【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种移动载台设备，特别是涉及一种气浮移动载台装置。
技术介绍
1、现有一种气浮移动载台结构(中国台湾证书号m476019专利案)，包含座体、限位件、横向浮移件及载台。该载台能滑动的设于该横向浮移件，该横向浮移件受该限位件所牵制，该载台及该横向浮移件分别设有数个气孔，以及连接于所述气孔使其相互贯通的数个气道，当于所述气道导入气压，能借由气压使载台浮起，并移动于该横向浮移件，且使该横向浮移件移动于该限位件间，从而使该载台构成x轴及y轴的移动，以供于该载台放置待加工物或待检测物，而利于待加工物或待检测物的精密作业。
2、上述的整体配置，该横向浮移件相对于该座体移动必须设置该限位件，才能达到限位，限位设计会增加成本。
3、另外，中国台湾证书号m475329专利案披露的气浮移动载台结构也有类似的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种能解决现有缺失的气浮移动载台装置。
2、本技术的气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第...
【技术保护点】
1.一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述滑台单元的底座还具有一对相交于所述底侧面的侧表面，所述第一导气道组具有至少两个第一连通孔、至少两个分别由所述侧表面连通至所述第一连通孔的第一入气孔，以及至少两个分别由所述底侧面连通至所述第一连通孔的第一出气孔，所述第一出气孔的出口端相邻于所述顶面。
3.根据权利要求2所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述滑台单元的侧座分别具有相对于所述侧端面的内侧面，以及连通所述内侧面的第二...
【技术特征摘要】
1.一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述滑台单元的底座还具有一对相交于所述底侧面的侧表面，所述第一导气道组具有至少两个第一连通孔、至少两个分别由所述侧表面连通至所述第一连通孔的第一入气孔，以及至少两个分别由所述底侧面连通至所述第一连通孔的第一出气孔，所述第一出气孔的出口端相邻于所述顶面。
3.根据权利要求2所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述滑台单元的侧座分别具有相对于所述侧端面的内侧面，以及连通所述内侧面的第二导气道组，当对所述第二导气道组供气，能使所述侧端面与所述内侧面之间产生气膜。
4.根据权利要求3所述的气浮移动载台装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：林文忠，
申请(专利权)人：东佑达奈米系统股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。