一种高效扩散泵冷阱制造技术

技术编号:32103722 阅读:22 留言:0更新日期:2022-01-29 18:43
本实用新型专利技术提供一种高效扩散泵冷阱,包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体,冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。本实用新型专利技术的冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽或为折皱状、波浪形,这些设计可增大冷阱本体内侧的表面积,进而增大换热的面积及捕集吸附油蒸汽的面积,进而提高对油蒸汽的捕集吸附及冷凝的效率,提高镀膜工艺的效果,保证产品的质量。保证产品的质量。保证产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种高效扩散泵冷阱


[0001]本技术涉及扩散泵
,具体为一种高效扩散泵冷阱。

技术介绍

[0002]冷阱是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的阱。是置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。在镀膜工艺中镀膜机会与扩散泵连接,通过扩散泵的作用对镀膜机的内部形成真空状态,而冷阱安装在扩散泵进口处用于捕集扩散泵内油形成的油蒸汽,若未安装冷阱,油蒸汽会反向的进入镀膜机内,造成镀膜工艺差,进而造成产品的质量差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高效扩散泵冷阱,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:一种高效扩散泵冷阱,包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体,所述冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。
[0005]所述冷阱本体的内侧表面为折皱状。
[0006]所述冷阱本体的内侧表面为波浪形。
[0007]所述冷阱本体的厚度为10

30cm。
[0008]与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:本技术的冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽或为折皱状、波浪形,这些设计可增大冷阱本体内侧的表面积,进而增大换热的面积及捕集吸附油蒸汽的面积,进而提高对油蒸汽的捕集吸附及冷凝的效率,提高镀膜工艺的效果,保证产品的质量。
附图说明
[0009]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分。在附图中:
[0010]图1是本技术冷阱本体安装在扩散泵上的示意图;
[0011]图2是本技术冷阱本体的状态图一;
[0012]图3是本技术实施例1的示意图;
[0013]图4是本技术实施例2的示意图;
[0014]图中:1扩散泵;2冷阱本体;3凹槽。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1

2,本技术提供技术方案:一种高效扩散泵冷阱,包括安装在扩散泵1进口处的冷阱本体2,所述冷阱本体2内侧表面上设有若干凹槽3。
[0017]所述冷阱本体2的厚度为10

30cm。
[0018]实施例1
[0019]所述冷阱本体2的内侧表面为折皱状,增大冷阱本体2内侧的表面积,进而增大换热的面积及捕集吸附油蒸汽的面积,进而提高对油蒸汽的捕集吸附及冷凝的效率。
[0020]实施例2
[0021]所述冷阱本体2的内侧表面为波浪形,增大冷阱本体2内侧的表面积,进而增大换热的面积及捕集吸附油蒸汽的面积,进而提高对油蒸汽的捕集吸附及冷凝的效率。
[0022]需要说明的是,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0023]最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效扩散泵冷阱,其特征在于:包括安装在扩散泵进口处的冷阱本体,所述冷阱本体内侧表面上设有若干凹槽。2.根据权利要求1所述的一种高效扩散泵冷阱,其特征在于:所述冷阱本体的内侧表面为折皱状。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐鸣唐欢欢安建昊
申请(专利权)人:江苏微凯机械有限公司
类型:新型
国别省市:

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