【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆电镀线烘干，具体为一种新型晶圆电镀线热风烘干装置。
技术介绍
1、晶圆电镀是一种在晶圆表面形成金属薄膜或其他材料的薄膜的过程，通过将金属锭或其他材料的圆柱形电极浸入汞中，通过电解的方式将金属或者其他材料沉积到晶圆表面上；电极的形状决定了沉积薄膜的形状和厚度；晶圆电镀的过程中，电解液中含有金属离子或其他化合物，通过电流的作用沉积到晶圆表面。
2、晶圆电镀线是指为了完成晶圆电镀工艺过程中所有电镀设备的的统称，对产品完成晶圆电镀完毕后，需要对产品进行干燥，以去除晶圆表面的液体，在对晶圆电镀产品进行干燥时，需要利用烘干装置。
3、现有的装置可以在最大程度上实现晶圆两面同时烘干，进而实现对晶圆性能的保护效果，现有的晶圆烘干装置在使用过程中，需要工作人员的身体进入到烘干箱内部，对晶圆进行安装与拆卸，且工作人员在箱体内部操作较为不便，箱体内部空间较小，工作人员位于其内部操作时，工作效率较低，一定程度上不便于工作人员操作。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种新...
【技术保护点】
1.一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：包括烘干箱主体，所述烘干箱主体的一侧设置有箱门，所述烘干箱主体的内部安装有移动组件，所述烘干箱主体的顶部设置有吹风组件，且烘干箱主体的内侧固定设置有底板，所述移动组件的内侧连接有连接杆，且连接杆的一端设置有夹持组件，所述烘干箱主体的内部设置有加热板；
2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述电机位于烘干箱主体的一侧设置，且电机与丝杆之间可拆卸连接，所述活动块内部开设有与丝杆相匹配的螺孔，所述连接板与活动块之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风...
【技术特征摘要】
1.一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：包括烘干箱主体，所述烘干箱主体的一侧设置有箱门，所述烘干箱主体的内部安装有移动组件，所述烘干箱主体的顶部设置有吹风组件，且烘干箱主体的内侧固定设置有底板，所述移动组件的内侧连接有连接杆，且连接杆的一端设置有夹持组件，所述烘干箱主体的内部设置有加热板；
2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述电机位于烘干箱主体的一侧设置，且电机与丝杆之间可拆卸连接，所述活动块内部开设有与丝杆相匹配的螺孔，所述连接板与活动块之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述连接板与固定架之间固定连接，所述连接板贯穿贯通槽并延伸至其外侧，所述滑块与固定架之间固定连接，所述滑块与滑槽相匹配，且滑块与滑槽之间滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电...
【专利技术属性】
技术研发人员：周秀尧，卢东向，
申请(专利权)人：苏州路可佳自动化技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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