一种基于压力阀和流量阀的主动隔振系统及设备技术方案

本申请涉及半导体设备隔振技术领域，尤其涉及一种基于压力阀和流量阀的主动隔振系统及设备，包括：刚性安装板，刚性安装板设置于设备本体下方，并与设备本体连接；多个承重底座，承重底座分布于刚性安装板正下方，且承重底座上连接有垂直位移传感器，垂直位移传感器用于检测刚性安装板的垂直位移；多个空气弹簧，空气弹簧位于刚性安装板和承重底座之间，且空气弹簧与承重底座连接，空气弹簧的滚动活塞与刚性安装板连接；压强控制单元，压强控制单元用于根据垂直位移传感器的电信号控制空气弹簧内腔中的压强；本申请具有通过空气弹簧便于配合压强控制单元实现对刚性安装板的隔振，在简化隔振系统结构的同时便于实现隔振刚度的主动调整的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体设备隔振，尤其是涉及一种基于压力阀和流量阀的主动隔振系统及设备。

技术介绍

1、半导体设备作为芯片领域的核心推动力，从晶圆制造到封装测试，再到质量控制和制程过程，半导体设备的的重要性不言而喻，在半导体设备中，基座的微振动、操作者的直接扰动、设备自身运动产生的惯性力扰动，会影响半导体设备的精度，进而影响产品的质量。

2、为了实现半导体设备的隔振，现有技术公开了如被动隔振、接触式隔振等方式，但这类方式无法满足低频隔振需求，电磁气浮式相对较复杂，又如现有技术中公开了一种隔振设备，其包括工作平台、支撑平台，还包括控制模块，所述的工作平台与所述的支撑平台之间设置有多个磁致伸缩作动器，所述的工作平台上设置有加速度传感器，所述的加速度传感器用于检测所述的工作平台的振动信号，并将所述的振动信号传递给所述的控制模块，所述的控制模块根据所述的振动信号控制所述的磁致伸缩作动器的动作，进而抵消所述的工作平台的振动。

3、针对上述中的相关技术，通过加速度传感器检测工作平台的振动信号，并根据振动信号，经由控制模块控制磁致伸缩作动器提供主动控制力本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：所述压强控制单元(5)包括

3.根据权利要求2所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：所述进气阀(52)设置为流量阀。

4.根据权利要求2或3任一项所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：所述排气阀(53)设置为压力阀。

5.根据权利要求1所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：多个所述承重底座(2)呈矩阵式分布于所述刚性安装板(1)正下方。

6.一种设备，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：所述压强控制单元(5)包括

3.根据权利要求2所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：所述进气阀(52)设置为流量阀。

4.根据权利要求2或3任一项所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：所述排气阀(53)设置为压力阀。

5.根据权利要求1所述的基于压力阀和流量阀的主动隔振系统，其特征在于：多...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑川，徐斯强，
申请(专利权)人：上海泛腾半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：