一种高效率晶圆测试探针台制造技术

本技术公开了一种高效率晶圆测试探针台，包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋转设于滑槽上，所述夹持辊设于驱动臂的端部，所述夹持辊的底端套设有凸台，所述支撑环上设有驱动组件。本技术属于晶圆测试探针台技术领域，具体是指一种高效率晶圆测试探针台。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆测试探针台，具体是指一种高效率晶圆测试探针台。

技术介绍

1、在集成电路的制备过程中，晶圆测试是必不可少的一个过程，而晶圆测试探针台是实现晶圆测试的关键设备，它承载晶圆并根据每个独立的管芯的大小作为步长做周期移动，保证每个待测管芯都能和探针卡良好接触。

2、专利cn113985084a公开了晶圆测试探针台及其测试方法，此专利中为了解决对晶圆的固定问题，设置了存放盒和可更换的限位板，但此方式中的限位板需要预备多种满足各种不同直径的晶圆，容易造成浪费。

技术实现思路

1、为了解决上述难题，本技术提供了一种高效率晶圆测试探针台。

2、为了实现上述功能，本技术采取的技术方案如下：一种高效率晶圆测试探针台，包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋转设于滑槽上，所述夹持辊设于驱动臂的端部，所述夹持辊的底端套设有凸台，所述支撑环上设有驱动组件。

3、进一步地，所述驱动组件包括环套和锁定件，所述环套旋转套设于支撑环上，所述驱动臂远离夹持辊的端部设有滑道，所述环套的底壁设有固定柱，所述固定柱滑动设于滑道中，所述锁定件设于支撑环上。

4、进一步地，所述锁定件包括连接架和插销，所述环套上设有定位孔且均匀设有多组，所述插销滑动贯穿连接架且底端插入插销中。

5、优选地，所述测试组件包括测试器、支撑臂和显微镜，所述支架之间设有连接板，所述支撑臂的一端通过轴旋转设于连接板上，所述显微镜设于支撑臂的另一端，所述测试器设于支架上，所述测试器的一侧设置有探测针。

6、优选地，所述支腿上滑动设有抽拉板，所述抽拉板设于支撑环的下方，所述抽拉板上设有软垫。

7、优选地，所述抽拉板的侧壁设有手拉柄。

8、优选地，所述支架为l型结构设置，所述支架平行设有两组。

9、本技术采取上述结构取得有益效果如下：(1)通过转动环套使驱动臂绕着与支撑环的连接处旋转，即可驱使驱动臂端部的夹持辊靠近或远离支撑环的圆心，即可根据晶圆的直径进行调节固定；(2)通过夹持辊上的凸台可配合夹持辊进行支撑固定；(3)通过锁定件，可对环套的位置进行定位，以使驱动臂的旋转角度进行固定，从而固定住晶圆；(4)通过抽拉板可便于将测试后的晶圆落在其上，以便于抽动抽拉板将其取出。

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【技术保护点】

1.一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋转设于滑槽上，所述夹持辊设于驱动臂的端部，所述夹持辊的底端套设有凸台，所述支撑环上设有驱动组件。

2.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述驱动组件包括环套和锁定件，所述环套旋转套设于支撑环上，所述驱动臂远离夹持辊的端部设有滑道，所述环套的底壁设有固定柱，所述固定柱滑动设于滑道中，所述锁定件设于支撑环上。

3.根据权利要求2所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述锁定件包括连接架和插销，所述环套上设有定位孔且均匀设有多组，所述插销滑动贯穿连接架且底端插入插销中。

4.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述测试组件包括测试器、支撑臂和显微镜，所述支架之间设有连接板，所述支撑臂的一端通过轴旋转设于连接板上，所述显微镜设于支撑臂的另一端，所述测试器设于支架上，所述测试器的一侧设置有探测针。

5.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述支腿上滑动设有抽拉板，所述抽拉板设于支撑环的下方，所述抽拉板上设有软垫。

6.根据权利要求5所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述抽拉板的侧壁设有手拉柄。

7.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述支架为L型结构设置，所述支架平行设有两组。

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【技术特征摘要】

1.一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋转设于滑槽上，所述夹持辊设于驱动臂的端部，所述夹持辊的底端套设有凸台，所述支撑环上设有驱动组件。

2.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述驱动组件包括环套和锁定件，所述环套旋转套设于支撑环上，所述驱动臂远离夹持辊的端部设有滑道，所述环套的底壁设有固定柱，所述固定柱滑动设于滑道中，所述锁定件设于支撑环上。

3.根据权利要求2所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述锁定件包...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡海燕，彭东，
申请(专利权)人：江苏昊扬微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：