【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学镀膜领域，涉及镀膜监控技术，具体是一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统。
技术介绍
1、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。
2、现有技术中，电子束蒸发镀膜机的监控工作存在弊端，无法对电子束蒸发镀膜机的工作状况进行分析和判定，通常情况下依靠人工经验进行判断或在发生故障后才知道机器的工作状况，人工经验判断容易出现偏差，发生故障后才知晓机器工作状况容易影响生产进度；同时，电子束蒸发镀膜机的产品镀膜完成后，对产品镀膜质量的检测大多依据镀膜厚度，产品镀膜质量检测没有从多方面进行检测，质量检测容易出现误差，为此，我们提出一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统。
2、本专利技术所要解决的技术问题为：
3、(1)如何对电子束蒸发镀膜机的工作状况进行有效分析和判定；
4、(2)如何提升电子束蒸发镀膜机产品镀膜质量检测的精确性。
5、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
6、一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，包括数据采集模块、镀膜质检模块、镀膜调整模块、镀膜匹配模块、运行分析模块、故障判定模块、用户终端以及
7、镀膜匹配模块依据型号提取服务器中对应光学零件的镀膜数据包，将比对通过的镀膜数据包作为光学零件镀膜时电子束蒸发镀膜机的工作数据，所述镀膜匹配模块将电子束蒸发镀膜机的工作数据发送至镀膜调整模块，镀膜调整模块依据工作数据对电子束蒸发镀膜机的当前工作数据进行调整；
8、所述运行分析模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行分析，分析得到电子束蒸发镀膜机的运行偏离值，所述运行分析模块将电子束蒸发镀膜机的运行偏离值反馈至服务器，所述服务器将电子束蒸发镀膜机的运行偏离值发送至故障判定模块，所述故障判定模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行故障判定，生成正常运行信号或故障检测信号，所述故障判定模块将正常运行信号或故障检测信号反馈至服务器；所述镀膜质检模块用于对光学零件的镀膜质量进行检测，检测生成镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号，所述镀膜质检模块将镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号反馈至服务器，所述服务器将镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号发送至用户终端，用户依据信号知晓光学零件的镀膜质量。
9、进一步地，运行数据包括电子束蒸发镀膜机的实时镀膜温度、实时镀膜电流、实时镀膜电压和实时镀膜真空度；
10、镀膜数据包括光学零件的型号、原始厚度、当前折射率和需求折射率；
11、镀膜数据包包括光学零件的型号、预设镀膜温度、预设镀膜电流、预设镀膜电压、预设镀膜真空度和预设镀膜时长。
12、进一步地，所述运行分析模块的分析过程具体如下：
13、步骤一：将电子束蒸发镀膜机标记为u，u＝1，2，……，z，z为正整数；自设定若干个时间点，时间点按照时间顺序进行排列，并在时间点获取电子束蒸发镀膜机对应的实时镀膜真空度、实时镀膜温度值、实时镀膜电压值和实时镀膜电流值；
14、步骤二：利用公式计算得到电子束蒸发镀膜机在光学零件镀膜时的真空度变化均速率zdjbsu、温度变化均速率wdjbsu、电压变化均速率dyjbsu和电流变化均速率dljbsu；
15、步骤三：获取服务器中存储的电子束蒸发镀膜机的真空度变化速率阈值zdybsu、温度变化速率阈值wdybsu、电压变化速率阈值dyybsu和电流变化速率阈值dlybsu；
16、步骤四：各项数据的变化均速率与变化速率阈值计算差值后，得到真空度变化速率差czdu、温度变化速率差cwdu、电压变化速率差cdyu和电流变化速率差cdlu；
17、步骤五：将真空度变化速率差czdu、温度变化速率差cwdu、电压变化速率差cdyu和电流变化速率差cdlu代入计算式ypu＝czdu×a1+cwdu×a2+cdyu×a3+cdlu×a4计算得到电子束蒸发镀膜机的运行偏离值ypu；式中，a1、a2、a3和a4均为固定数值的权重系数，且a1、a2、a3和a4的取值均大于零。
18、进一步地，步骤二的计算过程具体如下：
19、通过公式计算得到第一时间段时电子束蒸发镀膜机的真空度变化速率zdbstd1u；其中，zdt2u为在时间点t2u时电子束蒸发镀膜机的温度值，zdt1u为在时间点t1u时电子束蒸发镀膜机的温度值；
20、以此类推，分别计算得到在各时间段内电子束蒸发镀膜机的真空度变化速率；
21、统计时间段的数量，各时间段内电子束蒸发镀膜机的真空度变化速率相加求和除以时间段的数量得到电子束蒸发镀膜机在光学零件镀膜时的真空度变化均速率zdjbsu；
