【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆测试探针台，具体是指一种高效率晶圆测试探针台。
技术介绍
1、在集成电路的制备过程中，晶圆测试是必不可少的一个过程，而晶圆测试探针台是实现晶圆测试的关键设备，它承载晶圆并根据每个独立的管芯的大小作为步长做周期移动，保证每个待测管芯都能和探针卡良好接触。
2、专利cn113985084a公开了晶圆测试探针台及其测试方法，此专利中为了解决对晶圆的固定问题，设置了存放盒和可更换的限位板，但此方式中的限位板需要预备多种满足各种不同直径的晶圆，容易造成浪费。
技术实现思路
1、为了解决上述难题，本技术提供了一种高效率晶圆测试探针台。
2、为了实现上述功能，本技术采取的技术方案如下：一种高效率晶圆测试探针台，包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋...
【技术保护点】
1.一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋转设于滑槽上，所述夹持辊设于驱动臂的端部，所述夹持辊的底端套设有凸台，所述支撑环上设有驱动组件。
2.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述驱动组件包括环套和锁定件，所述环套旋转套设于支撑环上，所述驱动臂远离夹持辊的端部设有滑道，所述环...
【技术特征摘要】
1.一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底壁设于支腿上，所述支撑环的侧壁设有滑槽，所述驱动臂通过轴旋转设于滑槽上，所述夹持辊设于驱动臂的端部，所述夹持辊的底端套设有凸台，所述支撑环上设有驱动组件。
2.根据权利要求1所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述驱动组件包括环套和锁定件，所述环套旋转套设于支撑环上，所述驱动臂远离夹持辊的端部设有滑道，所述环套的底壁设有固定柱，所述固定柱滑动设于滑道中，所述锁定件设于支撑环上。
3.根据权利要求2所述的一种高效率晶圆测试探针台，其特征在于：所述锁定件包...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡海燕，彭东，
申请(专利权)人：江苏昊扬微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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