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本技术公开了一种高效率晶圆测试探针台，包括测试台、支架、测试组件和晶圆固定装置，所述支架设于测试台上，所述测试组件设于支架上，所述晶圆固定装置设于测试台上；所述晶圆固定装置包括支撑环、驱动臂和夹持辊，所述测试台的顶壁设有支腿，所述支撑环的底...
该专利属于江苏昊扬微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏昊扬微电子有限公司授权不得商用。

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