一种长波长面发射激光器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种长波长面发射激光器及其制作方法，包括：由下及上依次设置的InP衬底层、InP缓冲层、N型接触层、N‑DBR、N间隔层、多结级联有源区、P间隔层、掩埋隧道结、InP填平层、混合介质镜、P型接触层；其中，N‑DBR固接在InP缓冲层的顶端，N型接触层环绕N‑DBR设置；多结级联有源区通过N间隔层固接在N‑DBR的顶端；多结级联有源区的顶端为p间隔层，p间隔层的上边为InP填平层包围的掩埋隧道结；InP填平层的顶部为混合介质镜。本发明专利技术的长波长面发射激光器结构提高了激光器输出光束的单色性和热稳定性，提高器件的输出功率和转化效率，增强了器件的环境适应性，优化了激光器的性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体激光器光电子，尤其涉及一种长波长面发射激光器及其制作方法。

技术介绍

1、长波长垂直腔面发射激光器(lw-vcsel)作为一种重要的光电子器件，已经在长距离光通信和气体传感领域实现了应用。在长距离光通信方面，lw-vcsel的工作波长主要位于1310nm和1550nm，具有在光纤中较小传输损耗和良好大气穿透性的特性，为高带宽通信和远距离传输提供了产品。在气体传感方面，lw-vcsel通过光谱特性与特定气体相互作用，水、甲烷、二氧化碳、一氧化碳、氢氟酸、盐酸等气体的检测，实现了高灵敏性、选择性检测和实时监测的优势，在环境检测、工业安全、医疗农业等方面发挥着举足轻重的作用。

2、在气体传感方面，水、甲烷、二氧化碳、一氧化碳、氢氟酸、盐酸等气体在长波长范围1280nm-2004nm存在光谱吸收峰，设计一种inp基的长波长面发射激光器结构，借助这些气体在该范围的吸收峰实现气体传感，尤其是甲烷气体。甲烷气体虽然在1300nm和1666nm附近存在吸收谱，但在1654nm波段处具有较强的吸收并且无其他气体的干扰，因此现有设计的激光器结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种长波长面发射激光器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

8.一种长波长面发射激光器的制作方法，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的长波长面发射激光器的...

【技术特征摘要】

1.一种长波长面发射激光器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的长波长面发射激光器，其特征在于，

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李惠，陈钊，冯健，苗威，张幸，钟础宇，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：