【技术实现步骤摘要】
一种高效扩散泵冷阱
[0001]本技术涉及扩散泵
,具体为一种高效扩散泵冷阱。
技术介绍
[0002]冷阱是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的阱。是置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。在镀膜工艺中镀膜机会与扩散泵连接,通过扩散泵的作用对镀膜机的内部形成真空状态,而冷阱安装在扩散泵进口处用于捕集扩散泵内油形成的油蒸汽,若未安装冷阱,油蒸汽会反向的进入镀膜机内,造成镀膜工艺差,进而造成产品的质量差。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种高效扩散泵冷阱,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:一种高效扩散泵冷阱,包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体,所述冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。
[0005]所述冷阱本体的内侧表面为折皱状。
[0006]所述冷阱本体的内侧表面为波浪形。
[0007]所述冷阱本体的厚度为10
‑
30cm。
[0008]与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:本技术的冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽或为折皱状、波浪形,这些设计可增大冷阱本体内侧的表面积,进而增大换热的面积及捕集吸附油蒸汽的面积,进而提高对油蒸汽的捕集吸附及冷凝的效率,提高镀膜工艺的效果,保证产品的质量。
附图说明
[0009]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分。在附图中:
[0010]图1是本技术冷阱本体安装在扩散泵上的示意图;
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高效扩散泵冷阱,其特征在于:包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体,所述冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。2.根据权利要求1所述的一种高效扩散泵冷阱,其特征在于:所述冷阱本体的内侧表面为折皱状。3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐鸣,唐欢欢,安建昊,
申请(专利权)人:江苏微凯机械有限公司,
类型:新型
国别省市:
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