【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆电镀线烘干，具体为一种新型晶圆电镀线热风烘干装置。
技术介绍
1、晶圆电镀是一种在晶圆表面形成金属薄膜或其他材料的薄膜的过程，通过将金属锭或其他材料的圆柱形电极浸入汞中，通过电解的方式将金属或者其他材料沉积到晶圆表面上；电极的形状决定了沉积薄膜的形状和厚度；晶圆电镀的过程中，电解液中含有金属离子或其他化合物，通过电流的作用沉积到晶圆表面。
2、晶圆电镀线是指为了完成晶圆电镀工艺过程中所有电镀设备的的统称，对产品完成晶圆电镀完毕后，需要对产品进行干燥，以去除晶圆表面的液体，在对晶圆电镀产品进行干燥时，需要利用烘干装置。
3、现有的装置可以在最大程度上实现晶圆两面同时烘干，进而实现对晶圆性能的保护效果，现有的晶圆烘干装置在使用过程中，需要工作人员的身体进入到烘干箱内部，对晶圆进行安装与拆卸，且工作人员在箱体内部操作较为不便，箱体内部空间较小，工作人员位于其内部操作时，工作效率较低，一定程度上不便于工作人员操作。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出在对晶圆进行安装时较为不便的问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，包括烘干箱主体，所述烘干箱主体的一侧设置有箱门，所述烘干箱主体的内部安装有移动组件，所述烘干箱主体的顶部设置有吹风组件，且烘干箱主体的内侧固定设置有底板，所述移动组件的内侧连接有连接杆，且连接杆的一端设置有夹持组件，所述
3、所述移动组件包括电机，且电机输出端连接有丝杆，所述丝杆的外侧设置有活动块，且活动块的顶部设置有连接板，所述连接板的顶部连接有固定架，且固定架底部两侧连接有滑块，所述底板的内部开设有滑槽，且滑槽的一侧开设有贯通槽；
4、所述夹持组件包括固定套，且固定套的内部开设有螺孔，所述螺孔的内侧设置有螺杆，所述螺杆的顶部连接有旋钮，且螺杆的底部外侧设置有轴承座，所述轴承座的底部设置有压紧套；
5、所述吹风组件包括外框架，且外框架的内部设置有安装架，所述安装架的一侧安装有风机，且外框架的内侧顶部设置有过滤网。
6、优选地，所述电机位于烘干箱主体的一侧设置，且电机与丝杆之间可拆卸连接，所述活动块内部开设有与丝杆相匹配的螺孔，所述连接板与活动块之间固定连接。
7、优选地，所述连接板与固定架之间固定连接，所述连接板贯穿贯通槽并延伸至其外侧，所述滑块与固定架之间固定连接，所述滑块与滑槽相匹配，且滑块与滑槽之间滑动连接。
8、优选地，所述吹风组件的数量为多组，多组所述吹风组件位于烘干箱主体顶部进行设置，且外框架贯穿烘干箱主体并延伸至其内部，所述安装架与外框架之间固定连接，且安装架与风机之间可拆卸连接，所述过滤网位于外框架顶部进行设置。
9、优选地，所述夹持组件的数量为多组，多组所述夹持组件位于固定架内侧对称设置，所述固定套与连接杆之间固定连接。
10、优选地，所述螺孔的数量为两组，两组所述螺孔位于固定套两端对称开设，所述螺孔与螺杆相匹配，且螺孔与螺杆之间螺纹连接。
11、优选地，所述旋钮与螺杆之间固定连接，所述螺杆与轴承座之间过盈连接，所述轴承座与压紧套之间固定连接，且压紧套为弧形结构。
12、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
13、第一、本技术通过设置的移动组件，实现便于将固定架移动至烘干箱主体的外侧，从而便于工作人员安装与拆卸晶圆，一定程度上便于工作人员操作，通过启动电机，使电机的输出端带动丝杆转动，使丝杆转动带动活动块移动，使活动块移动带动连接板移动，使连接板移动带动固定架移动，使固定架移动至烘干箱主体的外侧，装置结构简单便于操作，提高装置灵活性。
14、第二、本技术通过设置的夹持组件，实现便于更好的对晶圆进行夹持固定，可以保证在使用过程中对晶圆进行夹持固定，使各个晶圆可以完成对其进行干燥，将晶圆放置在压紧套内部，而后转动旋钮，使旋钮带动螺杆转动，使螺杆位于螺孔内部转动，使螺杆推动轴承座移动，使轴承座带动压紧套移动，两组压紧套相互配合，实现便于将晶圆进行固定，以便于对晶圆进行固定。
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1.一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：包括烘干箱主体，所述烘干箱主体的一侧设置有箱门，所述烘干箱主体的内部安装有移动组件，所述烘干箱主体的顶部设置有吹风组件，且烘干箱主体的内侧固定设置有底板，所述移动组件的内侧连接有连接杆，且连接杆的一端设置有夹持组件，所述烘干箱主体的内部设置有加热板；
2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述电机位于烘干箱主体的一侧设置，且电机与丝杆之间可拆卸连接，所述活动块内部开设有与丝杆相匹配的螺孔，所述连接板与活动块之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述连接板与固定架之间固定连接，所述连接板贯穿贯通槽并延伸至其外侧，所述滑块与固定架之间固定连接，所述滑块与滑槽相匹配，且滑块与滑槽之间滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述吹风组件的数量为多组，多组所述吹风组件位于烘干箱主体顶部进行设置，且外框架贯穿烘干箱主体并延伸至其内部，所述安装架与外框架之间固定连接，且安装架与风机之间可拆卸连接，
5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述夹持组件的数量为多组，多组所述夹持组件位于固定架内侧对称设置，所述固定套与连接杆之间固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述螺孔的数量为两组，两组所述螺孔位于固定套两端对称开设，所述螺孔与螺杆相匹配，且螺孔与螺杆之间螺纹连接。
7.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述旋钮与螺杆之间固定连接，所述螺杆与轴承座之间过盈连接，所述轴承座与压紧套之间固定连接，且压紧套为弧形结构。
...【技术特征摘要】
1.一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：包括烘干箱主体，所述烘干箱主体的一侧设置有箱门，所述烘干箱主体的内部安装有移动组件，所述烘干箱主体的顶部设置有吹风组件，且烘干箱主体的内侧固定设置有底板，所述移动组件的内侧连接有连接杆，且连接杆的一端设置有夹持组件，所述烘干箱主体的内部设置有加热板；
2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述电机位于烘干箱主体的一侧设置，且电机与丝杆之间可拆卸连接，所述活动块内部开设有与丝杆相匹配的螺孔，所述连接板与活动块之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电镀线热风烘干装置，其特征在于：所述连接板与固定架之间固定连接，所述连接板贯穿贯通槽并延伸至其外侧，所述滑块与固定架之间固定连接，所述滑块与滑槽相匹配，且滑块与滑槽之间滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆电...
【专利技术属性】
技术研发人员：周秀尧，卢东向，
申请(专利权)人：苏州路可佳自动化技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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