下载一种长波长面发射激光器及其制作方法的技术资料

文档序号:40905358

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本发明公开了一种长波长面发射激光器及其制作方法,包括:由下及上依次设置的InP衬底层、InP缓冲层、N型接触层、N‑DBR、N间隔层、多结级联有源区、P间隔层、掩埋隧道结、InP填平层、混合介质镜、P型接触层;其中,N‑DBR固接在InP缓...
该专利属于深圳技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳技术大学授权不得商用。

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