【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及空气净化，尤其是指一种除dms的过滤材料以及过滤器滤芯。
技术介绍
1、在面板光电制造业的面板制程中需要使用大量有机溶液，从而产生大量有机废气(volatile organic compounds，vocs)。其中，光刻胶剥离工序是产生有机废气的主要工序之一。目前所用的光刻胶剥离液主要成分为高沸点而且几乎全溶于水的有机溶液，如ニ甲基亚砜(dimethyl sulfoxide，dmso)，二醇胺(monoethanolamine，mea)，二乙二醇单丁醚(diethylene glycol monobutyl ether，bdg)等。在高温及非碱性条件下dmso易出现失稳，分解出二甲硫醚(dimethyl sulfide，dms)等副产物。dms会影响半导体厂房生产芯片的制程，导致影响器件性能、导致晶圆废弃等问题。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种除dms的过滤材料以及过滤器滤芯。
2、一种除dms的过滤材料，所述过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％-91％，所述高锰酸钾的含量占9-12.5％。
3、优选地，所述基材为多孔介质。
4、优选地，所述基材优选为al2o3。
5、优选地，所述过滤材料为平均粒径为3～5mm的球体颗粒。
6、优选地，所述过滤材料的比表面积≥250m2/g，所述过滤材料的含水量≤20％。
7、优选地，所述基材的
8、一种过滤器滤芯，包括：滤芯主体、上端盖和下端盖，所述滤芯主体由内到外依次包括内网罩、滤层和外网罩，所述上端盖和下端盖安装在所述内网罩和外网罩的两端，用于固定滤层；
9、其中，所述滤层为装有如上所述的除dms的过滤材料的织物滤布袋。
10、优选地，所述上端盖与所述内网罩和外网罩的一端设置有对应的螺钉孔，所述螺钉孔内设置有固定螺钉，用于将所述上端盖与所述内网罩和外网罩的一端固定。
11、优选地，所述下端盖上设置有卡槽，所述内网罩和外网罩的另一端设置有与所述卡槽对应的卡扣，所述卡扣卡设于所述卡槽内，使得所述下端盖与所述内网罩和外网罩的另一端固定。
12、优选地，所述上端盖和下端盖上均设置有锁扣，用于将所述过滤器滤芯与指定器械连接。
13、本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
14、1、本专利技术所述的除dms的过滤材料，基于高锰酸钾与dms反应生成二甲基亚砜这一化学反应，采用高锰酸钾作为滤料的主要反应成分对由半导体制造产生的dms进行去除，其去除效率高达94.1％，解决了dms影响器件性能、导致晶圆废弃等问题。
15、2、本专利技术所述的过滤器滤芯，通过拆卸固定螺钉可将上端盖与内网罩和外网罩的一端分离，从而对位于所述内网罩和外网罩中间的滤层进行更换，本专利技术的过滤器滤芯仅需对滤层进行更换即可重复使用。
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1.一种除DMS的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％-91％，所述高锰酸钾的含量占9-12.5％。
2.根据权利要求1所述的除DMS的过滤材料，其特征在于，所述基材为多孔介质。
3.根据权利要求1所述的除DMS的过滤材料，其特征在于，所述基材优选为Al2O3。
4.根据权利要求1所述的除DMS的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料为平均粒径为3～5mm的球体颗粒。
5.根据权利要求1所述的除DMS的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料的比表面积≥250m2/g，所述过滤材料的含水量≤20％。
6.根据权利要求1所述的除DMS的过滤材料，其特征在于，所述基材的含量占90％，所述高锰酸钾的含量占10％。
7.一种过滤器滤芯，其特征在于，包括：滤芯主体、上端盖和下端盖，所述滤芯主体由内到外依次包括内网罩、滤层和外网罩，所述上端盖和下端盖安装在所述内网罩和外网罩的两端，用于固定滤层；
8.根据权利要求7所述的过滤器滤芯，其特征在于，所述上端
9.根据权利要求7所述的过滤器滤芯，其特征在于，所述下端盖上设置有卡槽，所述内网罩和外网罩的另一端设置有与所述卡槽对应的卡扣，所述卡扣卡设于所述卡槽内，使得所述下端盖与所述内网罩和外网罩的另一端固定。
10.根据权利要求7所述的过滤器滤芯，其特征在于，所述上端盖和下端盖上均设置有锁扣，用于将所述过滤器滤芯与指定器械连接。
...【技术特征摘要】
1.一种除dms的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％-91％，所述高锰酸钾的含量占9-12.5％。
2.根据权利要求1所述的除dms的过滤材料，其特征在于，所述基材为多孔介质。
3.根据权利要求1所述的除dms的过滤材料，其特征在于，所述基材优选为al2o3。
4.根据权利要求1所述的除dms的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料为平均粒径为3～5mm的球体颗粒。
5.根据权利要求1所述的除dms的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料的比表面积≥250m2/g，所述过滤材料的含水量≤20％。
6.根据权利要求1所述的除dms的过滤材料，其特征在于，所述基材的含量占90％，所述高锰酸钾的含量占10％。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁晨阳，严燕芳，刘志庆，张文俊，黄子恒，
申请(专利权)人：爱美克空气过滤器苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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