【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及污水治理，尤其涉及一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统。
技术介绍
1、半导体氨氮废水主要来自于半导体生产过程中的清洗、蚀刻、切割和抛光等工艺。这些工艺会产生大量的废水。这种废水的主要成分是氨氮，同时还含有一定量的有机物和无机盐等。由于氨氮具有一定的毒性和难以降解的特性，因此半导体氨氮废水对环境造成的影响较大，如果随意排放，会给水环境带来极大的污染，需要采取有效的处理措施。
2、半导体含氨废水浓度高，常规的生物处理工艺（生物脱氮）无法在如此高浓度的情况下运行，超过了微生物的承受范围。因此迫切需要一种新的工艺来替代。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，可以有效地从高浓度废水中移除氨氮。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
3、一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，包括依次连通的废水均和池、ph调节池、中继池、锰砂过滤器、一级换热器、二级换热器、一级吹脱塔、二级吹脱塔以及吸收塔；所述二级吹脱塔设有二级吹脱出水管，所述二级吹脱出水管与所述一级换热器连通，所述一级换热器回收所述二级吹脱塔出水的热量；所述一级吹脱塔、所述二级吹脱塔以及所述吸收塔均安装有用于循环气体的吹脱风机，所述吹脱风机使气体沿所述吸收塔、所述二级吹脱、所述一级吹脱塔以及所述吸收塔的顺序循环。
4、采用上述技术方案，将高浓度含氨废水通入处理系统，利用锰砂过滤器去除废水中的双氧水，利用一级换热
5、优选的，所述锰砂过滤器内设有用于分解废液中的双氧水的锰砂层，所述锰砂过滤器内还设有用于防止锰砂层堵塞的防止件，所述防止件通过对废水进行预处理过滤废水中的悬浮物，从而防止所述锰砂层堵塞。
6、采用上述技术方案，通过防止件的设置，对废水进行预处理过滤悬浮物，从而防止了锰砂层的堵塞，确保了锰砂层的长效稳定运行；同时，减少了对锰砂层的维护和更换频率，从而降低了整个废水处理系统的运行成本。
7、优选的，所述防止件为设于所述锰砂过滤器内的过滤板，所述过滤板位于所述锰砂层的上方，所述锰砂过滤器的侧壁设有用于抖动所述过滤板的抖动件。
8、采用上述技术方案，含氨废水进入锰砂过滤器，首先经过过滤板，过滤板将废水中的悬浮物拦截，有利于减少悬浮物进入锰砂层并造成堵塞的情况，然后废水再进入锰砂层，去除废水中的双氧水；当过滤板上积累了过多的悬浮物，堵塞部分过滤板时，激活抖动件抖动过滤板，减少附着在过滤板上的悬浮物，通过设置一个可抖动的过滤板，可以有效减少过滤板的堵塞问题，从而提高了系统的过滤效率。
9、优选的，所述抖动件包括设于所述锰砂过滤器的外侧壁的转动电机，所述转动电机的输出轴转动连接有驱动杆，所述驱动杆位于所述锰砂过滤器内，所述驱动杆上设有若干用于抖动所述防止件的凸轮。
10、采用上述技术方案，当废水中的悬浮物堵塞部分过滤板，影响过滤板过滤的速率时，打开转动电机，转动电机带动驱动杆转动，驱动杆带动凸轮振动过滤板，有利于防止过滤板的堵塞。
11、优选的，所述过滤板设有联动所述抖动件根据所述防止件的堵塞程度而同步驱动所述抖动件运动的联动件，当废水中的悬浮物堵塞部分所述防止件时，所述联动件驱动所述抖动件抖动所述防止件；当所述防止件发生抖动从而减少堵塞时，所述联动件驱动所述抖动件停止抖动。
12、采用上述技术方案，通过联动件与抖动件的相互作用，当防止件的悬浮物堵塞达到一定程度时，联动件能够自动驱动抖动件，对防止件进行抖动，以减少附着的杂质，减少堵塞；同时，当防止件发生抖动从而减少堵塞后，联动件能关闭抖动件，减少持续运行抖动件所带来的能耗；另外，避免了过度使用抖动件，降低了设备的磨损，延长了设备的使用寿命。
13、优选的，所述防止件设为过滤段以及联动段，所述联动件包括与所述联动段的顶壁滑动连接的滑动板，所述滑动板的一侧连接有始终驱动所述滑动板朝向所述过滤段的方向移动的第一弹性件，所述联动段连通有过滤筒，所述过滤筒的侧壁设为折叠段，所述锰砂过滤器的内侧壁设有用于启动所述转动电机的第一位置感应器，所述锰砂过滤器的内侧壁设有用于关闭所述转动电机的第二位置感应器，所述第一位置感应器以及所述第二位置感应器均位于所述锰砂层与所述防止件之间，且所述第一位置感应器位于所述第二位置感应器的下方，所述过滤筒设有始终驱动所述折叠段折叠的第二弹性件，当所述过滤筒伸展至靠近所述第一位置感应器时，所述第一位置感应器打开所述转动电机；当所述过滤筒收缩至靠近所述第二位置感应器时，所述第二位置感应器关闭所述转动电机。
