【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及化工气体制备，具体为一种高纯羰基硫联产液体co2的装置及工艺。
技术介绍
1、羰基硫(化学式：cos)又称氧硫化碳、硫化羰，是农药、医药和其它有机合成的重要原料气，也可以作为重要的粮食熏蒸剂和石化标准气原料。随着半导体特大规模集成电路、存储芯片的快速发展，高纯度羰基硫被广泛应用于12英寸集成电路半导体
中的线路微细化的蚀刻工艺，它在干蚀刻中的蚀刻效果十分明显，代替难以降解并具有温室效应的氟化物蚀刻气。随着各国政府对环保的日益重视，羰基硫作为电子芯片制造、光伏、led等行业的原辅料气将会越来越受到关注；同时在石化工业中羰基硫用作在线仪表的校正气、标准气，还可用作超临界溶剂，可以预见其需求量在未来几年将会呈快速增长趋势。
2、羰基硫的合成工艺较多，主要有一氧化碳法、尿素法、硫氰酸钾法、硫氰酸铵法等，例如专利公开号为cn103328379a、cn1774396a、cn102674349a、cn101973547a的专利所公开的羰基硫的合成方法。一氧化碳法反应速度较慢，产品杂质多，纯度不高。而尿素法、硫氰酸钾法、硫氰酸铵法等工艺生产规模不大，净化难度高。
3、因此，如何提供一种高纯羰基硫联产液体co2的装置及工艺，成为了本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提出一种高纯羰基硫联产液体co2的装置及工艺。
2、为达上述目的，本专利技术提供了一种高纯羰基硫联产液体co2的装置
3、所述原料气压缩机通过管路依次与所述换热器、精馏塔相连通，将经过脱硫的再生尾气先进行压缩升压，再经过换热器换热降温后进入精馏塔精馏，精馏塔塔底采出高纯的羰基硫产品；所述精馏塔顶部通过管路依次与换热器、co2液化单元相连通，将精馏塔塔顶排出的气体经过换热器复温后，送至co2液化单元生产液体co2，一部分液体co2送至液体co2产品管储存，一部分液体co2送至精馏塔精馏。
4、进一步的，液体co2送至精馏塔精馏，先经过换热器换热提供原料气降温所需的冷量，然后作为精馏塔的洗涤液将再生尾气中的羰基硫洗涤下来。
5、进一步的，还包括净化单元，所述净化单元位于所述原料气压缩机与所述换热器之间，用于将压缩升压的再生尾气进行脱水干燥。
6、进一步的，还包括冷却器，所述精馏塔塔底采出高纯的羰基硫产品经过冷却器冷却后送出储存。
7、进一步的，所述净化单元包括布袋除尘器、风机、净化箱和隔板，所述隔板竖直设置在所述净化箱内，将所述净化箱分隔成过滤腔和干燥腔，所述原料气压缩机通过管路与所述布袋除尘器的进风口相连通，所述布袋除尘器的出风口通过风机与过滤腔相连通，所述过滤腔底部可拆卸安装有纳米纤维过滤层，所述干燥腔内由下至上依次倾斜设置有防水透气膜、干燥层，所述干燥腔一侧顶端设置有出气口，所述净化箱内部底端设置有斜面，斜面的低点位置处设置有出水口。
8、进一步的，精馏塔底部再沸器的热源采用压缩后的高温气体，或采用低压蒸汽作为热源。
9、进一步的，换热器采用板翅式换热器或多通道的绕管式换热器。
10、进一步的，换热器和精馏塔采用橡塑保温，或统一放在冷箱中采用珠光砂保温。
11、一种高纯羰基硫联产液体co2的工艺，采用上述任一项所述的一种高纯羰基硫联产液体co2的装置实现，包括：
12、经过脱硫装置的再生尾气经过原料气压缩机压缩升压以后，进入净化单元脱除水分；干燥后的压缩气体经过换热器换热降温后进入精馏塔精馏，从塔底采出高纯的羰基硫产品，并经过冷却器冷却后送出储存；从精馏塔塔顶排出的气体经过换热器复温后，送至co2液化单元生产液体co2，一部分液体co2送至液体co2产品管储存，一部分液体co2送至精馏塔精馏。
13、本专利技术的有益效果在于：
14、本专利技术提供了一种高纯羰基硫联产液体co2的装置及工艺，将尾气中含有的羰基硫分离出来制成高纯的羰基硫，同时将尾气中的co2液化制成液体co2产品，在解决再生尾气达标排放的同时，将废气中的羰基硫转化为产品，带来了良好的经济效益。整个工艺流程设计合理，装置结构简单，操作使用方便。
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1.一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，包括：原料气压缩机、换热器、精馏塔和CO2液化单元；
2.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，液体CO2送至精馏塔精馏，先经过换热器换热提供原料气降温所需的冷量，然后作为精馏塔的洗涤液将再生尾气中的羰基硫洗涤下来。
3.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，还包括净化单元，所述净化单元位于所述原料气压缩机与所述换热器之间，用于将压缩升压的再生尾气进行脱水干燥。
4.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，还包括冷却器，所述精馏塔塔底采出高纯的羰基硫产品经过冷却器冷却后送出储存。
5.如权利要求3所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，所述净化单元包括布袋除尘器、风机、净化箱和隔板，所述隔板竖直设置在所述净化箱内，将所述净化箱分隔成过滤腔和干燥腔，所述原料气压缩机通过管路与所述布袋除尘器的进风口相连通，所述布袋除尘器的出风口通过风机与过滤腔相连通，所述过滤腔底部可拆卸安装有纳米纤维过滤层
6.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，精馏塔底部再沸器的热源采用压缩后的高温气体，或采用低压蒸汽作为热源。
7.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，换热器采用板翅式换热器或多通道的绕管式换热器。
8.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置，其特征在于，换热器和精馏塔采用橡塑保温，或统一放在冷箱中采用珠光砂保温。
9.一种高纯羰基硫联产液体CO2的工艺，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的一种高纯羰基硫联产液体CO2的装置实现，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种高纯羰基硫联产液体co2的装置，其特征在于，包括：原料气压缩机、换热器、精馏塔和co2液化单元；
2.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体co2的装置，其特征在于，液体co2送至精馏塔精馏，先经过换热器换热提供原料气降温所需的冷量，然后作为精馏塔的洗涤液将再生尾气中的羰基硫洗涤下来。
3.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体co2的装置，其特征在于，还包括净化单元，所述净化单元位于所述原料气压缩机与所述换热器之间，用于将压缩升压的再生尾气进行脱水干燥。
4.如权利要求1所述的一种高纯羰基硫联产液体co2的装置，其特征在于，还包括冷却器，所述精馏塔塔底采出高纯的羰基硫产品经过冷却器冷却后送出储存。
5.如权利要求3所述的一种高纯羰基硫联产液体co2的装置，其特征在于，所述净化单元包括布袋除尘器、风机、净化箱和隔板，所述隔板竖直设置在所述净化箱内，将所述净化箱分隔成过滤腔和干燥腔，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐小勤，敬宏伟，赵卿，孙立佳，
申请(专利权)人：北京恒泰洁能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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