System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种高效的金属铜电镀装置及电镀方法制造方法及图纸_技高网

一种高效的金属铜电镀装置及电镀方法制造方法及图纸

技术编号:40972699 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 21:21
本发明专利技术公开了一种高效的金属铜电镀装置及电镀方法,包括电解槽,所述电解槽内设置电镀腔;支撑底座上端具有一个支撑槽,待电镀的金属铜放置在支撑槽内;通过第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件,能够使得支撑底座以及待电镀的金属铜以底部的伸缩支撑杆为转动中心作上下升降动作。本发明专利技术能够使得待电镀的金属铜可以边作圆周旋转并作升降动作,有效提升电镀效率,并通过利用圆周升降动作,均匀电镀液中的各种成分,省去搅拌动作,简化结构,并且使得待电镀的金属铜作往复摆动运动,使得底部与支撑槽底面倾斜支撑并形成线接触点位,进而让待电镀的金属铜底部实现与电镀液的交替接触,实现无遮挡,减少后期工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电镀领域,具体涉及一种高效的金属铜电镀装置及电镀方法


技术介绍

1、金属铜电镀是一种在金属或其他导电体表面通过电化学过程沉积铜层的工艺,主要用于提高产品的耐腐蚀性、增强导电性、改善外观及增加硬度等。这一技术在电子、航空、汽车及装饰行业中有广泛应用。

2、尽管金属铜电镀具有重要的应用价值,但目前的电镀效率普遍不高。这主要是由于以下几个方面的问题:

3、在传统的电镀过程中,待电镀的金属铜通常静置在电镀槽内。这种静态状态限制了电镀液与金属表面的有效接触,导致电镀速度缓慢且不均匀。

4、电镀液通常包含多种成分,如铜离子、酸、添加剂等。这些成分的均匀分布对电镀质量至关重要。然而,在静态电镀过程中,由于缺乏有效的搅拌,这些成分容易在槽内分层或沉淀,影响电镀效果。

5、为了提高电镀效率,目前有些技术尝试通过设置运动机构使待电镀的金属铜在电镀槽内不断运动。虽然这种方法能在一定程度上改善电镀均匀性,但带来了设备结构复杂化的问题。此外,为了保持电镀液成分的均匀分布,还需要设置搅拌机构,不仅进一步增加了设备的复杂性,而且提高了维护和操作的难度。

6、在现有电镀技术中,待电镀的金属铜与电镀槽内部不可避免地存在接触面,这些接触区域无法被电镀液充分覆盖,从而导致电镀不均匀,需要后续的补充电镀处理,不仅增加了生产成本,也延长了电镀周期,降低了整体效率。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本专利技术提供一种高效的金属铜电镀装置及电镀方法,旨在解决传统金属铜电镀中存在的效率低下和电镀质量不均匀的问题。

2、本专利技术是通过以下技术方案来实现的:一种高效的金属铜电镀装置,包括:

3、电解槽,所述电解槽内设置电镀腔,所述电镀腔内设置电镀液,待电镀的金属铜放置在所述电镀腔内进行电镀,电解槽外部安装控制器;

4、支撑底座,其底部转动安装有伸缩支撑杆,所述支撑底座上端具有一个支撑槽,待电镀的金属铜放置在支撑槽内;

5、第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件,分设在所述支撑底座的两侧,用于驱动支撑底座以及待电镀的金属铜作往复圆周运动,且能够使得支撑底座以及待电镀的金属铜以底部的伸缩支撑杆为转动中心作上下升降动作;

6、所述支撑底座两侧靠近支撑槽顶部开口位置各设置有一组喷液孔,两组喷液孔相对设置,当所述第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件动作时,其中一组喷液孔处于喷液状态,另一组喷液孔为静止喷液状态;