14、采用上述技术方案，当过滤段部分堵塞时，过滤段的上方会积聚废水，废水推动滑动板朝远离过滤段的方向移动，且废水部分流入至过滤筒中，由于进入过滤筒中的水流量大于过滤筒过滤的速度，过滤筒积聚废水，利用废水的重力推动过滤筒的折叠段伸展，使得过滤筒竖直向下伸展，过滤筒的底部运动至靠近第一位置感应器时，第一位置感应器打开转动电机，从而使得凸轮抖动过滤板；当过滤段抖动减少堵塞后，过滤段的上方会积聚废水变小，第一弹性件驱动滑动板朝靠近过滤段的方向流动，使得废水流入过滤筒的量变小，第二弹性件驱动折叠段折叠，过滤筒的底壁运动至靠近第二位置感应器时，第二位置感应器关闭转动电机，通过上述的设置，抖动件及时抖动过滤板，减少过滤板的堵塞，从而有利于提高过滤板的过滤效率，同时也有利于减少锰砂层发生堵塞的情况，当堵塞减少时，转动电机也能及时停止，有利于减少持续运行抖动件所带来的能耗。
15、优选的，所述锰砂过滤器的顶壁开有锰砂进水口，所述锰砂过滤器的内侧壁设有用于关闭所述转动电机的第三位置感应器，所述第三位置感应器位于所述第一位置感应器的下方，所述第一位置感应器的下方还设有与所述锰砂过滤器的内侧壁转动连接的蜗轮，所述蜗轮转动连接有转动杆，所述转动杆一端设有带动齿轮，所述带动齿轮转动连接有用于开闭所述锰砂进水口的盖板，所述过滤筒的底壁突出有与所述蜗轮转动连接的突出齿，所述联动段的底壁突出有用于限制所述过滤筒沿竖直方向伸缩的轨道板，所述轨道板与所述过滤筒的底壁滑动连接，当所述突出齿与所述蜗轮转动连接，且所述伸缩段继续伸展时，所述突出齿带动所述蜗轮转动，所述蜗轮驱动转动杆带动盖板关闭所述锰砂进水口。
16、采用上述技术方案，当过滤板堵塞严重，且开启抖动件后仍旧堵塞时，流入过滤筒的废水会逐渐增多，过滤筒的折叠段会持续伸展，过滤筒的底壁移动至靠近第三位置感应器，第三位置感应器关闭转动电机，接着过滤筒的折叠段继续伸展，使本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：包括依次连通的废水均和池(11)、pH调节池(12)、中继池(13)、锰砂过滤器(14)、一级换热器(15)、二级换热器(16)、一级吹脱塔(17)、二级吹脱塔(18)以及吸收塔(19)；所述二级吹脱塔(18)设有二级吹脱出水管，所述二级吹脱出水管与所述一级换热器(15)连通，所述一级换热器(15)回收所述二级吹脱塔(18)出水的热量；所述一级吹脱塔(17)、所述二级吹脱塔(18)以及所述吸收塔(19)均安装有用于循环气体的吹脱风机，所述吹脱风机使气体沿所述吸收塔(19)、所述二级吹脱塔(18)、所述一级吹脱塔(17)以及所述吸收塔(19)的顺序循环。
2.根据权利要求1所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述锰砂过滤器(14)内设有用于分解废液中的双氧水的锰砂层(21)，所述锰砂过滤器(14)内还设有用于防止锰砂层(21)堵塞的防止件(22)，所述防止件(22)通过对废水进行预处理过滤废水中的悬浮物，从而防止所述锰砂层(21)堵塞。
3.根据权利要求2所述的一种半导体行业高浓度含氨
4.根据权利要求3所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述抖动件(3)包括设于所述锰砂过滤器(14)的外侧壁的转动电机(31)，所述转动电机(31)的输出轴转动连接有驱动杆，所述驱动杆位于所述锰砂过滤器(14)内，所述驱动杆上设有若干用于抖动所述防止件(22)的凸轮(32)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述过滤板设有联动所述抖动件(3)根据所述防止件(22)的堵塞程度而同步驱动所述抖动件(3)运动的联动件(4)，当废水中的悬浮物堵塞部分所述防止件(22)时，所述联动件(4)驱动所述抖动件(3)抖动所述防止件(22)；当所述防止件(22)发生抖动从而减少堵塞时，所述联动件(4)驱动所述抖动件(3)停止抖动。
6.根据权利要求5所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述防止件(22)设为过滤段(23)以及联动段(24)，所述联动件(4)包括与所述联动段(24)的顶壁滑动连接的滑动板(41)，所述滑动板(41)的一侧连接有始终驱动所述滑动板(41)朝向所述过滤段(23)的方向移动的第一弹性件(42)，所述联动段(24)连通有过滤筒(43)，所述过滤筒(43)的侧壁设为折叠段(431)，所述锰砂过滤器(14)的内侧壁设有用于启动所述转动电机(31)的第一位置感应器(33)，所述锰砂过滤器(14)的内侧壁设有用于关闭所述转动电机(31)的第二位置感应器(34)，所述第一位置感应器(33)以及所述第二位置感应器(34)均位于所述锰砂层(21)与所述防止件(22)之间，且所述第一位置感应器(33)位于所述第二位置感应器(34)的下方，所述过滤筒(43)设有始终驱动所述折叠段(431)折叠的第二弹性件(45)，当所述过滤筒(43)伸展至靠近所述第一位置感应器(33)时，所述第一位置感应器(33)打开所述转动电机(31)；当所述过滤筒(43)收缩至靠近所述第二位置感应器(34)时，所述第二位置感应器(34)关闭所述转动电机(31)。
