【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金刚石加工，特别涉及一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置。
技术介绍
1、金刚石具有高导热、高电子迁移率等优异的性能，是未来科技领域内十分重要的材料。通常在使用过程中对金刚石表面粗糙度有着较高的要求。目前金刚石常见的加工方式有机械抛光，化学辅助机械抛光，离子束抛光和激光抛光等等。传统的机械抛光通常采用电镀金刚石颗粒的铸铁盘，抛光时间长且受到金刚石晶片大小影响，当金刚石晶片尺寸达到一定程度后，抛光时间呈指数增加。金刚石硬度较大，传统的加工方式要求金刚石晶片先进行研磨，降低表面粗糙度到某一指标，同时使两个面的平行度处在一定范围内才能进行抛光。但是研磨和抛光不在同一设备上，金刚石要从研磨的样品台上取下后重新加装，由于设备的水平差异，总会导致金刚石在抛光时抛光面不能完全平行于加工端，需要从某一角重新起面，大大延长了抛光时间。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
3、一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，包括底座，所述底座上端四角均固定安装有支撑杆，若干所述支撑杆上端共同固定安装有顶板，所述底座上端中部转动连接有若干样品夹装台，所述样品夹装台上设置有定位装置，所述顶板底部固定安装有若干与样品夹装台相对应的第一电机，所述第一电机底部固定安装固定板，所述固定板下端的左右两侧均固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底部固定安装有水平位移装置
4、优选的，所述定位装置包括真空吸盘和抽气泵，所述真空吸盘固定安装在样品夹装台顶部，所述抽气泵固定安装在样品夹装台外部，所述真空吸盘底部固定安装有导气管，所述导气管设置在样品夹装台内部，且导气管另一端与抽气泵连接。
5、优选的，所述水平位移装置包括安装板和第三电机，所述安装板固定安装在电动伸缩杆底部，所述安装板底部开设有滑槽，所述滑槽内部转动连接有螺杆，所述螺杆外表面螺纹连接有驱动块，所述驱动块在滑槽内滑动，所述驱动块底部贯穿滑槽并固定安装有连接板，所述第三电机固定安装在安装板一侧，所述第三电机的输出端与螺杆固定连接。
6、优选的，所述粗磨装置包括粗磨电机和粗磨砂轮，所述粗磨电机固定安装在连接板底部，所述粗磨砂轮固定安装在粗磨电机的输出轴上。
7、优选的，所述抛光装置包括第五电机和抛光砂轮，所述第五电机固定安装在连接板底部，所述抛光砂轮固定安装在第五电机的输出轴上。
8、优选的，所述底座内部设置有若干设备腔，所述设备腔内固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴带动样品夹装台转动，转速在50-2500 r/min范围内。
9、优选的，所述粗磨砂轮和抛光砂轮加工方式分为立轴、卧轴以及二者组合，立轴通过砂轮断面进行抛磨，而卧轴利用砂轮外圆进行抛磨。
10、优选的，所述粗磨砂轮和抛光砂轮均采用陶瓷金刚石砂轮，其中粗磨砂轮粒径在300-800目，抛光砂轮粒径在600-1500目。
11、优选的，所述粗磨砂轮和抛光砂轮可相对于样品夹装台竖直升降和水平位移，其中升降范围为0-150mm，水平移动范围以样品夹装台中轴为基准-50-160 mm，且砂轮转速为1000-5000 r/min。
12、与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
13、本专利技术公开了一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，采用立轴或卧式圆台磨的方式粗磨和抛光金刚石晶片，使加工端和金刚石始终处于线接触或固定面积的面接触，有效保证了金刚石去除率的稳定性，避免金刚石尺寸增大而限制磨削效率；同时将将粗磨装置、抛光装置、电动伸缩杆、水平位移装置、第一电机和固定板固定组合在一起，避免金刚石粗磨后从样品夹装台上取下后重新抛磨从而产生平行度误差，提高加工精度。同时，该圆台磨床装置实现了在单一设备进行多个产品同时粗磨和抛光，提高了金刚石的加工效率。
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1.一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）上端四角均固定安装有支撑杆（2），若干所述支撑杆（2）上端共同固定安装有顶板（3），所述底座（1）上端中部转动连接有若干样品夹装台（4），所述样品夹装台（4）上设置有定位装置（5），所述顶板（3）底部固定安装有若干与样品夹装台（4）相对应的第一电机（6），所述第一电机（6）底部固定安装固定板（7），所述固定板（7）下端的左右两侧均固定安装有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）底部固定安装有水平位移装置（8），位于左侧的电动伸缩杆（12）底部固定安装有粗磨装置（9），位于右侧的电动伸缩杆（12）底部固定安装有抛光装置（10）。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述定位装置（5）包括真空吸盘（51）和抽气泵（53），所述真空吸盘（51）固定安装在样品夹装台（4）顶部，所述抽气泵（53）固定安装在样品夹装台（4）外部，所述真空吸盘（51）底部固定安装有导气管（52），所述导气管（52）设置在样品夹装台（4）内部，且导气管（52）另一端与抽气泵（53
