【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶舟制备，具体涉及一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置。
技术介绍
1、芯片制造过程中，晶圆处理工序用到的晶舟，是晶圆装载系统的关键核心部件，要求其材料要有高纯度、高致密度、高温下具有较高的抗弯强度，不易产生弯曲应力变形和热应变，并且具有极佳的可抛光性，晶舟使用的材质主要是石英玻璃，但石英玻璃软化点低，耐高温性差，高温下易变形且极易与硅晶片发生黏结，再者石英玻璃中钾、钠杂质挥发容易污染硅晶片。高纯碳化硅材料因具有与硅晶片相同的热膨胀系数，优异的抗热震性能，高密度，高纯度和优异的高温强度以及能够长期耐受强腐蚀环境等特点，是替代石英玻璃的最佳选择之一。
2、针对现有技术存在以下问题：
3、在对碳化硅陶瓷晶舟的制备时，需要使用到固化炉对工件进行多次的固化烧结，同时需要对固化炉的内部充入氮气和氩气，对烧结的晶舟进行保护，现有的固化炉在与输气管进行连接时，连接的效果较差，容易造成气体的泄露，同时现有的固化炉在使用时，不方便进行移动，使得固化炉的实用性大大降低。
技术实现思路
1、本技术提供一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
3、一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，包括固化炉，所述固化炉的左侧固定连接有控制柜，所述固化炉的前端活动连接有炉门，所述固化炉的右侧中部固定连接有输气接口，所述固化炉的右侧底端固定连接有移动机构。
4、所述输气接口包括连接管，所述连接管
5、本技术技术方案的进一步改进在于：所述连接管包括导通管，所述导通管固定连接在连接套的左侧，所述导通管的内侧固定连接有限制环，所述限制环的右侧固定连接有密封垫。
6、采用上述技术方案，该方案中的导通管、限制环、密封垫之间的相互配合，通过挤压密封垫能够对输气管进行密封。
7、本技术技术方案的进一步改进在于：所述限制环的内部滑动连接有顶板，所述顶板的右端延伸至密封垫的右侧，所述顶板的左端延伸至限制环的左侧，所述顶板的侧面设置有顶紧弹簧，所述顶板的左端固定连接有封盖。
8、采用上述技术方案，该方案中的顶板、顶紧弹簧、封盖之间的相互配合，方便了对导通管的导通进行控制。
9、本技术技术方案的进一步改进在于：所述移动机构包括驱动手柄，所述驱动手柄活动连接在固化炉的侧面，所述驱动手柄的一端固定连接有锥齿轮一，所述锥齿轮一活动连接在固化炉的内部。
10、采用上述技术方案，该方案中的驱动手柄、锥齿轮一之间的相互配合，能够对装置的移动进行控制。
11、本技术技术方案的进一步改进在于：所述锥齿轮一的侧面啮合连接有锥齿轮二，所述锥齿轮二的侧面固定连接有第二螺杆，所述第二螺杆的侧面螺纹连接有螺纹滑块二，所述螺纹滑块二的侧面活动连接有拉板。
12、采用上述技术方案，该方案中的锥齿轮二、第二螺杆、螺纹滑块二、拉板之间的相互配合，能够对移动轮的伸出进行控制。
13、本技术技术方案的进一步改进在于：所述拉板的顶端活动连接有连接板，所述连接板的两端固定连接有支撑腿，所述支撑腿滑动连接在固化炉的内部底端，所述支撑腿的底部活动连接有移动轮。
14、采用上述技术方案，该方案中的连接板、支撑腿、移动轮之间的相互配合，从而方便了对固化炉进行移动。
15、由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
16、本技术提供一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，通过连接管、连接套、输气管、驱动齿环、驱动轮、第一螺杆、螺纹滑块一、滑动块、滑动卡板之间的相互配合，输气管通过挤压连接管内的密封垫进行密封，并通过对驱动齿环进行转动，从而能够带动驱动轮进行转动，并能够使得第一螺杆进行转动，从而带动螺纹滑块一进行移动，使得滑动卡板能够卡在输气管的侧面，并使得输气管对密封垫的挤压效果更好，避免了气体的泄露，保证了装置的正常使用。
17、本技术提供一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，通过驱动手柄、锥齿轮一、锥齿轮二、第二螺杆、螺纹滑块二、拉板、连接板、支撑腿、移动轮之间的相互配合，在需要对装置进行移动时，通过对驱动手柄进行转动，从而能够带动锥齿轮一进行转动，并能够带动锥齿轮二进行转动，从而能够通过第二螺杆带动螺纹滑块二进行移动，并通过拉板能够拉动连接板进行移动，从而使得支撑腿带动移动轮进行伸出，方便了对固化炉进行移动，提高了固化炉的实用性。
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1.一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，包括固化炉（1），所述固化炉（1）的左侧固定连接有控制柜（2），所述固化炉（1）的前端活动连接有炉门（3），其特征在于：所述固化炉（1）的右侧中部固定连接有输气接口（4），所述固化炉（1）的右侧底端固定连接有移动机构（5）；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述连接管（41）包括导通管（411），所述导通管（411）固定连接在连接套（42）的左侧，所述导通管（411）的内侧固定连接有限制环（412），所述限制环（412）的右侧固定连接有密封垫（413）。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述限制环（412）的内部滑动连接有顶板（414），所述顶板（414）的右端延伸至密封垫（413）的右侧，所述顶板（414）的左端延伸至限制环（412）的左侧，所述顶板（414）的侧面设置有顶紧弹簧（415），所述顶板（414）的左端固定连接有封盖（416）。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述移动机构（5）包括驱动手柄（51
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述锥齿轮一（52）的侧面啮合连接有锥齿轮二（53），所述锥齿轮二（53）的侧面固定连接有第二螺杆（54），所述第二螺杆（54）的侧面螺纹连接有螺纹滑块二（55），所述螺纹滑块二（55）的侧面活动连接有拉板（56）。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述拉板（56）的顶端活动连接有连接板（57），所述连接板（57）的两端固定连接有支撑腿（58），所述支撑腿（58）滑动连接在固化炉（1）的内部底端，所述支撑腿（58）的底部活动连接有移动轮（59）。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，包括固化炉（1），所述固化炉（1）的左侧固定连接有控制柜（2），所述固化炉（1）的前端活动连接有炉门（3），其特征在于：所述固化炉（1）的右侧中部固定连接有输气接口（4），所述固化炉（1）的右侧底端固定连接有移动机构（5）；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述连接管（41）包括导通管（411），所述导通管（411）固定连接在连接套（42）的左侧，所述导通管（411）的内侧固定连接有限制环（412），所述限制环（412）的右侧固定连接有密封垫（413）。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷晶舟的制备装置，其特征在于：所述限制环（412）的内部滑动连接有顶板（414），所述顶板（414）的右端延伸至密封垫（413）的右侧，所述顶板（414）的左端延伸至限制环（412）的左侧，所述顶板（414）的侧面设置有顶紧弹簧（415），所述顶板（414）的左端固定连接有封...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭丁娜，王世昌，王媛媛，王志华，
申请(专利权)人：潍坊六方碳化硅陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：
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