【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种拾取头自动切换装置。
技术介绍
1、贴片设备能够通过拾取头从华夫盒或蓝膜盘上吸取芯片，而华夫盒内的芯片和不同蓝膜盘上的芯片，其大小和种类不同，尤其针对多芯片的产品，贴片设备需要更换不同的吸嘴以适应产品需求。
2、现有针对不同规格的芯片时，一般采用停机手动更换拾取头的方式完成吸取。这种方式不但影响设备的生产效率，而且在手动更换拾取头后，还需进行位置和精度的校准才能使用，进一步影响生产效率，同时拾取动作的重复一致性也难以保证，以致不能满足全自动多芯片设备的贴片工艺要求。
技术实现思路
1、为克服现有贴片设备手动更换拾取头存在的生产效率低、拾取动作的重复一致性差的技术缺陷，本专利技术提供了一种拾取头自动切换装置。
2、本专利技术提供的拾取头自动切换装置，包括：
3、吸附机构，其包括连接架、旋转动力件和安装座，所述连接架适于固定连接贴片设备的机械臂，所述旋转动力件的固定部固定连接在所述连接架上，所述旋转动力件的输出轴竖直朝下布置，所述安装座与所述旋转动力件的输出轴下端固定连接，所述安装座内设有延伸至其下表面的第一气腔；
4、拾取头，其包括主体部和吸嘴，所述主体部适于吸附连接在所述安装座的下方，所述吸嘴固定连接在所述主体部的下方，所述主体部和吸嘴开设有气道，所述气道的下端延伸至所述吸嘴的气孔，所述气道的上端适于在所述主体部吸附于所述安装座上时密封连通所述第一气腔，所述主体部的侧壁上部设有第一挡圈，所述主
5、放置架，其包括悬臂条板，所述悬臂条板沿其长度方向开设有多个安装缺口，所述安装缺口的宽度与所述安装部的直径适配，所述安装缺口的高度小于所述安装部的高度。
6、可选的，所述安装座包括芯轴和安装盘，所述芯轴固定连接在所述旋转动力件的输出轴下端且同轴布置，所述安装盘固定于所述芯轴的下端且适于吸附所述主体部，所述吸附机构还包括空气轴承，所述空气轴承包括：
7、内轴套，其固定套接在所述芯轴的外侧；
8、外轴套，其与所述连接架固定连接，所述外轴套与内轴套之间形成气隙；
9、密封圈，其套接在所述内轴套上且设有至少一个，所述密封圈将所述气隙分隔且至少形成第一密闭区和第二密闭区；
10、第一气源接头，其设于所述外轴套上且与所述第一密闭区连通；
11、第二气源接头，其设于所述外轴套上且与所述第二密闭区连通，且所述第二密闭区通过开设于所述内轴套和芯轴上的第一连通孔与所述第一气腔连通。
12、可选的，所述主体部与安装盘通过磁吸和负压吸附实现双重吸附连接。
13、可选的，所述主体部与安装盘吸附时密封相接以在两者之间形成密闭区域，所述安装座内设有下端延伸至所述密闭区域的第二气腔，所述第二气腔与第一气腔相隔，所述密封圈设有至少两个，所述密封圈将所述气隙分隔且至少形成第一密闭区、第二密闭区和第三密闭区，所述空气轴承还包括第三气源接头，所述第三气源接头设于所述外轴套上且与所述第三密闭区连通，所述第三密闭区通过开设于所述内轴套和芯轴上的第二连通孔与所述第二气腔连通。
14、可选的，所述第一气腔位于所述安装盘的中心处，所述第二气腔设有呈环形阵列分布的多个且均布在所述第一气腔的周围，所述安装盘的下表面还固定连接有呈环形阵列分布的多个磁铁，多个磁铁均布在所述第二气腔的周围。
15、可选的，所述主体部与安装座之间设有第一限位结构，所述主体部与悬臂条板之间设有第二限位结构。
16、可选的，所述第一限位结构包括第一限位柱、第一限位缺口、定位台阶和定位槽，所述第一限位柱凸设于所述第一挡圈的外侧壁，所述安装座的下端设有环形挡檐，所述第一限位缺口设于所述环形挡檐的下端，所述第一限位柱与第一限位缺口配合实现所述拾取头的周向限位，所述定位台阶凸设于所述主体部的顶面中心且上端侧壁设为锥面，所述定位槽设于所述安装座的底面中心，所述定位台阶与所述定位槽配合实现所述拾取头的径向限位。
17、可选的，所述第二限位结构包括第二限位柱和第二限位缺口，所述第二限位柱凸设于所述安装部的外侧壁，所述第二限位缺口设于所述安装缺口的边缘处且与所述安装缺口的开口朝向一致。
18、可选的，所述安装缺口的上表面设有卡槽，所述卡槽与所述第一挡圈适配。
19、可选的，所述旋转动力件为旋转电机。
20、本专利技术提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：
21、本专利技术提供的拾取头自动切换装置，包括吸附机构、拾取头和放置架，吸附机构包括连接架、旋转动力件和安装座，拾取头包括主体部和吸嘴，放置架包括悬臂条板，悬臂条板开设有安装缺口。使用时，将多个待使用的拾取头放置在多个安装缺口内；需要更换拾取头时，分为拾取头放置和目标拾取头拾取两个动作；拾取头放置时，贴片设备的机械臂控制吸附机构移动，使得主体部的安装部横向插入空闲的安装缺口，然后吸附机构上移使得拾取头在第二挡圈与悬臂条板的硬接触下脱离吸附机构，之后通过第一挡圈挂置在条形缺口处；目标拾取头拾取时，吸附机构移动至待使用的拾取头正上方，并下降使得安装座吸附连接主体部，然后横向移动使得拾取头脱离安装缺口。本装置能够代替人工实现拾取头的自动切换，不需停机操作，也不需进行位置和精度的重复校准，大幅提高了工作效率，且通过设备精度能够保证拾取动作的重复一致性，从而能够满足全自动多芯片设备的贴片工艺要求。
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1.一种拾取头自动切换装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述安装座（13）包括芯轴（132）和安装盘（133），所述芯轴（132）固定连接在所述旋转动力件（12）的输出轴下端且同轴布置，所述安装盘（133）固定于所述芯轴（132）的下端且适于吸附所述主体部（21），所述吸附机构（1）还包括空气轴承（14），所述空气轴承（14）包括：
