【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，具体而言涉及一种连接状态检测装置、开关门装置及半导体加工设备连接状态检测装置。
技术介绍
1、机械装置通常由多个连接件连接形成，连接件之间通常通过螺纹连接等方式进行连接，在连接件处于结合状态时，机械装置可以正常工作，在连接件因断裂、松动等原因处于分离状态时，机械装置难以正常工作。
2、目前，对于容易分离的连接件，通常在需要在连接件上设置特定的传感器来检测其是否处于分离状态，成本相对较高。
3、因此需要进行改进，以至少部分地解决上述问题。
技术实现思路
1、在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本技术的
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
2、为了至少部分地解决上述问题，根据本技术的第一方面，提供了一种连接状态检测装置，连接状态检测装置用于检测第一连接件和第二连接件的连接状态，连接状态包括分离状态和结合状态，连接状态检测装置包括：
3、导线，导线固定于第一连接件和第二连接件上，导线配置为在第一连接件和第二连接件处于分离状态时断开；
4、控制单元，导线的两端连接控制单元，控制单元配置为检测导线的导通和断开；
5、报警单元，连接控制单元，配置为在导线断开时发出报警信号。
6、示例性地，导线包括第一子导线和第二子导线，第一子导线和第二子导线分别固定于第
7、示例性地，第一连接件和第二连接件之间还具有至少一个第三连接件，第一连接件通过至少一个第三连接件连接于第二连接件；
8、当第一连接件、第二连接件和至少一个第三连接件中的任意两者分离时，第一连接件和第二连接件处于分离状态。
9、示例性地，导线通过胶粘的方式固定于第一连接件和第二连接件；或，
10、所述导线通过分别设置于所述第一连接件和所述第二连接件上的第一夹持固定件和第二夹持固定件夹持固定于所述第一连接件和所述第二连接件上。
11、示例性地，报警单元包括指示灯和/或扬声器。
12、根据本技术的第二方面，提供了一种开关门装置，其包括：
13、门；
14、机架；
15、升降驱动单元，设置于机架上；
16、安装支架，与升降驱动单元连接，升降驱动单元配置为驱动安装支架升降；
17、连接单元，连接单元的第一端与安装支架连接，连接单元的第二端与门连接；
18、导线，导线固定于安装支架和连接单元上，导线配置为在安装支架和连接单元处于分离状态时断开；
19、控制单元，导线的两端连接控制单元，控制单元配置为检测导线的导通和断开；
20、报警单元，连接控制单元，配置为在导线断开时发出报警信号。
21、示例性地，连接单元包括依次连接的第一连接杆、万向头和第二连接杆，第一连接杆远离万向头的一端连接于安装支架，第二连接杆远离万向头的一端连接于门；
22、开关门装置还包括波纹管，第二连接杆通过波纹管连接于机架；
23、其中，导线固定于第二连接杆上，或导线固定于第二连接杆和第一连接杆上；
24、导线配置为在安装支架、第一连接杆、万向头和第二连接杆中的任意两者处于分离状态时断开。
25、示例性地，导线包括第一子导线和第二子导线，第一子导线和第二子导线分别固定于安装支架和第二连接杆上，第一子导线的第一端连接于控制单元，第一子导线的第二端设置有第一导电端子，第二子导线的第一端连接于控制单元，第二子导线的第二端设置有与第一导电端子相匹配的第二导电端子，第一导电端子和第二导电端子插接连接，第一导电端子和第二导电端子配置为在安装支架、第一连接杆、万向头和第二连接杆中的任意两者处于分离状态时分离。
26、示例性地，导线通过胶粘的方式固定于安装支架和连接单元上；或，
27、所述导线通过分别设置于所述安装支架和所述连接单元上的第一夹持固定件和第二夹持固定件夹持固定于所述安装支架和所述连接单元上。
28、根据本技术的第三方面，提供了一种半导体加工设备，其包括如上所述的开关门装置。
29、根据本技术的连接状态检测装置、开关门装置及半导体加工设备，控制单元可以通过检测固定于连接件上的导线的导通和断开来判断连接件是否分离，并在检测到导线断开时通过报警单元发出报警信号，无需在连接件上设置特定的传感器，结构简单，成本较低。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种连接状态检测装置，用于检测第一连接件和第二连接件的连接状态，所述连接状态包括分离状态和结合状态，其特征在于，所述连接状态检测装置包括：
2.如权利要求1所述的连接状态检测装置，其特征在于，
3.如权利要求1或2所述的连接状态检测装置，其特征在于，
4.如权利要求1或2所述的连接状态检测装置，其特征在于，
5.如权利要求1或2所述的连接状态检测装置，其特征在于，
6.一种开关门装置，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的开关门装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的开关门装置，其特征在于，
9.根据权利要求6-8中任一项所述的开关门装置，其特征在于，
10.一种半导体加工设备，其特征在于，包括如权利要求6-9中任一项所述的开关门装置。
【技术特征摘要】
1.一种连接状态检测装置，用于检测第一连接件和第二连接件的连接状态，所述连接状态包括分离状态和结合状态，其特征在于，所述连接状态检测装置包括：
2.如权利要求1所述的连接状态检测装置，其特征在于，
3.如权利要求1或2所述的连接状态检测装置，其特征在于，
4.如权利要求1或2所述的连接状态检测装置，其特征在于，
5.如权利要求1或2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志伟，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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