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本发明提供涉及光学技术领域,尤其涉及一种MEMS大角度光学扫描系统,包括:激光发射模块、光束控制模块、激光探测模块和控制器,所述激光发射模块发射激光脉冲发射光束,先后经所述MEMS微镜的反射、光学扩束元件的折射到视场空间,所述光学扩束元件将...该专利属于合肥领航微系统集成有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥领航微系统集成有限公司授权不得商用。
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