一种蒸镀机接触板平坦度判断装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀机接触板平坦度判断装置及方法，涉及蒸镀机技术领域。所述装置包括：至少一张压敏纸，放置于掩膜板框架的上表面；多个承压单元，均匀放置于掩膜板框架上的压敏纸的上表面；每一承压单元包括：一载台，包括多个垂直方向的通孔，每一通孔的顶端设置有一凹槽，每一凹槽内设置一中空的弹性件；多个顶针，每一顶针穿设于一弹性件和通孔，且顶针的尖端为靠近压敏纸的一端，当顶针顶部承受接触板的压力时，顶针的尖端将压力传导至压敏纸。本发明专利技术通过承压单元内的顶针将接触板的压力传导至压敏纸，从而根据压敏纸的颜色深浅一致性判断接触板平坦度，节省人力，缩短测量时间，提高稼动率及生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀机，具体涉及一种蒸镀机接触板平坦度判断装置及方法。

技术介绍

1、有机发光二极管(oled)因具有自发光、轻薄、宽视角、高响应等特点，成为现有显示面板的研究热点。oled显示屏一般通过真空蒸镀技术制备，即在真空腔环境下，材料蒸汽透过掩膜板沉积在基板上。蒸镀前需先将玻璃基板与掩膜板进行对位，以便材料准确沉积到对应的rgb子像素上，以免出现混色或色不均等不良。现有的蒸镀机对位机构一般包括磁板、接触板(touchplate)、ccd、抬片机构(hook)等。其中接触板利用本身自重将玻璃基板压在掩膜板上，最后磁板吸附掩膜板上的掩膜条并带起基板与接触板平整贴合，达到最终成膜对位状态。

2、接触板要求需非常平坦才能使掩膜条与玻璃基板完全贴合，但在使用时易出现倾斜，或者边缘与掩模板框架压合处易形变等平坦度不佳问题，接触板下压玻璃基板时，可能出现接触板倾斜与基板线接触，或者本身微小形变导致与玻璃基板单点接触(如图1所示)，因接触板自重较大下压时存在较大的势能，以上情况极易导致基板局部承受过大压强出现破片、裂纹及缺角等异常，破片时则需停机进行处本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀机接触板平坦度判断装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括调整螺母，所述顶针上部设置有与调整螺母对应的螺纹，所述调整螺母的下表面与弹性件的顶部接触，通过调整螺母的旋转调整顶针与载台表面的相对高度。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述弹性件为弹簧。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述载台包括五个垂直方向的通孔。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述顶针的顶针头的直径大于指定值。

6.一种蒸镀机接触板平坦度判断方法，其特征在于，需提供如权利要求1-5...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀机接触板平坦度判断装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括调整螺母，所述顶针上部设置有与调整螺母对应的螺纹，所述调整螺母的下表面与弹性件的顶部接触，通过调整螺母的旋转调整顶针与载台表面的相对高度。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述弹性件...

【专利技术属性】
技术研发人员：张麒麟，林志斌，吴晟远，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：