一种高效TOPCon电池的制备方法技术

本申请涉及光伏技术领域，提出了一种高效TOPCon电池的制备方法，包括如下步骤：对硅片进行制绒，制绒后的硅片进行清洗并烘干；将炉管抽真空，再将硅片放入炉管内烘烤，对炉管检漏，在炉管无泄漏时，向硅片正面丝网印刷硼扩散浆料并送入炉管烘烤，再进行热扩散，形成硼扩散面；将硅片背面和四边用氢氟酸溶液清洗；将硅片抛光，再在硅片背面制备SiO2隧穿氧化层和多晶硅层；将硅片置于炉管中，进行磷扩散；将硅片正面用浓度用氢氟酸溶液清洗，再用NaOH溶液清洗清洗正面多晶硅绕度，在硅片双面沉积氧化铝薄膜和减反射膜；将硅片丝网印刷、烧结和电注入激活。此方法具有可以起到提高电池转换效率和降低工艺流程时间的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏，具体而言，涉及一种高效topcon电池的制备方法。

技术介绍

1、根据基底硅片不同，太阳能电池可以分为p型电池和n型电池。p型电池就是在p型硅片(掺杂3价元素)制备n+/p结构的电池，p型电池使用磷扩散工艺，主要代表为早期的bsf(铝背场)电池和目前主流的perc(发射极钝化和背面接触)电池，极限转换效率为24.5％。2015年之前，bsf电池占据90％市场，2016年perc电池开始发力，到2020年perc电池占比超过85％。p型电池工艺比较简单、成本低，但是面临效率提升瓶颈。n型电池结构优化，具备更高的效率潜力。n型电池则使用硼扩散工艺，在n型硅片(掺杂5价元素)上制备p+/n结构，主要代表有topcon(tunnel oxide passivating contacts，隧穿氧化层钝化接触)和hjt(heterojunction with intrinsic thin layer，晶体硅异质结太阳电池)，与p型电池相比具有转换率高、温度系数低、双面率高以及载流子寿命高等优点。

2、为提高光伏发电的比例，降本和提效是光伏制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效TOPCon电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种高效TOPCon电池的制备方法，其特征在于，所述清洗具体是将制绒后的硅片置于清洗溶液1中氮气鼓泡处理5-10min，再置于体积浓度为5-8％的氢氟酸溶液中70℃浸泡5-10min，用去离子水清洗后，最后烘干；所述清洗溶液1包括质量比为10：(1-2)的H2O2和NH3·H2O。

3.根据权利要求1所述的一种高效TOPCon电池的制备方法，其特征在于，所述步骤S2具体是将炉管抽真空，再将步骤S1所得硅片放入炉管内在150-200℃下烘烤20min，对炉管检漏，在炉管无泄漏...

【技术特征摘要】

1.一种高效topcon电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种高效topcon电池的制备方法，其特征在于，所述清洗具体是将制绒后的硅片置于清洗溶液1中氮气鼓泡处理5-10min，再置于体积浓度为5-8％的氢氟酸溶液中70℃浸泡5-10min，用去离子水清洗后，最后烘干；所述清洗溶液1包括质量比为10：(1-2)的h2o2和nh3·h2o。

3.根据权利要求1所述的一种高效topcon电池的制备方法，其特征在于，所述步骤s2具体是将炉管抽真空，再将步骤s1所得硅片放入炉管内在150-200℃下烘烤20min，对炉管检漏，在炉管无泄漏时，向硅片正面丝网印刷硼扩散浆料并送入炉管在550-600℃下烘烤3-10s，再在氮气氛围、780-800℃下进行热扩散，保温5-10min，形成硼扩散面。

4.根据权利要求1所述的一种高效topcon电池的制备方法，其特征在于，所述硼扩散浆料包括如下重量份的原料：硼硅玻璃粉20-30份、醇酯十二50-80份、纤维素乙醚1001-3份、聚酰胺腊2-4份和领苯二甲酸二丁酯1-3份。

5.根据权利要求4所述的一种高效topcon电池的制备方法，其特征在于，所述硼扩散浆料通过如下方法制备：将醇酯十...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈龙，
申请(专利权)人：宜宾英发德耀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：