一种用于废气裂解的等离子体炬电源制造技术

本技术提供一种用于废气裂解的等离子体炬电源，包括AC380V电路输入、三相整流滤波电路、IGBT全桥电路、高频变压器T1、全桥整流电路、输出电路；AC380V电路输入通过开关控制连接三相整流滤波电路；三相整流滤波电路整流后连接四路IGBT全桥电路；IGBT全桥电路连接高频变压器T1输入端，高频变压器T1的输出端连接全桥整流电路的输入端；全桥整流电路的输出端连接输出电路，所述输出电路输出电压250V、电流100A等离子体炬电源。本新型的等离子体炬电源应用于治理泛半导体制成过程产生的大量有害气体，通过等离子体电源给火炬供能，利用电弧产生高温气体，对尾气进行裂解、气化处理；时间短容量大，便于使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电源设备，具体涉及一种用于废气裂解的等离子体炬电源。

技术介绍

1、等离子体炬直流电源系列产品采用现有成熟的dspa-jr高频开关电源模块方案设计，可满足等离子体炬负载的技术指标，其中效率在满功率情况下可达到93%。此电源具有体积小、效率高、反馈控制速度快、低噪音、维护方便等特点，并且有完善的保护功能确保电源长期稳定运行。可用于垃圾固体废弃物处理、等离子体熔融冶炼、等离子体材料处理等领域。

2、在治理半导体制成过程中会产生大量有害气体，通过等离子体电源给火炬供能，利用电弧产生高温气体，采用等离子的超高温特性对尾气进行裂解、气化等处理，再通过水洗，使处理后的废气中的可溶于水的气体溶于水内。水洗式等离子体尾气处理设备的降温速度较快，pm时间短且其容量较大，便于人们的使用。为了实现对于半导体制成过程中会产生大量有害气体进行裂解处理，我们提出了本等离子体炬电源。

技术实现思路

1、针对现有的技术方案存在的问题。本技术的目的在于提供一种用于废气裂解的等离子体炬电源。

2、为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：

3、一种用于废气裂解的等离子体炬电源，包括380v ac供电输入、三相整流滤波电路、igbt全桥电路、高频变压器t1、全桥整流电路、输出电路；380v ac供电输入通过开关控制连接三相整流滤波电路；三相整流滤波电路整流后连接四路igbt全桥电路；igbt全桥电路连接高频变压器t1输入端，高频变压器t1的输出端连接全桥整流电路的输入端；全桥整流电路的输出端连接输出电路，所述输出电路输出电压250v、电流100a等离子体炬电源。

4、进一步的，所述三相整流滤波电路还包括滤波单元；380v ac供电输入通过电源开关控制通断，给到所述三相整流滤波电路，最后通过滤波单元整流后输送到igbt全桥电路。

5、进一步的，所述等离子体炬电源还包括电源外壳，所述电源外壳的一个侧面设有高压输出端子、5p接线端子、rs485通讯接口和i/o接口；5p接线端子连接所述380v ac供电输入；高压输出端子连接所述输出电路。

6、进一步的，所述高压输出端子的上部电源外壳侧面上还安装风扇。

7、进一步的，所述电源外壳相对高压输出端子的另一侧面设有空气开关，空气开关的上方分别设有通风孔和触摸屏。

8、进一步的，电源外壳外部还设有把手。

9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本新型用于废气裂解的等离子体炬电源通过igbt全桥电路、高频变压器t1、全桥整流电路将380v ac供电转换成电压250v、电流100a等离子体炬电源；通过等离子体电源给火炬供能，利用电弧产生高温气体，对半导体制成过程产生的大量有害尾气进行裂解、气化处理；时间短容量大，便于使用。

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【技术保护点】

1.一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，包括380V AC供电输入（100）、三相整流滤波电路（200）、IGBT全桥电路（300）、高频变压器T1（400）、全桥整流电路（500）、输出电路（600）；380V AC供电输入（100）通过开关控制连接三相整流滤波电路（200）；三相整流滤波电路（200）整流后连接四路IGBT全桥电路（300）；IGBT全桥电路（300）连接高频变压器T1（400）输入端，高频变压器T1（400）的输出端连接全桥整流电路（500）的输入端；全桥整流电路（500）的输出端连接输出电路（600），所述输出电路（600）输出电压250V、电流100A等离子体炬电源。

2.根据权利要求1所述的一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，所述三相整流滤波电路（200）还包括滤波单元；380V AC供电输入（100）通过电源开关控制通断，给到所述三相整流滤波电路（200），最后通过滤波单元整流后输送到IGBT全桥电路（300）。

3.根据权利要求1所述的一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，所述等离子体炬电源还包括电源外壳（1），所述电源外壳（1）的一个侧面设有高压输出端子（3）、5P接线端子（5）、RS485通讯接口（7）和I/O接口（6）；5P接线端子（5）连接所述380V AC供电输入（100）；高压输出端子（3）连接所述输出电路（600）。

4.根据权利要求3所述的一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，所述高压输出端子（3）的上部电源外壳（1）侧面上还安装风扇（4）。

5.根据权利要求3所述的一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，所述电源外壳（1）相对高压输出端子（3）的另一侧面设有空气开关（9），空气开关（9）的上方分别设有通风孔（10）和触摸屏（8）。

6.根据权利要求3所述的一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，电源外壳（1）外部还设有把手（2）。

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【技术特征摘要】

1.一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，包括380v ac供电输入（100）、三相整流滤波电路（200）、igbt全桥电路（300）、高频变压器t1（400）、全桥整流电路（500）、输出电路（600）；380v ac供电输入（100）通过开关控制连接三相整流滤波电路（200）；三相整流滤波电路（200）整流后连接四路igbt全桥电路（300）；igbt全桥电路（300）连接高频变压器t1（400）输入端，高频变压器t1（400）的输出端连接全桥整流电路（500）的输入端；全桥整流电路（500）的输出端连接输出电路（600），所述输出电路（600）输出电压250v、电流100a等离子体炬电源。

2.根据权利要求1所述的一种用于废气裂解的等离子体炬电源，其特征在于，所述三相整流滤波电路（200）还包括滤波单元；380v ac供电输入（100）通过电源开关控制通断，给到所述三相整流滤波电路（200），最后通过滤波单元整流后输送到...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐深红，张玉奇，吴亮，程挺，程东升，
申请(专利权)人：安徽省金屹等离子体电源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：