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图像传感器制造技术

技术编号:40908076 阅读:3 留言:0更新日期:2024-04-18 14:37
一种图像传感器,包括衬底和设置在衬底中并将第一像素和第二像素彼此分离的像素分离部分。第一像素和第二像素在彼此交叉的第一方向和第二方向上交替布置。每个第一像素在第一方向上具有第一宽度。每个第二像素在第一方向上具有比第一宽度窄的第二宽度。像素分离部分包括在第一像素和第二像素之间的主分离部分、以及多个突起,多个突起中的每个在第一方向和第二方向中的至少一个方向上从主分离部分的侧表面突出。多个突起中的突起突出到第一像素中的相应第一像素中,以将相应第一像素分成多个子像素。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及图像传感器


技术介绍

1、图像传感器是用于将光学图像转换成电信号的半导体装置。图像传感器可以被分类为电荷耦合器件(ccd)图像传感器和互补金属氧化物半导体(cmos)图像传感器中的一种。cis是cmos图像传感器的缩写。cis可以包括二维排列的多个像素。每个像素可以包括光电二极管(pd)。光电二极管可以将入射光转换成电信号。


技术实现思路

1、专利技术构思的实施例可以提供能够实现清晰图像质量的高度集成的图像传感器。

2、根据一些实施例,图像传感器可以包括:具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底;以及像素分离部分,设置在衬底中,并将第一像素和第二像素彼此分离。第一像素和第二像素在彼此交叉的第一方向和第二方向上交替布置。每个第一像素可以在第一方向上具有第一宽度。每个第二像素可以在第一方向上具有小于第一宽度的第二宽度。像素分离部分可以包括:在第一像素和第二像素之间的主分离部分;以及多个突起,多个突起中的每个在第一方向和第二方向中的至少一个方向上从主分离部分的侧表面突出。多个突起中的突起突出到第一像素中的相应第一像素中,以将相应第一像素分成多个子像素。

3、根据一些实施例,图像传感器可以包括:具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底;像素分离部分,设置在衬底中,并将第一像素和第二像素彼此分离,第一像素和第二像素在彼此交叉的第一方向和第二方向上交替布置,像素分离部分将每个第一像素分成多个子像素,其中每个第一像素在第一方向上具有第一宽度,每个第二像素在第一方向上具有小于第一宽度的第二宽度;第一光电转换部分,设置在每个子像素中的衬底中;第一浮置扩散区,与衬底的第一表面相邻,并设置在每个子像素中的衬底中;子传输栅极,设置在每个子像素中的第一浮置扩散区的侧部;第二光电转换部分,设置在每个第二像素中的衬底中;第二浮置扩散区,与衬底的第一表面相邻,并设置在每个第二像素中的衬底中;以及第二传输栅极,设置在每个第二像素中的第二浮置扩散区的侧部。

4、根据一些实施例,图像传感器可以包括:具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底;像素分离部分,设置在衬底中,并将第一像素和第二像素彼此分离,第一像素和第二像素在彼此交叉的第一方向和第二方向上交替布置,其中每个第一像素在第一方向上具有第一宽度,每个第二像素在第一方向上具有小于第一宽度的第二宽度;第一微透镜,设置在衬底的第二表面上,在第一像素中的第一个第一像素上(例如,覆盖第一像素中的第一个第一像素),并具有第三宽度;第二微透镜,设置在衬底的第二表面上,在第一像素中的第二个第一像素上(例如,覆盖第一像素中的第二个第一像素),并具有第四宽度;第三微透镜,设置在衬底的第二表面上,在第二像素上(例如,覆盖第二像素)并具有第五宽度;第一滤色器,设置在衬底的第二表面和第一微透镜之间;和第二滤色器,设置在衬底的第二表面和第二微透镜之间。在第三微透镜和第二表面之间可以不存在滤色器。第四宽度可以小于第三宽度,并且可以大于第五宽度。第一滤色器可以具有蓝色,第二滤色器可以具有绿色和红色之一。在一些实施例中,在第三微透镜和衬底的第二表面之间的空间没有滤色器。

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【技术保护点】

1.一种图像传感器,包括:

2.根据权利要求1所述的图像传感器,进一步包括:

3.根据权利要求2所述的图像传感器,进一步包括:

4.根据权利要求2所述的图像传感器,进一步包括:

5.根据权利要求4所述的图像传感器,进一步包括:

6.根据权利要求1所述的图像传感器,其中当在平面图中观察时,每个所述第一像素具有八边形形状,并且

7.根据权利要求1所述的图像传感器,进一步包括:

8.根据权利要求7所述的图像传感器,其中所述第一微透镜具有第一曲率,并且

9.根据权利要求7所述的图像传感器,进一步包括:

10.根据权利要求9所述的图像传感器,其中,所述第一微透镜具有第三宽度,并且

11.根据权利要求10所述的图像传感器,进一步包括:

12.一种图像传感器,包括:

13.根据权利要求12所述的图像传感器,其中当在平面图中观察时,每个所述第一像素具有八边形形状,并且

14.根据权利要求12所述的图像传感器,进一步包括:

15.根据权利要求14所述的图像传感器,其中所述第一微透镜具有第一曲率,并且

16.根据权利要求14所述的图像传感器,进一步包括:

17.一种图像传感器,包括:

18.根据权利要求17所述的图像传感器,其中所述第一微透镜的最上端比所述第二微透镜的最上端离所述衬底的所述第二表面更远,并且

19.根据权利要求17所述的图像传感器,其中所述第一微透镜具有第一曲率,

20.根据权利要求17所述的图像传感器,其中所述像素分离部分包括多个部分,并且所述多个部分中的部分延伸到所述第一像素中的相应第一像素中,以将所述相应第一像素分成多个子像素,并且

...

【技术特征摘要】

1.一种图像传感器,包括:

2.根据权利要求1所述的图像传感器,进一步包括:

3.根据权利要求2所述的图像传感器,进一步包括:

4.根据权利要求2所述的图像传感器,进一步包括:

5.根据权利要求4所述的图像传感器,进一步包括:

6.根据权利要求1所述的图像传感器,其中当在平面图中观察时,每个所述第一像素具有八边形形状,并且

7.根据权利要求1所述的图像传感器,进一步包括:

8.根据权利要求7所述的图像传感器,其中所述第一微透镜具有第一曲率,并且

9.根据权利要求7所述的图像传感器,进一步包括:

10.根据权利要求9所述的图像传感器,其中,所述第一微透镜具有第三宽度,并且

11.根据权利要求10所述的图像传感器,进一步包括:

12.一种图像传感器,包括:...

【专利技术属性】
技术研发人员:金泳来文祥赫朴主恩李宰昊赵鼎镇
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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