【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液位测量领域，特别是涉及一种多点超声波液位开关。
技术介绍
1、mo源即高纯金属有机化合物，是现代化合物半导体产业的支撑源材料。自首次采用mocvd(metal-organic chemical vapor deposition(金属有机化合物化学气相沉淀))制备出gaas单晶薄膜以来，该技术得到迅猛发展，目前己成为生产超薄多层异质结构和大规模均匀材料、制备gaas、gan等化合物半导体器件、微波器件、光器件和光电器件的重要方法。mocvd工艺所需要使用的核心原料为金属有机物源(简称mo源)。mo源目前分为三种类别，金属氧化物mo源、金属氮化物mo源和金属薄膜mo源。
2、由于mo源需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的mo钢瓶供给设备中。国内现在制备的mo源存储钢瓶虽然对mo源瓶的大小、密封、连接和清洗等问题做了大量的改进，然而由于其源瓶的结构和特殊要求，现有液位开关无法对mo源瓶内的mo源液体进行完全的非接触测量。
技术实现思路
1、本专...
【技术保护点】
1.一种多点超声波液位开关，其特征在于，包括由内至外依次分布的内管(1)、压电弧片(2)和外管(3)，压电弧片(2)在内管(1)外壁上沿内管(1)长度方向并排设置多个，压电弧片(2)和外管(3)内壁之间通过环氧灌封胶灌封，外管(3)顶部具有排气孔(301)，内管(1)顶部连通有与排气孔(301)连通的连接管(4)，内管(1)两端和外管(3)对应两端之间均密封处理。
2.根据权利要求1所述的一种多点超声波液位开关，其特征在于，内管(1)和外管(3)均为不锈钢材质。
3.根据权利要求1所述的一种多点超声波液位开关，其特征在于，压电弧片(2)谐振频率...
【技术特征摘要】
1.一种多点超声波液位开关，其特征在于，包括由内至外依次分布的内管(1)、压电弧片(2)和外管(3)，压电弧片(2)在内管(1)外壁上沿内管(1)长度方向并排设置多个，压电弧片(2)和外管(3)内壁之间通过环氧灌封胶灌封，外管(3)顶部具有排气孔(301)，内管(1)顶部连通有与排气孔(301)连通的连接管(4)，内管(1)两端和外管(3)对应两端之间均密封处理。
2.根据权利要求1所述的一种多点超声波液位开关，其特征在于，内管(1)和外管(3)均为不锈钢材质。
3.根据权利要求1所述的一种多点超声波液位开关，其特征在于，压电弧片(2)谐振频率为300khz-1mhz。
4.根据权利要求1所述的一种多点超声波液位开关，其特征在于，内管(1)和外管(3)均为圆管结构，压电弧片(2)为四分之一完整圆的圆弧形片状结构，压电弧片(2)与内管(1)同轴，多个压电弧片(2)在内管(1)外壁上由低位到高位不等距分布。
5.根据权利要求4所述的一种多点超声波液位开关，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋子昂，林豪杰，刘兆金，王剑，朱建岗，
申请(专利权)人：陕西声科电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。