【技术实现步骤摘要】
一种离子源用气路穿透件
[0001]本技术涉及镀膜机领域，具体为一种离子源用气路穿透件。
技术介绍
[0002]镀膜机中电子枪是重要的部件，电子枪发射的电子将离子源中的气体分解成离子，离子吸附在工件上从而实现镀膜，而发射的电子除了分解气体外，其余的电子会打到镀膜机的其他配件上，尤其是气路上，气路的管道壁上长年的收到电子的冲击会形成许多凹凸不平，进而使得整个气路损坏而需要更换，因此，本技术提供一种离子源用气路穿透件以解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种离子源用气路穿透件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种离子源用气路穿透件，包括气路，所述气路的缓冲罐底部设置有穿透件本体，所述穿透件本体与所述气路缓冲罐及腔体绝缘设置。
[0005]所述穿透件本体为铁氟龙材料制成。
[0006]所述穿透件本体为圆形。
[0007]所述穿透件本体的厚度是所述气路缓冲罐厚度的三分之一。
[0008]所述穿透件...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子源用气路穿透件，其特征在于：包括气路(1)，所述气路(1)的缓冲罐(2)底部设置有穿透件本体(3)，所述穿透件本体(3)与所述气路(1)的缓冲罐(2)及腔体(4)绝缘设置。2.根据权利要求1所述的一种离子源用气路穿透件，其特征在于：所述穿透件本体(3)为铁氟龙材料制成。3.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐鸣，罗伟，杜楠，安建昊，唐欢欢，
申请(专利权)人：江苏微凯机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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