7.根据权利要求6所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述锰砂过滤器(14)的顶壁开有锰砂进水口(143)，所述锰砂过滤器(14)的内侧壁设有用于关闭所述转动电机(31)的第三位置感应器(35)，所述第三位置感应器(35)位于所述第一位置感应器(33)的下方，所述第一位置感应器(33)的下方还设有与所述锰砂过滤器(14)的内侧壁转动连接的蜗轮(51)，所述蜗轮(51)转动连接有转动杆(52)，所述转动杆(52)一端设有带动齿轮(53)，所述带动齿轮(53)转动连接有用于开闭所述锰砂进水口(143)的盖板(54)，所述过滤筒(43)的底壁突出有与所述蜗轮(51)转动连接的突出齿(46)，所述联动段(24)的底壁突出有用于限制所述过滤筒(43)沿竖直方向伸缩的轨道板(47)，所述轨道板(47)与所述过滤筒(43)的底壁滑动连接，当所述突出齿(46)与所述蜗轮(51)转动连接，且所述伸缩段继续伸展时，所述突出齿(46)带动所述蜗轮(51)转动，所述蜗轮(51)驱动转动杆(52)带动盖板(54)关闭所述锰砂进水口(143)。
8.根据权利要求7所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特...
【技术特征摘要】
1.一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：包括依次连通的废水均和池(11)、ph调节池(12)、中继池(13)、锰砂过滤器(14)、一级换热器(15)、二级换热器(16)、一级吹脱塔(17)、二级吹脱塔(18)以及吸收塔(19)；所述二级吹脱塔(18)设有二级吹脱出水管，所述二级吹脱出水管与所述一级换热器(15)连通，所述一级换热器(15)回收所述二级吹脱塔(18)出水的热量；所述一级吹脱塔(17)、所述二级吹脱塔(18)以及所述吸收塔(19)均安装有用于循环气体的吹脱风机，所述吹脱风机使气体沿所述吸收塔(19)、所述二级吹脱塔(18)、所述一级吹脱塔(17)以及所述吸收塔(19)的顺序循环。
2.根据权利要求1所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述锰砂过滤器(14)内设有用于分解废液中的双氧水的锰砂层(21)，所述锰砂过滤器(14)内还设有用于防止锰砂层(21)堵塞的防止件(22)，所述防止件(22)通过对废水进行预处理过滤废水中的悬浮物，从而防止所述锰砂层(21)堵塞。
3.根据权利要求2所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述防止件(22)为设于所述锰砂过滤器(14)内的过滤板，所述过滤板位于所述锰砂层(21)的上方，所述锰砂过滤器(14)的侧壁设有用于抖动所述过滤板的抖动件(3)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述抖动件(3)包括设于所述锰砂过滤器(14)的外侧壁的转动电机(31)，所述转动电机(31)的输出轴转动连接有驱动杆，所述驱动杆位于所述锰砂过滤器(14)内，所述驱动杆上设有若干用于抖动所述防止件(22)的凸轮(32)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述过滤板设有联动所述抖动件(3)根据所述防止件(22)的堵塞程度而同步驱动所述抖动件(3)运动的联动件(4)，当废水中的悬浮物堵塞部分所述防止件(22)时，所述联动件(4)驱动所述抖动件(3)抖动所述防止件(22)；当所述防止件(22)发生抖动从而减少堵塞时，所述联动件(4)驱动所述抖动件(3)停止抖动。
6.根据权利要求5所述的一种半导体行业高浓度含氨废水处理系统，其特征在于：所述防止件(22)设为过滤段(23)以及联动段(24)，所述联动件(4)包括与所述联动段(24)的顶壁滑动连接的滑动板(41)，所述滑动板(41)的一侧连接有始终驱动所述滑动板(41)朝向所述过滤段(23)的方向移动的第一弹性件(42)，所述联动段(24)连通有过滤筒(43)，所述过滤筒(43)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王中洲，许坚立，尧志华，程洋洋，吴修宏，王丽，祝洋铭，
申请(专利权)人：深圳市蓝清环境科技工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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