂鸣器串联后与MAXPOWER指示灯和OVERTEMP指示灯的引脚1分别相连，所述MAXPOWER指示灯的引脚2通过电阻R18与插口P4的引脚1相连，插口P4与光耦J4相连，所述OVERTEMP指示灯的引脚2与插口P6相连，所述插口P6与光耦J5相连。
[0018]进一步的，还包括有通讯扩展电路，所述通讯扩展电路包括有收发器U2和收发器U3，所述收发器U2的引脚1和引脚4分别与所述收发器U3的引脚1和引脚4对应相连，所述收发器U2引脚7和引脚6分别接地，所述收发器U2引脚7和地之间还串联有电阻R7和二极管D3
且二极管D3的正极端接地，所述收发器U2引脚6和地之间还串联有二极管D5且二极管 D5的正极端接地；所述收发器U3的引脚8、引脚7、引脚6和引脚5接地，所述收发器U3 的引脚8和地之间串联有电阻R12和二极管D6，所述收发器U本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种RF Generator通用控制盒，其特征在于：包括壳体，所述壳体正面设置有定时器、设定表头、一号数显表头和二号数显表头，所述定时器还配套设置有功率输出及定时电路，所述设定表头、所述一号数显表头和所述二号数显表头还配套设置有功率设定及信号反馈电路，所述定时器、所述设定表头、所述一号数显表头和所述二号数显表头之间通过电路相连；所述壳体的背面还设置有三号TIP插孔、I/L插孔、通讯端口、蜂鸣器、船型开关、BNC插头和供电插口，所述通讯端口配套设置有通讯连接电路，所述I/L插孔配套设置有外部信号输入电路，所述三号TIP插孔连接有所述功率设定及信号反馈电路，所述蜂鸣器还连接有状态指示电路，所述三号TIP插孔、所述I/L插孔、所述通讯端口、所述蜂鸣器、所述船型开关和所述供电插口之间通过电路相连。2.根据权利要求1所述的RF Generator通用控制盒，其特征在于：所述壳体还设置有一号拨位开关和三号拨位开关，所述一号拨位开关和三号拨位开关连接了所述功率设定及信号反馈电路，所述功率设定及信号反馈电路中设置有续流二极管FWD1、置位开关SET1和基准电压开关REF1，所述续流二极管FWD1、所述置位开关SET1和所述基准电压开关REF1的引脚分别接地，所述设定表头与所述置位开关SET1相连，所述一号拨位开关和三号拨位开关分别与所述基准电压开关REF1和所述续流二极管FWD1相连，所述一号数显表头和所述二号数显表头分别与所述续流二极管FWD1和所述基准电压开关REF1的引脚相连相连。3.根据权利要求2所述的RF Generator通用控制盒，其特征在于：还包括有二号拨位开关，所述二号拨位开关与所述一号拨位开关并联。4.根据权利要求2所述的RF Generator通用控制盒，其特征在于：还包括有一号TIP插孔和二号TIP插孔，所述一号TIP插孔、所述二号TIP插孔和所述三号TIP插孔分别与所述功率设定及信号反馈电路相连。5.根据权利要求1所述的RF Generator通用控制盒，其特征在于：所述壳体还包括有四号拨位开关和五号拨位开关，所述四号拨位开关和所述五号拨位开关与所述功率输出及定时电路相连；所述功率输出及定时电路包括有定时器TIMER1、射频开关RF_ON1、真空锁LAOD_LOCK1、继电器K1、场效应管Q1、光耦J3和场效应管Q2，所述五号拨位开关与所述定时器相连，所述定时器与所述定时器TIMER1相连，所述定时器TIMER1的引脚1和所述真空锁LAOD_LOCK1的引脚2与四号拨位开关相连，所述定时器TIMER1的引脚2与所述射频开关RF_ON1的引脚1相连，所述射频开关RF_ON1的引脚2与所述继电器K1的引脚3相连，所述真空锁LAOD_LOCK1的引脚1与所述继电器K1的引脚1相连，所述场效应管Q1的源极接地，所述场效应管Q1的源极和地之间还串联有继电器K1，所述继电器K1的两端还并联有二极管D4，且所述二极管D4的正极朝向所述场效应管Q1的方向，所述场效应管Q1的漏极接12V电源，所述场效应管Q1的栅极接所述光耦J3的引脚4，所述场效应管Q1的漏极和栅极之间还连接有电阻R4，所述光耦J3的引脚3接地，所述光耦J3的引脚1接5V电源，所述光耦J3的引脚2与所述场效应管Q2的漏极相连，所述光耦J3的引脚2与所述场效应管Q2的漏极之间还串联有电阻R5，所述场效应管Q2的源极接地且源极和栅极之间并联有电阻R11，所述场效应管Q2的栅极与所述四号拨位开关相连，所述场效应管Q2的栅极与所述四号拨位开关之间还串联有电阻R10。6.根据权利要求1所述的RF Generator通用控制盒，其特征在于：所述壳体上还设置有
AC ON指示灯、RF ON指示灯、MAX POWER指示灯和OVER TEMP指示灯，所述AC ON指示灯、所述RF ON指示灯、所述MAX POWER指示灯和所述OVER TEMP指示灯与所述状态指示电路相连；所述状态指示电路还分为绿灯模块和警示模块，所述绿灯模块分为两部分别为电源输入模块和射频功率输出模...

【专利技术属性】
技术研发人员：张利娜，庆光明，
申请(专利权)人：江苏志文半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：