7、当其中一组喷液孔处于喷液状态时,使得待电镀的金属铜靠向静止喷液状态的支撑底座一侧,此时待电镀的金属铜底部与支撑槽底面倾斜支撑并形成线接触点位。

8、作为优选的技术方案,所述第一供液驱动组件包括一第一驱动气缸,所述第一驱动气缸的气缸杆输出端通过一联动板连接第一驱动滑块,所述电解槽内两侧分别固定安装一驱动导轨,所述第一驱动滑块滑动安装在驱动导轨上,所述驱动导轨上在靠近电解槽顶部一侧,且驱动导轨的高度高于所述支撑底座的高度;

9、所述第一供液驱动组件还包括第一进出液管以及第一驱动供液杆,所述第一驱动供液杆的一端设置一驱动活塞,所述驱动活塞活动密封设置在第一驱动供液杆内的供液通道中,所述第一驱动供液杆的另一端与一支撑固定块连接固定,所述支撑固定块底部固定在驱动导轨上,所述第一进出液管与第一驱动滑块内的进出液腔相通,所述第一驱动滑块的输出端连接一根第一供液软管,第一供液软管输出端与支撑底座中的第一喷液孔相通。

10、作为优选的技术方案,所述第一供液软管上安装有单向出液阀,所述第一进出液管上靠近第一驱动滑块一侧设置有吸液管,所述吸液管上安装有单向进液阀;

11、所述第一供液软管用于连接第一驱动滑块以及支撑底座,所述进出液腔内的电镀液通过所述第一供液软管输入至支撑底座内并从所述第一喷液孔喷出,并使得待电镀的金属铜靠向第二喷液孔组一侧。

12、作为优选的技术方案,所述第二供液驱动组件包括一第二驱动气缸,所述第二驱动气缸的气缸杆输出端通过一联动板连接第二驱动滑块,所述第二驱动滑块滑动安装在驱动导轨上;

13、所述第二供液驱动组件还包括第二进出液管以及第二驱动供液杆,所述第二驱动供液杆的一端设置一驱动活塞,所述驱动活塞活动密封设置在第二驱动供液杆内的供液通道中,所述第二驱动供液杆的另一端与一支撑固定块连接固定,所述支撑固定块底部固定在驱动导轨上,所述第二进出液管与第二驱动滑块内的进出液腔相通,所述第二驱动滑块的输出端连接一根第二供液软管,第二供液软管输出端与支撑底座中的第二喷液孔相通。

14、作为优选的技术方案,所述第二供液软管上安装有单向出液阀,所述第二进出液管上靠近第二驱动滑块一侧设置有吸液管,所述吸液管上安装有单向进液阀;

15、所述第二供液软管用于连接第二驱动滑块以及支撑底座,所述进出液腔内的电镀液通过所述第二供液软管输入至支撑底座内并从所述第二喷液孔喷出,并使得待电镀的金属铜靠向第一喷液孔组一侧。

16、作为优选的技术方案,所述伸缩支撑杆的底部设置有转动轴承,所述转动轴承嵌入安装在电镀腔底面内。

17、作为优选的技术方案,所述电解槽的顶面设置一盖板,所述盖板中间具有一个进出料腔,所述待电镀的金属铜通过进出料腔实现进料或者出料。

18、作为优选的技术方案,所述盖板上对应所述第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件设置有导向滑槽,所述第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件中的联动板穿过所述导向滑槽并伸出至盖板上端面,第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件中的驱动气缸安装在在所述盖板的顶面上。

19、作为优选的技术方案,当所述第一供液驱动组件处于顶出状态时,所述第二供液驱动组件处于回缩状态,所述第一供液驱动组件与第二供液驱动组件处于交替工作状态。

20、本专利技术的一种金属铜电镀方法,包括金属铜电镀装置,具体包括以下步骤:

21、s1、设计一个电镀槽,在电镀槽内放置具有不同成分添加组成的电镀液,电镀槽顶部预设进出料腔;

22、s2、在电镀槽内设置一组第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件,所述第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件对称设置;

23、s3、在电镀腔内设置一支撑底座,支撑底座底部设置伸缩支撑杆,支撑底座能够沿着支撑伸缩杆上下升降以及圆周转动;

