【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体产品制造设备，尤其涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置。
技术介绍
1、硅片是太阳能电池片的基本原料之一，其在经过扩散工艺后表面会残留一层磷硅玻璃，磷硅玻璃必须去除以避免影响电池片的外观和电性能。磷硅玻璃的去除一般采用去磷硅玻璃机完成，去磷硅玻璃机通常设有十个及以上进料窗口，需多个硅片排成一排分别从多个进料窗口进入去磷硅玻璃机完成去磷硅玻璃工艺。
2、现有去磷硅玻璃机的硅片进料装置，如图4所示，包括纵向输送组件300、横向输送组件400和顶升气缸500，纵向输送组件300与去磷硅玻璃机的进料窗口100对接，横向输送组件400单批次需输送多个硅片以与去磷硅玻璃机的进料窗口100一一对应，当横向输送组件400将硅片输送到位后，顶升气缸500带动横向输送组件400下降，使得硅片落在纵向输送组件300上，然后纵向输送组件300将硅片输送至进料窗口内。
3、但是，由于硅片横向输送以及顶升气缸动作皆需耗费较多时间，上料效率较低，限制产能的提升。
技术实现思路
1、为克服现有去磷硅玻璃机的硅片进料装置存在的硅片上料效率较低的技术缺陷，本专利技术提供了一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置。
2、本专利技术提供的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，包括：
3、缓存传送组件，其适于缓存上工序设备出料，所述缓存传送组件设有至少一组且传送方向为纵向，每组缓存传送组件对应去磷硅玻璃机的一个进料窗口布置，所述缓存传送组件的横向侧方对应有进料窗口的空区形成转运
4、纵向传送组件，其与去磷硅玻璃机的进料窗口一一对应布置且适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内；
5、硅片切换组件，其位于所述缓存传送组件与纵向传送组件之间，所述硅片切换组件与所述作业区一一对应布置，所述硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件，所述导轨横向布置且覆盖对应作业区的范围，所述滑座滑动连接在所述导轨上，所述驱动件适于驱动所述滑座沿所述导轨滑动，所述输送组件安装在所述滑座上且输送方向为纵向。
6、可选的，所有作业区划分为至少一个工作组，每个工作组的所有作业区范围相同且均匀分布，每个工作组对应的所有硅片切换组件共用导轨和驱动件。
7、可选的，每个作业区对应两个进料窗口布置。
8、可选的，所述驱动件包括伺服电机和同步带，所述同步带与同一工作组的所有滑座皆固定连接以实现同一工作组的所有硅片切换组件同步动作。
9、可选的，所述硅片切换组件还包括夹持机构，所述夹持机构适于在所述硅片切换组件横向移动时夹紧硅片。
10、可选的，所述夹持机构包括两个分别位于所述滑座横向两侧的夹爪，两个夹爪适于在所述硅片切换组件横向移动时夹紧硅片的横向两端。
11、可选的，两个夹爪的相对侧设有滚轮，所述滚轮的轴线竖向布置，所述夹爪通过所述滚轮接触所述硅片的横向端部实现夹紧。
12、本专利技术提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：
13、本专利技术提供的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，设有缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件接收上工序设备出料并纵向传输，缓存传送组件所传输的硅片数量等于所在作业区所对应进料窗口的数量，且缓存传送组件所传输的硅片中最前方的一片硅片依次经硅片切换组件、纵向传送组件后进入去磷硅玻璃机的进料窗口，剩余硅片传输至硅片切换组件上，硅片切换组件通过横向移动分别对齐转运区所对应的进料窗口逐个输出硅片，最终完成对应于所有进料窗口的整排硅片入料。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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1.一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，所有作业区（3）划分为至少一个工作组（6），每个工作组（6）的所有作业区（3）范围相同且均匀分布，每个工作组（6）对应的所有硅片切换组件（5）共用导轨（51）和驱动件（53）。
3.根据权利要求2所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，每个作业区（3）对应两个进料窗口（100）布置。
4.根据权利要求2所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，所述驱动件（53）包括伺服电机（531）和同步带（532），所述同步带（532）与同一工作组（6）的所有滑座（52）皆固定连接以实现同一工作组（6）的所有硅片切换组件（5）同步动作。
5.根据权利要求1至4任一项所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，所述硅片切换组件（5）还包括夹持机构（55），所述夹持机构（55）适于在所述硅片切换组件（5）横向移动时夹紧硅片。
6.根据权利要求5所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，所述夹持机构（55）
7.根据权利要求6所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，两个夹爪（551）的相对侧设有滚轮（552），所述滚轮（552）的轴线竖向布置，所述夹爪（551）通过所述滚轮（552）接触所述硅片的横向端部实现夹紧。
...【技术特征摘要】
1.一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，所有作业区（3）划分为至少一个工作组（6），每个工作组（6）的所有作业区（3）范围相同且均匀分布，每个工作组（6）对应的所有硅片切换组件（5）共用导轨（51）和驱动件（53）。
3.根据权利要求2所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，每个作业区（3）对应两个进料窗口（100）布置。
4.根据权利要求2所述的去磷硅玻璃机的硅片上料装置，其特征在于，所述驱动件（53）包括伺服电机（531）和同步带（532），所述同步带（532）与同一工作组（6）的所有滑座（52）皆固定连接以实现同一工作组（6）的所有硅片切换组件（...
【专利技术属性】
技术研发人员：折飞，朱江江，田阿亮，李永明，薛珺天，陈嘉荣，黄晋，王鹏鹏，郭远威，李凌宇，张奇巍，
申请(专利权)人：西北电子装备技术研究所中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：发明
国别省市：
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