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一种气浮移动载台装置,包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元。所述基座单元具有底端面、顶端面及两个侧端面,所述滑轨单元包括一对导轨及至少一对滑块,所述滑台单元具有底座、顶座及两个侧座,所述底座具有底侧面及第一...该专利属于东佑达奈米系统股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东佑达奈米系统股份有限公司授权不得商用。
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一种气浮移动载台装置,包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元。所述基座单元具有底端面、顶端面及两个侧端面,所述滑轨单元包括一对导轨及至少一对滑块,所述滑台单元具有底座、顶座及两个侧座,所述底座具有底侧面及第一...