一种电子级六甲基二硅氮烷水分检测方法技术

本发明专利技术提供了一种电子级六甲基二硅氮烷中水分含量的检测方法，该检测方法采用卡尔·费休库伦法测量电子级六甲基二硅氮烷的水分，卡尔·费休试剂由质量分数组成分别为甲醇50‑70％、二乙醇胺5‑15％、咪唑5‑15％、二氧化硫3‑10％、氢碘酸3‑10％，在反应溶剂中加入苹果酸或柠檬酸其中一种酸性缓冲试剂，即可以保证卡尔·费休反应正常进行，又可以减缓电子级六甲基二硅氮烷与醇的反应，即使有轻微的反应物生成，也可以通过溶剂中大量的酸性缓冲试剂进行中和，缓冲滴定溶液的pH值，减缓副反应，最终实现电子级六甲基二硅氮烷的水分测定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅氮烷的水分检测方法，具体涉及一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法。

技术介绍

1、六甲基二硅氮烷是一种重要的有机硅材料，在医药、航空航天、半导体制造等领域有着广泛应用。在电子工业中，超净高纯试剂在制备过程中对杂质含量和颗粒度的要求极其苛刻，它被广泛地应用在集成电路领域。由于光刻胶和晶片亲疏水性的差异，粘合性较差。涂布光刻胶时会引起局部的间隙或气泡，涂胶厚度和均匀性也会受到影响。引入六甲基二硅胺(hmds)作为表面活性剂，可以改善光刻胶与基底的粘附性，有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀，在使用过程中，一般要求其水分浓度低于50ppm。

2、六甲基二硅氮烷水解产生六甲基二硅氧烷和三甲基硅醇，导致产品纯度不高，严重影响了产品质量，达不到半导体质量要求，故分析测定电子级六甲基二硅氮烷中水分含量是控制产品质量的重要手段。

3、目前水分检测方式有几种方式：红外法水分测定仪利用水分子吸收特定波红外辐射的原理测定水分，其精度不是很高，适合测量水分含量较大物质；微波水分测定仪原理是水分对微波能量的吸收或者微波空腔谐振频率随水分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级六甲基二硅氮烷中水分含量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法，其特征在于：所述卡尔·费休阳极液的配比为：

3.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法，其特征在于：所述卡尔·费休试剂质量分数的组成为甲醇50-70％、二乙醇胺5-15％、咪唑5-15％、二氧化硫3-10％、氢碘酸3-10％。

4.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法，其特征在于：70％的甲醇、10％的二乙醇胺、10％的咪唑、5％的二氧化硫、5％的氢碘酸。

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【技术特征摘要】

1.一种电子级六甲基二硅氮烷中水分含量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法，其特征在于：所述卡尔·费休阳极液的配比为：

3.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法，其特征在于：所述卡尔·费休试剂质量分数的组成为甲醇50-70％、二乙醇胺5-15％、咪唑5-15％、二氧化硫3-10％、氢碘酸3-10％。

4.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷的水分检测方法，其特征在于：70％的甲醇、...

【专利技术属性】
技术研发人员：李锐峰，叶瑞，贺兆波，侯建鑫，万富强，杨着，夏致远，欧阳克银，曾靖淞，王尚琪，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：