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本申请涉及半导体设备隔振技术领域，尤其涉及一种基于压力阀和流量阀的主动隔振系统及设备，包括：刚性安装板，刚性安装板设置于设备本体下方，并与设备本体连接；多个承重底座，承重底座分布于刚性安装板正下方，且承重底座上连接有垂直位移传感器，垂直位移...
该专利属于上海泛腾半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海泛腾半导体技术有限公司授权不得商用。

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