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本发明涉及一种检测硅片片盒内金属含量的方法，所属硅片加工技术领域，包括如下操作步骤：第一步：用3%～10%硝酸浸泡洁净PFA容量瓶。第二步：用超纯水清洗PFA容量瓶。第三步：用500ml PFA容量瓶配置4～5%氢氟酸+4～5%双氧水溶液。...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

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