一种高效扩散泵冷阱制造技术

本实用新型专利技术提供一种高效扩散泵冷阱，包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体，冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。本实用新型专利技术的冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽或为折皱状、波浪形，这些设计可增大冷阱本体内侧的表面积，进而增大换热的面积及捕集吸附油蒸汽的面积，进而提高对油蒸汽的捕集吸附及冷凝的效率，提高镀膜工艺的效果，保证产品的质量。保证产品的质量。保证产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种高效扩散泵冷阱


[0001]本技术涉及扩散泵
，具体为一种高效扩散泵冷阱。

技术介绍

[0002]冷阱是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的阱。是置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。在镀膜工艺中镀膜机会与扩散泵连接，通过扩散泵的作用对镀膜机的内部形成真空状态，而冷阱安装在扩散泵进口处用于捕集扩散泵内油形成的油蒸汽，若未安装冷阱，油蒸汽会反向的进入镀膜机内，造成镀膜工艺差，进而造成产品的质量差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高效扩散泵冷阱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种高效扩散泵冷阱，包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体，所述冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。
[0005]所述冷阱本体的内侧表面为折皱状。
[0006]所述冷阱本体的内侧表面为波浪形。
[0007]所述冷阱本体的厚度为10
‑
30cm。
[0008]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：本技术的冷阱本体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效扩散泵冷阱，其特征在于：包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体，所述冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。2.根据权利要求1所述的一种高效扩散泵冷阱，其特征在于：所述冷阱本体的内侧表面为折皱状。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鸣，唐欢欢，安建昊，
申请(专利权)人：江苏微凯机械有限公司，
类型：新型
国别省市：