3.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述水平位移装置（8）包括安装板（81）和第三电机（85），所述安装板（81）固定安装在电动伸缩杆（12）底部，所述安装板（81）底部开设有滑槽（811），所述滑槽（811）内部转动连接有螺杆（82），所述螺杆（82）外表面螺纹连接有驱动块（83），所述驱动块（83）在滑槽（811）内滑动，所述驱动块（83）底部贯穿滑槽（811）并固定安装有连接板（84），所述第三电机（85）固定安装在安装板（81）一侧，所述第三电机（85）的输出端与螺杆（82）固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述粗磨装置（9）包括粗磨电机（91）和粗磨砂轮（92），所述粗磨电机（91）固定安装在连接板（84）底部，所述粗磨砂轮（92）固定安装在粗磨电机（91）的输出轴上。
5.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述抛光装置（10）包括第五电机（1001）和抛光砂轮（1002），所述第五电机（1001）固定安装在连接板（84）底部，所述抛光砂轮（1002）固定安装在第五电机（1001）的输出轴上。
6.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述底座（1）内部设置有若干设备腔（101），所述设备腔（101）内固定安装有第二电机（11），所述第二电机（11）输出轴带动样品夹装台（4）转动，转速在50-2500 r/min范围内。
7.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述粗磨砂轮（92）和抛光砂轮（1002）加工方式分为立轴、卧轴以及二者组合，立轴通过砂轮断面进行抛磨，而卧轴利用砂轮外圆进行抛磨。
8.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述粗磨砂轮（92）和抛光砂轮（1002）均采用陶瓷金刚石砂轮，其中粗磨砂轮（92）粒径在300-800目，抛光砂轮（1002）粒径在600-1500目。
9.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述粗磨砂轮（92）和抛光砂轮（1002）可相对于样品夹装台（4）竖直升降和水平位移，其中升降范围为0-150mm，水平移动范围以样品夹装台（4）中轴为基准-50-160 mm，且砂轮转速为1000-5000 r/min。
...【技术特征摘要】
1.一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）上端四角均固定安装有支撑杆（2），若干所述支撑杆（2）上端共同固定安装有顶板（3），所述底座（1）上端中部转动连接有若干样品夹装台（4），所述样品夹装台（4）上设置有定位装置（5），所述顶板（3）底部固定安装有若干与样品夹装台（4）相对应的第一电机（6），所述第一电机（6）底部固定安装固定板（7），所述固定板（7）下端的左右两侧均固定安装有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）底部固定安装有水平位移装置（8），位于左侧的电动伸缩杆（12）底部固定安装有粗磨装置（9），位于右侧的电动伸缩杆（12）底部固定安装有抛光装置（10）。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述定位装置（5）包括真空吸盘（51）和抽气泵（53），所述真空吸盘（51）固定安装在样品夹装台（4）顶部，所述抽气泵（53）固定安装在样品夹装台（4）外部，所述真空吸盘（51）底部固定安装有导气管（52），所述导气管（52）设置在样品夹装台（4）内部，且导气管（52）另一端与抽气泵（53）连接。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石粗磨和抛光的加工集成装置，其特征在于：所述水平位移装置（8）包括安装板（81）和第三电机（85），所述安装板（81）固定安装在电动伸缩杆（12）底部，所述安装板（81）底部开设有滑槽（811），所述滑槽（811）内部转动连接有螺杆（82），所述螺杆（82）外表面螺纹连接有驱动块（83），所述驱动块（83）在滑槽（811）内滑动，所述驱动块（83）底部贯穿滑槽（811）并固定安装有连接板（84），所述第三电机（85）固定安装在安装板（81）一侧，所述第三电机（85）的输出端与螺杆（82）固定连接。
...【专利技术属性】
技术研发人员：李高金，李志博，李明君，吕申申，
申请(专利权)人：安徽碳索芯材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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