【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片加工，具体涉及一种检测硅片片盒内金属含量的方法。
技术介绍
1、半导体晶圆通过拉晶、倒角、磨片、腐蚀、抛光、清洗等工艺流程后，把晶圆表面金属污染控制在一定范围内。3～8英寸晶圆存储和运输会采用由盒底、盒芯、盒盖组成的晶圆出货包装盒来进行。
2、晶圆包装盒通过清洗、烘干、冷却和组装等工序，来尽可能减少晶圆包装盒内部的颗粒和金属污染，获得洁净的片盒。倘若片盒清洗不彻底残留或者组装过程中引入颗粒和金属污染，会掉落和污染到洁净晶圆，导致晶圆金属或者颗粒不合格。随着半导体集成电路和器件的关键尺寸越来越小，对颗粒和金属污染水平的要求越来越高，从而对片晶圆盒洗净的要求也越来越高。
3、晶圆制造厂在晶圆出货包装前，会对晶圆包装盒进行颗粒检测和金属污染水平检测。晶圆包装盒的颗粒测试，已有国家标准草案；但晶圆出货包装盒的金属污染水平，尚未有成熟的国家标准和国际标准。
4、采用超纯水作为溶剂来流覆晶圆出货包装盒内壁来回收金属，然后检测超纯水中的金属含量来进行。这里存在的问题是，轻金属如na/k/ca一定程度上溶于水，但重金属如fe/ni/cu等，很难溶于水；因此检测到的基本是na/k等轻金属，很难检出包装盒内壁中重金属含量。
5、采用的稀硝酸作为溶剂来进行晶圆包装盒内壁金属的回收，因为重金属如fe/ni/cu等能溶于硝酸，能够检出重金属，但硝酸的使用对检测后的晶圆包装盒的清洗造成了困难，需要额外增加清洗流程，先清洗掉盒内的硝酸。倘若清洗不干净，会造成新的污染，比如硝酸根离子超标等。p>
技术实现思路
1、本专利技术主要解决现有技术中存在的不足，提供了一种检测硅片片盒内金属含量的方法，其使用超纯水配置氢氟酸+双氧水溶液，用于icp-ms检测盒内金属含量，能够更灵敏地检出各金属含量，从而能够检测到更低含量的金属。
2、本专利技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
3、一种检测硅片片盒内金属含量的方法，包括如下操作步骤：
4、第一步：准备100ml和500ml 洁净pfa容量瓶，用3%～10%硝酸浸泡48小时以上，icp-ms检测浸泡后硝酸金属含量＜1ppt，倒掉硝酸废液。
5、第二步：用超纯水清洗pfa容量瓶6遍，对洗净的pfa容量瓶进行备用。
6、第三步：用500ml pfa容量瓶配置4～5%氢氟酸+4～5%双氧水溶液。
7、第四步：用100mlpfa容量瓶称量50ml超纯水，倒入50ml配置好的氢氟酸+双氧水混合液，得到2%的氢氟酸+2%双氧水混合液。
8、第五步：icp-ms检测100mlpfa容量瓶中氢氟酸硝酸混合液金属含量并记录，记为前值。
9、第六步：待测晶圆包装盒通过长流水龙头接超纯水，加水至盒芯底部位置停止。
10、第七步：将2%的氢氟酸+2%双氧水混合液倒入晶圆包装盒清洗后的超纯水内，让酸混液充分混合和溶解水中金属。
11、第八步：清洗过晶圆包装盒后的溶液用icp-ms测试溶液中金属含量并记录，记为后值。
12、第九步：取两次金属含量测试的差值，即为晶圆出货包装盒内金属含量。
13、作为优选，用电子天平先称量pfa容量瓶中超纯水质量，计算相应要加入的氢氟酸和双氧水质量，加入到pfa容量瓶中，并摇匀得到4～5%氢氟酸+4～5%双氧水溶液。
14、作为优选，晶圆包装盒加入超纯水为550±50ml，盖上盒盖，晃动晶圆包装盒内超纯水，使超纯水流动经过盒底、盒盖内壁和盒芯所有区域。
15、作为优选，用pfa容量瓶取样晶圆包装盒内清洗后的超纯水50ml，倒入50ml配置好的2%氢氟酸+2%双氧水混合溶液，轻轻摇晃容量瓶约1分钟。
16、作为优选，浸泡清洗pfa容量瓶的硝酸用upsss级55%～70%硝酸，要求金属元素≤10ppt，最优选用多摩化学55%硝酸。
17、作为优选，氢氟酸+双氧水混合液中，采用upsss级38～49%氢氟酸，要求金属元素≤10ppt，最优选用多摩化学38%氢氟酸；采用upsss级30～35%双氧水，最优选用多摩化学35%双氧水。
18、本专利技术能够达到如下效果：
19、本专利技术提供了一种检测硅片片盒内金属含量的方法，与现有技术相比较，使用超纯水配置氢氟酸+双氧水溶液，用于icp-ms检测盒内金属含量，能够更灵敏地检出各金属含量，从而能够检测到更低含量的金属。
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1.一种检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于包括如下操作步骤：
2.根据权利要求1所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：用电子天平先称量PFA容量瓶中超纯水质量，计算相应要加入的氢氟酸和双氧水质量，加入到PFA容量瓶中，并摇匀得到4～5%氢氟酸+4～5%双氧水溶液。
3.根据权利要求1所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：晶圆包装盒加入超纯水为550±50ml，盖上盒盖，晃动晶圆包装盒内超纯水，使超纯水流动经过盒底、盒盖内壁和盒芯所有区域。
4.根据权利要求3所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：用PFA容量瓶取样晶圆包装盒内清洗后的超纯水50ml，倒入50ml配置好的2%氢氟酸+2%双氧水混合溶液，轻轻摇晃容量瓶约1分钟。
5.根据权利要求1所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：浸泡清洗PFA容量瓶的硝酸用UPSSS级55%～70%硝酸，要求金属元素≤10ppt，最优选用多摩化学55%硝酸。
6.根据权利要求1所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：氢氟酸+双氧水混合
...【技术特征摘要】
1.一种检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于包括如下操作步骤：
2.根据权利要求1所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：用电子天平先称量pfa容量瓶中超纯水质量，计算相应要加入的氢氟酸和双氧水质量，加入到pfa容量瓶中，并摇匀得到4～5%氢氟酸+4～5%双氧水溶液。
3.根据权利要求1所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：晶圆包装盒加入超纯水为550±50ml，盖上盒盖，晃动晶圆包装盒内超纯水，使超纯水流动经过盒底、盒盖内壁和盒芯所有区域。
4.根据权利要求3所述的检测硅片片盒内金属含量的方法，其特征在于：用pfa...
【专利技术属性】
技术研发人员：周桂丽，李松鹏，戴潮，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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