【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶生产炉氩气供气装置，属于单晶硅生产。
技术介绍
1、氩气作为一种保护性气体，被广泛应用到单晶生产行业，氩气盘是单晶生产炉的其中一个供气装置，目前的单晶生产行业都是将常温高纯氩气，通过现在的普通氩气盘进入到炉体内，作为拉晶生产过程的保护气体，并且氩气在单晶拉制过程、停炉后热场和晶棒冷却过程中还起到降温的作用。
2、现有的单晶生产炉通过氩气盘输入的氩气都是常温氩气，停炉后热场和晶棒冷却过程通过常温氩气降温速度较慢，降温时间长，对生产效率制约非常明显。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种能够直接为单晶生产炉输入低温氩气、缩短停炉后热场和晶棒冷却时间，从而提高生产效率的单晶生产炉氩气供气装置。
2、本技术的目的是通过以下方式实现的：
3、本技术包括：氩气盘、涡流管，其特征是：氩气盘由底盘和固定在底盘上的氩气输气机构组成，所述氩气输气机构包括压力调节阀、质量流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一手动阀、第二手动阀，压力调节阀的进气口连接第一三通、出气口连接第二三通，第一三通的一个端口连接进气管、另一个端口连接第三三通，第三三通的一个端口连接第一电磁阀进气口，第一电磁阀出气口连接第四三通，第四三通的一个端口连接第五三通，在第三三通和第四三通间连接第一手动阀；第二三通的一个端口连接第二手动阀、另一个端口连接质量流量计进气口，第二手动阀的另一端口连接第六三通，质量流量计出气口连接第七三通，在第六三通和第七三通之间连接第三电磁阀，
4、所述涡流管为兰克-赫尔胥涡流管。
5、本技术的优点是：本技术利用涡流管能够将常温氩气降至0～-40℃，再通过氩气盘将低温氩气输入单晶生产炉，大大缩短了停炉后热场和晶棒冷却时间，提高了生产效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种单晶生产炉氩气供气装置，包括：氩气盘、涡流管，其特征是：氩气盘由底盘和固定在底盘上的氩气输气机构组成，所述氩气输气机构包括压力调节阀、质量流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一手动阀、第二手动阀，压力调节阀的进气口连接第一三通、出气口连接第二三通，第一三通的一个端口连接进气管、另一个端口连接第三三通，第三三通的一个端口连接第一电磁阀进气口，第一电磁阀出气口连接第四三通，第四三通的一个端口连接第五三通，在第三三通和第四三通间连接第一手动阀；第二三通的一个端口连接第二手动阀、另一个端口连接质量流量计进气口，第二手动阀的另一端口连接第六三通，质量流量计出气口连接第七三通，在第六三通和第七三通之间连接第三电磁阀，在第七三通和第五三通之间连接第二电磁阀，第五三通连接第一出气口，第六三通连接第二出气口；涡流管固定在氩气盘的底盘上，氩气输气机构的进气管连接涡流管的冷气端。
2.根据权利要求1所述的单晶生产炉氩气供气装置，其特征是：所述涡流管为兰克-赫尔胥涡流管。
【技术特征摘要】
1.一种单晶生产炉氩气供气装置，包括：氩气盘、涡流管，其特征是：氩气盘由底盘和固定在底盘上的氩气输气机构组成，所述氩气输气机构包括压力调节阀、质量流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一手动阀、第二手动阀，压力调节阀的进气口连接第一三通、出气口连接第二三通，第一三通的一个端口连接进气管、另一个端口连接第三三通，第三三通的一个端口连接第一电磁阀进气口，第一电磁阀出气口连接第四三通，第四三通的一个端口连接第五三通，在第三三通和第四三通间连...
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