3.根据权利要求2所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述主体部（21）与安装盘（133）通过磁吸和负压吸附实现双重吸附连接。
4.根据权利要求3所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述主体部（21）与安装盘（133）吸附时密封相接以在两者之间形成密闭区域，所述安装座（13）内设有下端延伸至所述密闭区域的第二气腔（134），所述第二气腔（134）与第一气腔（131）相隔，所述密封圈（143）设有至少两个，所述密封圈（143）将所述气隙分隔且至少形成第一密闭区（144）、第二密闭区（145）和第三密闭区（148），所述空气轴承（14）还包括第三气源接头（149），所
5.根据权利要求4所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述第一气腔（131）位于所述安装盘（133）的中心处，所述第二气腔（134）设有呈环形阵列分布的多个且均布在所述第一气腔（131）的周围，所述安装盘（133）的下表面还固定连接有呈环形阵列分布的多个磁铁（135），多个磁铁（135）均布在所述第二气腔（134）的周围。
6.根据权利要求1至5任一项所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述主体部（21）与安装座（13）之间设有第一限位结构（4），所述主体部（21）与悬臂条板（31）之间设有第二限位结构（5）。
7.根据权利要求6所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述第一限位结构（4）包括第一限位柱（41）、第一限位缺口（42）、定位台阶（43）和定位槽（44），所述第一限位柱（41）凸设于所述第一挡圈（211）的外侧壁，所述安装座（13）的下端设有环形挡檐（45），所述第一限位缺口（42）设于所述环形挡檐（45）的下端，所述第一限位柱（41）与第一限位缺口（42）配合实现所述拾取头（2）的周向限位，所述定位台阶（43）凸设于所述主体部（21）的顶面中心且上端侧壁设为锥面，所述定位槽（44）设于所述安装座（13）的底面中心，所述定位台阶（43）与所述定位槽（44）配合实现所述拾取头（2）的径向限位。
8.根据权利要求6所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述第二限位结构（5）包括第二限位柱（51）和第二限位缺口（52），所述第二限位柱（51）凸设于所述安装部（213）的外侧壁，所述第二限位缺口（52）设于所述安装缺口（311）的边缘处且与所述安装缺口（311）的开口朝向一致。
9.根据权利要求1至5任一项所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述安装缺口（311）的上表面设有卡槽（312），所述卡槽（312）与所述第一挡圈（211）适配。
10.根据权利要求1至5任一项所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述旋转动力件（12）为旋转电机。
...【技术特征摘要】
1.一种拾取头自动切换装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述安装座（13）包括芯轴（132）和安装盘（133），所述芯轴（132）固定连接在所述旋转动力件（12）的输出轴下端且同轴布置，所述安装盘（133）固定于所述芯轴（132）的下端且适于吸附所述主体部（21），所述吸附机构（1）还包括空气轴承（14），所述空气轴承（14）包括：
3.根据权利要求2所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述主体部（21）与安装盘（133）通过磁吸和负压吸附实现双重吸附连接。
4.根据权利要求3所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述主体部（21）与安装盘（133）吸附时密封相接以在两者之间形成密闭区域，所述安装座（13）内设有下端延伸至所述密闭区域的第二气腔（134），所述第二气腔（134）与第一气腔（131）相隔，所述密封圈（143）设有至少两个，所述密封圈（143）将所述气隙分隔且至少形成第一密闭区（144）、第二密闭区（145）和第三密闭区（148），所述空气轴承（14）还包括第三气源接头（149），所述第三气源接头（149）设于所述外轴套（142）上且与所述第三密闭区（148）连通，所述第三密闭区（148）通过开设于所述内轴套（141）和芯轴（132）上的第二连通孔与所述第二气腔（134）连通。
5.根据权利要求4所述的拾取头自动切换装置，其特征在于，所述第一气腔（131）位于所述安装盘（133）的中心处，所述第二气腔（134）设有呈环形阵列分布的多个且均布在所述第一气腔（131）的周围，所述安装盘（133）的下表面还固定连接有呈环形阵列分布的多个磁铁（13...
【专利技术属性】
技术研发人员：田志峰，马轶博，崔海龙，丁宇心，侯一雪，刘红雨，段晋胜，王贵森，贺俊敏，赵雷，
申请(专利权)人：西北电子装备技术研究所中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：发明
国别省市：
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