【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片输送,尤其是一种硅片高温板链式输送装置。
技术介绍
1、在现有的光伏电池生产过程中,在某些特定工段,硅片会经历1000℃左右甚至以上高温工艺,在满足高温工艺需求的同时要实现硅片在运输时的平稳性,减少硅片表面划伤;
2、目前比较先进的采用耐高温材质的滚轴输送硅片的方式,但当工艺温度超过800℃时,由于在超高温环境下,滚轴极易发生变形,硅片与滚轴表面会出现相互摩擦而出现划伤;
3、还有一种使用较多的是网带输送硅片,这种工况一般对于加热腔体内的洁净度要求不高,原因是网带材质一般采取金属材质才能防止在高温下快速变形、断裂问题,且网带下方均需要耐磨支撑条,这样网带和支撑条之间会出现磨损掉粉,金属粉尘会污染加热腔体内部;导致一些洁净度要求高的工段无法使用该方案输送硅片。
技术实现思路
1、技术目的:提供一种硅片高温板链式输送装置,以解决现有技术存在的上述问题。
2、技术方案:一种硅片高温板链式输送装置,包括加热腔体,设置在加热腔体下方的板链式输送机,所
...【技术保护点】
1.一种硅片高温板链式输送装置,包括加热腔体(13),设置在加热腔体(13)下方的板链式输送机(1),其特征在于,所述加热腔体(13)底端沿长度方向贯穿设有通槽(14),所述板链式输送机(1)的链条上并排设有多个下层托架(2),多个所述下层托架(2)顶部侧面设有插槽(3),多个所述插槽(3)中插接连接有上层托架(4),多个所述上层托架(4)顶端穿过通槽(14)延伸至加热腔体(13)内部且并排设有多个支撑杆(5),多个所述支撑杆(5)顶端外侧插接连接有陶瓷帽(8),多个所述下层托架(2)顶部螺纹连接有将上层托架(4)底部固定在插槽(3)中的紧固件。
2.根据
...【技术特征摘要】
1.一种硅片高温板链式输送装置,包括加热腔体(13),设置在加热腔体(13)下方的板链式输送机(1),其特征在于,所述加热腔体(13)底端沿长度方向贯穿设有通槽(14),所述板链式输送机(1)的链条上并排设有多个下层托架(2),多个所述下层托架(2)顶部侧面设有插槽(3),多个所述插槽(3)中插接连接有上层托架(4),多个所述上层托架(4)顶端穿过通槽(14)延伸至加热腔体(13)内部且并排设有多个支撑杆(5),多个所述支撑杆(5)顶端外侧插接连接有陶瓷帽(8),多个所述下层托架(2)顶部螺纹连接有将上层托架(4)底部固定在插槽(3)中的紧固件。
2.根据权利要求1所述的一种硅片高温板链式输送装置,其特征在于,多个所述上层托架(4)底部设有腰孔(7),多个所述腰孔(7)位于紧固件外侧。
3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:任常瑞,王敏,陈楷,
申请(专利权)人:常州时创能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。