【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于热阴极直线等离子体加热，具体涉及一种直接加热型六硼化镧热阴极结构及其制作方法。
技术介绍
1、直线等离子体装置被广泛用于研究聚变反应堆应用中的等离子体与材料相互作用(pmi)。该设备能够在实验室中产生低能高通量的氘/氦等离子体，模拟聚变堆中偏滤器部分的等离子体环境，有助于深入研究聚变堆中的pmi过程。在热阴极等离子体源直线等离子体装置内，常采用六硼化镧作为热阴极，通过给六硼化镧后方的钨丝通电产生焦耳热，间接加热六硼化镧。当六硼化镧达到一定温度时，会释放大量电子，在外加强电场的作用下，电离通入气体产生等离子体。目前传统的加热模式多为间接加热型，即通过钨丝的热辐射间接加热六硼化镧，存在能效低、钨丝受热过程易变形、加热不均匀等问题。
技术实现思路
1、综上所述，本专利技术的目的在于提供一种直接加热型六硼化镧热阴极结构及其制作方法，简化了六硼化镧加工难度，拐角处用钼电极连接，解决了六硼化镧拐角处易断裂的问题。此外，该新型结构满足了对六硼化镧直接加热的需求，改善了加热不均匀、能效低的问题，可以稳定地、高效率地产生等离子体，对聚变装置设计和半导体器件等离子体刻蚀处理等研究都提供了重要的贡献。
2、为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种直接加热型六硼化镧热阴极结构，包括若干立方六硼化镧长块，所述立方六硼化镧长块依次通过钼电极串联连通，所述立方六硼化镧长块为偶数块，并排状呈平面分布。
3、进一步的，首尾的立方六硼化镧长块外端也连接有钼电极。
<...【技术保护点】
1.一种直接加热型六硼化镧热阴极结构，其特征在于，包括若干立方六硼化镧长块，所述立方六硼化镧长块依次通过钼电极串联连通，所述立方六硼化镧长块为偶数块，并排状呈平面分布。
2.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，首尾的立方六硼化镧长块外端也连接有钼电极。
3.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，所述立方六硼化镧长块与钼电极之间填充石墨片。
4.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，所述立方六硼化镧长块之间由氮化硼绝缘件相隔。
5.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，所述钼电极中空呈半开口块状结构，钼电极上设置有上下贯穿的孔1。
6.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，所述氮化硼绝缘件包括隔断部和连接部，所述连接部对应钼电极孔1处设置有贯穿的孔2，所述隔断部为固定于所述连接部上的绝缘片状结构。
7.所述六硼化镧热阴极结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
8.如权利要求7所述六硼化镧热阴极结构的制备方法，其特征在于，步骤S3固定的
...【技术特征摘要】
1.一种直接加热型六硼化镧热阴极结构，其特征在于，包括若干立方六硼化镧长块，所述立方六硼化镧长块依次通过钼电极串联连通，所述立方六硼化镧长块为偶数块，并排状呈平面分布。
2.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，首尾的立方六硼化镧长块外端也连接有钼电极。
3.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，所述立方六硼化镧长块与钼电极之间填充石墨片。
4.如权利要求1所述的六硼化镧热阴极结构，其特征在于，所述立方六硼化镧长块之间由氮化硼绝缘件相隔。
5.如权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：程龙，尹皓，张梦琦，彭加官，袁悦，吕广宏，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：
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