下载一种新型晶圆电镀线热风烘干装置的技术资料

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本技术涉及晶圆电镀线烘干技术领域,且公开了一种新型晶圆电镀线热风烘干装置,包括烘干箱主体,所述烘干箱主体的一侧设置有箱门,所述烘干箱主体的内部安装有移动组件,所述烘干箱主体的顶部设置有吹风组件,且烘干箱主体的内侧固定设置有底板,所述移动组件...
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