一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置制造方法及图纸

技术编号:41039438 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-23 21:36
本技术提供一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,包括与真空门框固定连接的固定座、设于所述固定座上的液压驱动件、设于所述液压驱动件输出端上的压紧座和铰接连接于所述压紧座与所述固定座之间的连杆机构,所述液压驱动件可驱动所述压紧座相对所述固定座转动以将真空门体压紧于真空门框上或释放。本技术采用上述结构,可通过液压驱动来实现真空门体的开闭,液压闭门可使真空门体受力均匀,使其往真空门框压紧贴合得更紧密,能有效解决超大型重型的真空门组件关门不严的技术问题,保证真空箱室的密封性,避免其在真空抽气时出现漏气的现象。

【技术实现步骤摘要】


技术介绍


技术实现思路

【技术保护点】

1.一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于包括与真空门框(100)固定连接的固定座(1)、设于所述固定座(1)上的液压驱动件(2)、设于所述液压驱动件(2)输出端上的压紧座(3)和铰接连接于所述压紧座(3)与所述固定座(1)之间的连杆机构(4),所述液压驱动件(2)可驱动所述压紧座(3)相对所述固定座(1)转动以将真空门体(200)压紧于真空门框(100)上或释放。

2.根据权利要求1所述的一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于所述连杆机构(4)包括拉杆(41)和设于所述拉杆(41)两端的转轴(42),两所述转轴(42)分别与所述压紧座(3)和所述固定座(1)转动连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于所述压紧座(3)的两侧均设有所述连杆机构(4)。

4.根据权利要求1所述的一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于所述压紧座(3)的外端设有弧形压紧块(5)。

5.根据权利要求4所述的一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于所述液压驱动件(2)采用液压缸,其输出端上设有连接块(6),所述连接块(6)的内端设有与所述压紧座(3)的内端转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于所述固定座(1)的截面呈L型,其短边外端与所述液压驱动件(2)固定连接,其长边与真空门框(100)固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于包括与真空门框(100)固定连接的固定座(1)、设于所述固定座(1)上的液压驱动件(2)、设于所述液压驱动件(2)输出端上的压紧座(3)和铰接连接于所述压紧座(3)与所述固定座(1)之间的连杆机构(4),所述液压驱动件(2)可驱动所述压紧座(3)相对所述固定座(1)转动以将真空门体(200)压紧于真空门框(100)上或释放。

2.根据权利要求1所述的一种超大型真空镀膜设备的液动压门装置,其特征在于所述连杆机构(4)包括拉杆(41)和设于所述拉杆(41)两端的转轴(42),两所述转轴(42)分别与所述压紧座(3)和所述固定座(1)转动连接。

3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙广大姜翠宁
申请(专利权)人:浙江生波智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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