【技术实现步骤摘要】
本技术涉及高纯气体管路，具体为一种高纯气体管路。
技术介绍
1、高纯气体在生产中是常见的物料之一，可用于气切、纯化等等操作，而高纯气体在使用时，需要通过气体管路，将高纯气体从储存罐中输出，将连接管路与输送管路对接，从而对高纯气体进行使用；
2、在公开号为cn202220539830.1公开的管路连接结构及气体管路，在管路的连接端上固定密封件，插装部的两端设置有装配腔，管路的连接端插入一侧的装配腔内，另一管路的连接端插入另一侧的装配腔内，连接端上的密封件能够挤压并固定于对应装配腔内，从而将两管路连接，上述管路的连接结构，无需使用卡箍，利于减重，安装方便，不会占用多余的管路空间，安装环的周壁上间隔布置有四个卡扣，上述卡扣的结构与呈环形槽结构的卡槽相互配合，能够在周向上实现安装环与插装部的紧密连接，保证连接结构的稳定性；
3、但是，上述方案在使用的过程中还存在以下问题：在对管路进行对接时，通过密封件与装配槽的连接配合卡扣和安装环进行固定，连接方式简单，且在安装拆卸过程中，卡扣的弹性边易发生疲劳，进而影响连接处的稳定性，...
【技术保护点】
1.一种高纯气体管路，包括主管路(1)，且主管路(1)与气体储罐相连接，并且主管路(1)的外侧等间距设置有副管路(2)；
2.根据权利要求1所述的一种高纯气体管路，其特征在于：所述对接头(3)的侧面贯穿轴承连接有转杆(5)，且转杆(5)与对接头(3)之间安装有扭簧(6)。
3.根据权利要求2所述的一种高纯气体管路，其特征在于：所述转杆(5)的端部通过锥齿连接件与圆环(7)相连接，且圆环(7)的底部固定有齿环(8)，并且齿环(8)和圆环(7)均转动连接于对接头(3)的内壁中。
4.根据权利要求3所述的一种高纯气体管路，其特征在于：所述...
【技术特征摘要】
1.一种高纯气体管路，包括主管路(1)，且主管路(1)与气体储罐相连接，并且主管路(1)的外侧等间距设置有副管路(2)；
2.根据权利要求1所述的一种高纯气体管路，其特征在于：所述对接头(3)的侧面贯穿轴承连接有转杆(5)，且转杆(5)与对接头(3)之间安装有扭簧(6)。
3.根据权利要求2所述的一种高纯气体管路，其特征在于：所述转杆(5)的端部通过锥齿连接件与圆环(7)相连接，且圆环(7)的底部固定有齿环(8)，并且齿环(8)和圆环(7)均转动连接于对接头(3)的内壁中。
4.根据权利要求3所述的一种高纯气体管路，其特征在于：所述齿环(8)的外侧等角度啮合连接有齿轮(9)，且齿轮(9)的中部一体式固定有锁定杆(10)，并且锁定杆(10)设置为“t”字形结...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐福成，牟珍蓉，
申请(专利权)人：钰镍上海半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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