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本技术公开了一种高纯气体管路,包括主管路,且主管路与气体储罐相连接,并且主管路的外侧等间距设置有副管路;还包括:所述副管路的底部均固定安装有对接头,且对接头的底部用于对接使用端的连接管路,并且对接头的底部边缘处等角度贯穿转动连接有锁定杆,而...该专利属于钰镍(上海)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过钰镍(上海)半导体科技有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种高纯气体管路,包括主管路,且主管路与气体储罐相连接,并且主管路的外侧等间距设置有副管路;还包括:所述副管路的底部均固定安装有对接头,且对接头的底部用于对接使用端的连接管路,并且对接头的底部边缘处等角度贯穿转动连接有锁定杆,而...