断线控制方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种断线控制方法、装置、设备及介质。该方法包括：在本次直拉单晶过程中获取特征数据，采用断线预测模型根据特征数据，确定本次直拉单晶过程会发生断线，获取断线预测模型中特征权重从高到低排序靠前的重要特征数据以及特征权重和预设工艺参数配置信息，根据预设工艺参数配置信息，确定重要特征数据对应的可调工艺参数以及调整信息，根据特征权重和对应的调整信息，对可调工艺参数进行调整，以控制在本次直拉单晶过程不发生断线，使得本次直拉单晶过程的断线能够准确的提前预测，并据此自动完成对工艺参数的调整，避免了断线判断不准确和工艺参数调整不及时的问题，减低断线问题的发生率，继而提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备，特别是涉及一种断线控制方法、一种断线控制装置、一种电子设备以及一种存储介质。

技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主，利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、其中，当多晶硅原料融化完成后，还不能马上开始引晶，因为这时的温度要高于引晶温度，还必须经过降温，将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触，在引晶温度下，硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长，从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径，在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长，直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体，以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后，进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤，在该步骤中，通过对氧含量和温度的自动控制，让晶体将按照设定的直径等径生长。</p>

3、在单本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种断线控制方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述预设工艺参数配置信息，确定所述重要特征数据对应的可调工艺参数以及调整信息，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调整信息包括调整系数，所述根据所述重要特征数据的特征权重，和对应的可调工艺参数的调整信息，对所述可调工艺参数进行调整，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述重要特征数据的特征权重和对应的调整系数的乘积，确定对应的所述可调工艺参数的调整量，包括：

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述调整信...

【技术特征摘要】

1.一种断线控制方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述预设工艺参数配置信息，确定所述重要特征数据对应的可调工艺参数以及调整信息，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调整信息包括调整系数，所述根据所述重要特征数据的特征权重，和对应的可调工艺参数的调整信息，对所述可调工艺参数进行调整，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述重要特征数据的特征权重和对应的调整系数的乘积，确定对应的所述可调工艺参数的调整量，包括：

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述调整信息还包括调整范围，在所述根据所述可调工艺参数的调整量，对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王正远，张伟建，郭力，杨正华，李广砥，周宏坤，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：