【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及mems制造，更具体地说，涉及一种硅基柔性悬膜及其制备方法。
技术介绍
1、柔性电极目前被广泛的应用于人体生理信息的检测中，例如，侵入式检测血糖，贴附于人体表面监测汗液中微量离子，以及通过施加电压提取间质液检测乳酸等等。
2、传统柔性电极的制备方法有丝网印刷，化学镀膜、转印等，丝网印刷由于其对准精度较差，一般不适用制备多层电极；化学镀膜需要复杂的化学处理，过程复杂；转印需要复杂的模具制备以及印浆的调制过程；
3、同时，常规器件往往需要在制备好柔性电极后设计电路接口，再与信号处理电路部分相连接，例如，fpc制备的柔性电极需要设计插口再与pcb板上的信号处理芯片相连接，这样使得贴附于皮肤的柔性电极需要额外设计两端的固定方式，这对于柔性电极相关器件的小型化和应用是不利的。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中存在的技术问题，本申请的主要目的在于，通过单端固支电极或双端固支电极，与硅片相集成，有利于与硅基集成电路连接。为实现上述专利技术目的，本申请采用如下技术
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【技术保护点】
1.一种硅基柔性悬膜，其特征在于：包括硅晶圆和柔性电极，所述柔性电极与硅晶圆通过胶键合连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜，其特征在于：所述柔性电极采用单端固支梁结构，形成侵入人体监测信号的单端固支电极。
3.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜，其特征在于：所述柔性电极采用双端固支梁结构，形成监测人体信号的双端固支电极，所述双端固支电极通过两端硅固定于人体皮肤表面。
4.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜的制备方法，其特征在于：所述柔性电极包括柔性衬底和导电层，所述导电层设置为单层或若干层。
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种硅基柔性悬膜，其特征在于：包括硅晶圆和柔性电极，所述柔性电极与硅晶圆通过胶键合连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜，其特征在于：所述柔性电极采用单端固支梁结构，形成侵入人体监测信号的单端固支电极。
3.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜，其特征在于：所述柔性电极采用双端固支梁结构，形成监测人体信号的双端固支电极，所述双端固支电极通过两端硅固定于人体皮肤表面。
4.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜的制备方法，其特征在于：所述柔性电极包括柔性衬底和导电层，所述导电层设置为单层或若干层。
5.根据权利要求1所述的一种硅基柔性悬膜的制备方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张鹤，陈涛，印青，张光华，
申请(专利权)人：苏州锐光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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