22、同理，分别计算得到电子束蒸发镀膜机在光学零件镀膜时的温度变化均速率wdjbsu、电压变化均速率dyjbsu和电流变化均速率dljbsu。
23、进一步地，时间点t1u至时间点t2u的时间段标记为第一时间段td1u，时间点t3u至时间点t2u的时间段标记为第二时间段td2u，以此类推。
24、进一步地，真空度变化均速率zdjbsu与真空度变化速率阈值zdybsu相对应，温度变化均速率wdjbsu与温度变化速率阈值wdybsu相对应，电压变化均速率dyjbsu与电压变化速率阈值dyybsu相对应，电流变化均速率dljbsu与电流变化速率阈值dlybsu相对应。
25、进一步地，所述故障判定模块的工作过程具体如下：
26、步骤s1：获取电子束蒸发镀膜机的运行偏离阈值x1，x1为大于零的固定数值；
27、步骤s2：若ypu＜x1，则判定电子束蒸发镀膜机处于正常工作状态，生成正常运行信号；
28、步骤s3：若x1≤ypu，则判定电子束蒸发镀膜机处于异常工作状态，生成故障检测信号。
29、进一步地，所述镀膜质检模块的检测步骤具体如下：
30、步骤ss1：将光学零件标记为i，i＝1，2，……，x，x为正整数；获取光学零件的当前折射率，并将当前折射率标记为dzsi；
31、步骤ss2：获取光学零件的需求折射率，并将需求折射率标记为xzsi；利用公式czsi＝xzsi-dzsi计算得到光学零件的折射率差值czsi；
32、步骤ss3：光学零件的折射率本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，包括数据采集模块、镀膜质检模块、镀膜调整模块、镀膜匹配模块、运行分析模块、故障判定模块、用户终端以及服务器，所述用户终端用于输入光学零件的镀膜数据并发送至服务器；所述数据采集模块用于采集电子束蒸发镀膜机的运行数据并发送至服务器，所述服务器将运行数据发送至运行分析模块，所述服务器将镀膜数据发送至镀膜匹配模块；所述服务器中存储有加标型号的光学零件的镀膜数据包；
2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，运行数据包括电子束蒸发镀膜机的实时镀膜温度、实时镀膜电流、实时镀膜电压和实时镀膜真空度；
3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，所述运行分析模块的分析过程具体如下：
4.根据权利要求3所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，步骤二的计算过程具体如下：
5.根据权利要求4所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，时间点T1u至时间点T2u的时间段标记为第一时间段
6.根据权利要求3所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，真空度变化均速率ZDJBSu与真空度变化速率阈值ZDYBSu相对应，温度变化均速率WDJBSu与温度变化速率阈值WDYBSu相对应，电压变化均速率DYJBSu与电压变化速率阈值DYYBSu相对应，电流变化均速率DLJBSu与电流变化速率阈值DLYBSu相对应。
7.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，所述故障判定模块的工作过程具体如下：
8.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，所述镀膜质检模块的检测步骤具体如下：
...【技术特征摘要】
1.一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，包括数据采集模块、镀膜质检模块、镀膜调整模块、镀膜匹配模块、运行分析模块、故障判定模块、用户终端以及服务器，所述用户终端用于输入光学零件的镀膜数据并发送至服务器；所述数据采集模块用于采集电子束蒸发镀膜机的运行数据并发送至服务器，所述服务器将运行数据发送至运行分析模块，所述服务器将镀膜数据发送至镀膜匹配模块；所述服务器中存储有加标型号的光学零件的镀膜数据包；
2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，运行数据包括电子束蒸发镀膜机的实时镀膜温度、实时镀膜电流、实时镀膜电压和实时镀膜真空度；
3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，所述运行分析模块的分析过程具体如下：
4.根据权利要求3所述的一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，步骤二的计算过程具体...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗伟，徐鸣，杜楠，安建昊，唐欢欢，
申请(专利权)人：江苏微凯机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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