一种硅片高温板链式输送装置制造方法及图纸

技术编号:41017737 阅读:23 留言:0更新日期:2024-04-18 22:01
本技术公开了一种硅片高温板链式输送装置,属于硅片输送技术领域,包括加热腔体,设置在加热腔体下方的板链式输送机,加热腔体底端沿长度方向贯穿设有通槽,板链式输送机的链条上并排设有多个下层托架,多个下层托架顶部侧面设有插槽,多个插槽中插接连接有上层托架,多个上层托架顶端穿过通槽延伸至加热腔体内部且并排设有多个支撑杆,多个支撑杆顶端外侧插接连接有陶瓷帽,多个下层托架顶部螺纹连接有将上层托架底部固定在插槽中的紧固件,硅片在运载过程中不会发生相对位移,防止磨损、划伤硅片,板链式输送机远离加热腔体,防止受高温影响发生形变,不会产生粉尘,满足了加热腔体洁净度的要求,提高了适用范围。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片输送,尤其是一种硅片高温板链式输送装置


技术介绍

1、在现有的光伏电池生产过程中,在某些特定工段,硅片会经历1000℃左右甚至以上高温工艺,在满足高温工艺需求的同时要实现硅片在运输时的平稳性,减少硅片表面划伤;

2、目前比较先进的采用耐高温材质的滚轴输送硅片的方式,但当工艺温度超过800℃时,由于在超高温环境下,滚轴极易发生变形,硅片与滚轴表面会出现相互摩擦而出现划伤;

3、还有一种使用较多的是网带输送硅片,这种工况一般对于加热腔体内的洁净度要求不高,原因是网带材质一般采取金属材质才能防止在高温下快速变形、断裂问题,且网带下方均需要耐磨支撑条,这样网带和支撑条之间会出现磨损掉粉,金属粉尘会污染加热腔体内部;导致一些洁净度要求高的工段无法使用该方案输送硅片。


技术实现思路

1、技术目的:提供一种硅片高温板链式输送装置,以解决现有技术存在的上述问题。

2、技术方案:一种硅片高温板链式输送装置,包括加热腔体,设置在加热腔体下方的板链式输送机,所述加热腔体底端沿长度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片高温板链式输送装置,包括加热腔体(13),设置在加热腔体(13)下方的板链式输送机(1),其特征在于,所述加热腔体(13)底端沿长度方向贯穿设有通槽(14),所述板链式输送机(1)的链条上并排设有多个下层托架(2),多个所述下层托架(2)顶部侧面设有插槽(3),多个所述插槽(3)中插接连接有上层托架(4),多个所述上层托架(4)顶端穿过通槽(14)延伸至加热腔体(13)内部且并排设有多个支撑杆(5),多个所述支撑杆(5)顶端外侧插接连接有陶瓷帽(8),多个所述下层托架(2)顶部螺纹连接有将上层托架(4)底部固定在插槽(3)中的紧固件。

2.根据权利要求1所述的一种...

【技术特征摘要】

1.一种硅片高温板链式输送装置,包括加热腔体(13),设置在加热腔体(13)下方的板链式输送机(1),其特征在于,所述加热腔体(13)底端沿长度方向贯穿设有通槽(14),所述板链式输送机(1)的链条上并排设有多个下层托架(2),多个所述下层托架(2)顶部侧面设有插槽(3),多个所述插槽(3)中插接连接有上层托架(4),多个所述上层托架(4)顶端穿过通槽(14)延伸至加热腔体(13)内部且并排设有多个支撑杆(5),多个所述支撑杆(5)顶端外侧插接连接有陶瓷帽(8),多个所述下层托架(2)顶部螺纹连接有将上层托架(4)底部固定在插槽(3)中的紧固件。

2.根据权利要求1所述的一种硅片高温板链式输送装置,其特征在于,多个所述上层托架(4)底部设有腰孔(7),多个所述腰孔(7)位于紧固件外侧。

3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:任常瑞王敏陈楷
申请(专利权)人:常州时创能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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