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本技术公开了一种硅片高温板链式输送装置，属于硅片输送技术领域，包括加热腔体，设置在加热腔体下方的板链式输送机，加热腔体底端沿长度方向贯穿设有通槽，板链式输送机的链条上并排设有多个下层托架，多个下层托架顶部侧面设有插槽，多个插槽中插接连接有上...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。

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