24、s4、支撑底座内具有一个支撑槽,并且在支撑槽内一侧设置第一喷液孔,在支撑槽内另一侧设置第二喷液孔,将支撑槽的一侧通过第一供液软管连接第一供液驱动组件,将支撑槽的另一侧通过第二供液软管连接第二供液驱动组件;

25、s5、当第一供液驱动组件作顶出动作,第二供液驱动组件作回缩动作时,此时第二喷液孔喷液,第一喷液孔保持静止状态,由喷出的电镀液使得待电镀的金属铜靠向第一喷液孔一侧,此时待电镀的金属铜底部与支撑槽底面倾斜支撑并形成线接触点位;

26、s6、当第二供液驱动组件作顶出动作本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效的金属铜电镀装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第一供液驱动组件包括一第一驱动气缸3,所述第一驱动气缸3的气缸杆输出端通过一联动板6连接第一驱动滑块14,所述电解槽1内两侧分别固定安装一驱动导轨11,所述第一驱动滑块14滑动安装在驱动导轨11上,所述驱动导轨11上在靠近电解槽1顶部一侧,且驱动导轨11的高度高于所述支撑底座17的高度;

3.根据权利要求2所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第一供液软管15上安装有单向出液阀,所述第一进出液管13上靠近第一驱动滑块14一侧设置有吸液管31,所述吸液管31上安装有单向进液阀;

4.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第二供液驱动组件包括一第二驱动气缸2,所述第二驱动气缸2的气缸杆输出端通过一联动板6连接第二驱动滑块22,所述第二驱动滑块22滑动安装在驱动导轨11上;

5.根据权利要求4所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第二供液软管21上安装有单向出液阀,所述第二进出液管23上靠近第二驱动滑块22一侧设置有吸液管31,所述吸液管31上安装有单向进液阀;

6.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述伸缩支撑杆19的底部设置有转动轴承18,所述转动轴承18嵌入安装在电镀腔10底面内。

7.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述电解槽1的顶面设置一盖板9,所述盖板9中间具有一个进出料腔8,所述待电镀的金属铜4通过进出料腔8实现进料或者出料。

8.根据权利要求7所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述盖板9上对应所述第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件设置有导向滑槽7,所述第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件中的联动板6穿过所述导向滑槽7并伸出至盖板9上端面,第一供液驱动组件以及第二供液驱动组件中的驱动气缸安装在在所述盖板9的顶面上。

9.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:当所述第一供液驱动组件处于顶出状态时,所述第二供液驱动组件处于回缩状态,所述第一供液驱动组件与第二供液驱动组件处于交替工作状态。

10.一种金属铜电镀方法,其特征在于,包括权利要求1至9任意一项所述的金属铜电镀装置,具体包括以下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.一种高效的金属铜电镀装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第一供液驱动组件包括一第一驱动气缸3,所述第一驱动气缸3的气缸杆输出端通过一联动板6连接第一驱动滑块14,所述电解槽1内两侧分别固定安装一驱动导轨11,所述第一驱动滑块14滑动安装在驱动导轨11上,所述驱动导轨11上在靠近电解槽1顶部一侧,且驱动导轨11的高度高于所述支撑底座17的高度;

3.根据权利要求2所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第一供液软管15上安装有单向出液阀,所述第一进出液管13上靠近第一驱动滑块14一侧设置有吸液管31,所述吸液管31上安装有单向进液阀;

4.根据权利要求1所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第二供液驱动组件包括一第二驱动气缸2,所述第二驱动气缸2的气缸杆输出端通过一联动板6连接第二驱动滑块22,所述第二驱动滑块22滑动安装在驱动导轨11上;

5.根据权利要求4所述的高效的金属铜电镀装置,其特征在于:所述第二供液软管21上安装有单向出液阀,所述第二进出液管23上靠近第二驱动滑块22一侧设置有吸液管3...

【专利技术属性】
技术研发人员:李欢贤梅智明陈业平贺欣
申请(专利权)人:深圳市和美科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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