一种MEMS大角度光学扫描系统技术方案

本发明专利技术提供涉及光学技术领域，尤其涉及一种MEMS大角度光学扫描系统，包括：激光发射模块、光束控制模块、激光探测模块和控制器，所述激光发射模块发射激光脉冲发射光束，先后经所述MEMS微镜的反射、光学扩束元件的折射到视场空间，所述光学扩束元件将点状激光光斑扩束为线状光斑，并且，随着MEMS微镜在水平方向扫描，最终形成方形的视场空间。本发明专利技术实施例提出的MEMS大角度光学扫描系统，扩大光扫描视场，减小对收发器对数的依赖，缩小封装尺寸，大幅降低成本，延长使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本说明书一个或多个实施例涉及光学，尤其涉及一种mems大角度光学扫描系统。

技术介绍

1、目前，激光雷达被认为是各行各业的关键传感技术，在机器人、无人驾驶、智慧城市等领域充当着推动者的角色。而近年来一直被寄予厚望的固态激光雷达成为业内关注的热点。

2、固态激光雷达主要是依靠波的反射或接收来探测目标的特性，大多源自三维图像传感器的研究，实际源自红外焦平面成像仪，焦平面探测器的焦平面上排列着感光元件阵列，从无限远处发射的红外线经过光学系统成像在系统焦平面的这些感光元件上，探测器将接受到光信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持，通过输出缓冲和多路传输系统，最终送达监视系统形成图像。

3、现有技术中需要扩大激光雷达的扫描视场时，主流是采用多激光器多探测器(发射接收对)的方案，如美国velodyne公司的激光雷达vlp-64采用64个激光器和64个apd探测器，在光路上一一对应，实现目标区域纵向64点探测。然后整体光路系统位于一个水平旋转电机上,实现水平360°扫描探测，其整体性能强烈依赖于发射接收对的数量，即硬件数量越高性能越好，但因此带本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS大角度光学扫描系统，其特征在于，包括：激光发射模块、光束控制模块、激光探测模块和控制器(1)，其中，所述光束控制模块包括MEMS微镜驱动及其反馈电路(3)、MEMS微镜(10)和控制光的折射率的光学扩束元件(9)；其中，所述激光探测模块包括光学透镜元件(8)、能够衰减光的强度及改变光谱成分的光学滤光元件(7)、光学准直元件(6)、线阵APD探测器(5)和信号处理电路(4)；

2.根据权利要求1所述的MEMS大角度光学扫描系统，其特征在于，所述光学扩束元件(9)为多棱镜。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS大角度光学扫描系统，其特征在于，还包括压电...

【技术特征摘要】

1.一种mems大角度光学扫描系统，其特征在于，包括：激光发射模块、光束控制模块、激光探测模块和控制器(1)，其中，所述光束控制模块包括mems微镜驱动及其反馈电路(3)、mems微镜(10)和控制光的折射率的光学扩束元件(9)；其中，所述激光探测模块包括光学透镜元件(8)、能够衰减光的强度及改变光谱成分的光学滤光元件(7)、光学准直元件(6)、线阵apd探测器(5)和信号处理电路(4)；

2.根据权利要求1所述的mems大角度光学扫描系统，其特征在于，所述光学扩束元件(9)为多棱镜。

3.根据权利要求1或2所述的mems大角度光学扫描系统，其特征在于，还包括压电马达，所述光学扩束元件(9)由压电马达驱动转动。

4.根据权利要求1所述的mems大角度光学扫描系统，其特征在于，所述激光发射模块包括脉冲激光器及其驱动电路(2)，其驱动电路与控制器(1)双向电连。

5.根据权利要求1所述的me...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷禹，满陆祥，
申请(专利权)人：合肥领航微系统集成有限公司，
类型：发明
国别省市：