【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光谱仪器，特别涉及一种真空紫外光谱仪。
技术介绍
1、波长扫描原理图如图1所示，同步辐射光sr经入射狭缝s1入射到光栅g上后发生光的衍射。衍射光按波长不同出现在不同的位置，经出射狭缝s2得到一定分辨率的单色光。若出射狭缝固定不动，转动光栅g，使其镜面相对入射光转动，单色光将按不同波长依次色散。在驱动光栅转动时，驱动机构的位移范围和光栅的效率决定了光栅的波长范围，通过更换具有不同刻线密度的光栅便可以覆盖不同的波长范围。
2、中国专利cn101256144a公开了一种真空紫外光谱检测装置，包括入口狭缝，凹面光栅，光纤阵列和平板检测器；入口狭缝和凹面光栅安装于真空腔体之中，光纤阵列的一个端面与由入口狭缝和凹面光栅所决定的罗兰圆面重合，光纤阵列的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，这些子光纤阵列的端面都为平面并分别与一个平板检测器相连接；光纤阵列与真空腔体真空密封连接。该方案中的光纤阵列在拓宽光谱检测的波长范围的同时，还会导致采集的杂光多，导致测量精度下降，无法满足高精度测量需
3本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空紫外光谱仪，其特征在于：包括用于容置光栅(10)及其调节机构的分光舱(31)，光栅调节机构包括转动连接于分光舱(31)内的光栅基板(11)，处于工作位的光栅(10)的扫描芯线与光栅基板(11)的回转轴芯重合；
2.根据权利要求1所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：光栅基板(11)的回转轴芯垂直于进光舱(32)和分光舱(33)固定管段管芯所共面。
3.根据权利要求2所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：进光舱(32)的入射端通过柔性管与光源组件(40)密封连接，出光舱(33)的出射端通过柔性管与探测组件(50)密封连接；探测组件(50)包括...
【技术特征摘要】
1.一种真空紫外光谱仪，其特征在于：包括用于容置光栅(10)及其调节机构的分光舱(31)，光栅调节机构包括转动连接于分光舱(31)内的光栅基板(11)，处于工作位的光栅(10)的扫描芯线与光栅基板(11)的回转轴芯重合；
2.根据权利要求1所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：光栅基板(11)的回转轴芯垂直于进光舱(32)和分光舱(33)固定管段管芯所共面。
3.根据权利要求2所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：进光舱(32)的入射端通过柔性管与光源组件(40)密封连接，出光舱(33)的出射端通过柔性管与探测组件(50)密封连接；探测组件(50)包括探测器(51)，探测器(51)的光入射口指向出光舱(33)并在动力源的驱动下靠近或远离出光舱(33)的出射端。
4.根据权利要求3所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：第一柔性管(321)过渡连接进光舱(32)与用于容置入射狭缝的入射狭缝壳体(41)，入射狭缝壳体(41)的上游可拆卸式连接有准直激光器(42)；
5.根据权利要求4所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：整体呈立柱状的分光舱(31)固定安装在底座(30)上，用于安装入射狭缝壳体(41)、准直激光器(42)的台座(43)以及第一直线位移台(52)分别固定安装在底座(30)上；
6.根据权利要求1-5任一项所述的真空紫外光谱仪，其特征在于：分光舱(31)的舱壁上设有管口指向光栅基座驱动组件(20)的扫描管座(314)，光栅基座驱动组件(20)安装在底座(30)上并位于分光舱(31)与光源组件(40)、探测组件(50)之间，进光舱(32)和分光舱(33)的底端高于光栅驱动组件(20)的顶端；...
【专利技术属性】
技术研发人员：李朝阳，马立敏，李长松，王超，耿继宝，
申请(专利权)人：安徽创谱仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。