【技术实现步骤摘要】
本申请涉及高低温测试，尤其涉及一种高低温测试装置。
技术介绍
1、随着半导体产业的飞速发展，人们对芯片温度工作范围提出了更高的要求，企业为加快产品上市，在研发阶段就对芯片高低温性能进行验证。高低温测试装置作为给芯片提供高低温模拟环境的主要部件，在芯片高低温验证阶段扮演着重要角色。
2、目前市面上的空气冷却型装置主要是利用将空气加热到一定温度后与冷盘交换，来达到给冷盘升降温的效果。由于温度传感器位于冷盘端，而空气加热器相距冷盘两米甚至更长距离，导致温度传感器的数据采集和加热器控制的相应时间很长，温度稳定性控制难度大，需要积累大量的经验数据才能在短时间达到温度稳定的效果。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种高低温测试装置，用于解决现有的高低温测试装置温度稳定性控制难度大的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提供一种高低温测试装置，包括：
3、冷热台，内部设置有气体流道，所述气体流道具有进气口和排气口；
4、第一温度传感器，设置于所述冷热台内，用于检测所述冷热台的温度；
5、冷气输送管路，包括第一输气管以及设置于所述第一输气管上的第一流量控制器和制冷组件；所述第一输气管的输入端用于输入空气，输出端与所述进气口连通；
6、热气输送管路，包括第二输气管以及沿气体的流动方向依此设置于所述第二输气管上的第二流量控制器、空气加热器和第二温度传感器；所述第二输气管的输入端用于输入空气，输出端与所述进气口连通；以及
...【技术保护点】
1.一种高低温测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述制冷组件包括热交换器和制冷机，所述热交换器的空气管路与所述第一输气管连通，所述热交换器的冷媒管路与所述制冷机连通，所述制冷机用于向所述热交换器的冷媒管路提供可供热交换的低温冷媒，所述控制器的输出端通信连接于所述制冷机。
3.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述空气加热器包括设置于所述第二输气管内部的内置加热器，或者
4.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述控制器的输入端无线通信连接于所述第一温度传感器和所述第二温度传感器，所述控制器的输出端无线通信连接于所述第一流量控制器、所述制冷组件、所述第二流量控制器和所述空气加热器。
5.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述高低温测试装置还包括主输气管，所述主输气管的输入端用于输入空气，所述主输气管的输出端与所述第一输气管的输入端和所述第二输气管的输入端连通。
6.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述制冷组件与所述冷热台
7.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述控制器包括可编程逻辑控制器。
...【技术特征摘要】
1.一种高低温测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述制冷组件包括热交换器和制冷机，所述热交换器的空气管路与所述第一输气管连通，所述热交换器的冷媒管路与所述制冷机连通，所述制冷机用于向所述热交换器的冷媒管路提供可供热交换的低温冷媒，所述控制器的输出端通信连接于所述制冷机。
3.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述空气加热器包括设置于所述第二输气管内部的内置加热器，或者
4.根据权利要求1所述的高低温测试装置，其特征在于，所述控制器的输入端无线通信连接于所述第一温...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖宇，
申请(专利权)人：长沙翼望半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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