【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于工业生产的尾气处理，尤其涉及一种等离子水洗式尾气处理装置及方法。
技术介绍
1、采用等离子水洗废气处理技术对工业生产产生的尾气进行净化处理是比较常用的技术，比如半导体生产、光伏生产等产生的尾气，具体为将氮气在强电流的作用下电离成等离子体，产生的高温对尾气进行分解，后续依次通过水幕冷却及喷淋水洗处理，达标后即可排空。尾气中含有的粉尘容易对设备造成堵塞，严重影响处理效率。现有的水幕冷却为静态水幕，水幕不仅容易被尾气流冲散，受接触范围的影响，水幕冷却降尘不够彻底，导致后续含有较多粉尘的尾气输入水洗塔进行水洗操作，而且水箱内粉尘不集中，排出困难，粉尘分散于水中会被循环泵循环供水至水幕冷却和水洗操作步骤，导致粉尘清除困难而且循环引入生产工序。
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种等离子水洗式尾气处理装置及方法，通过对尾气执行水幕冷却降尘与滤水压尘操作，更高效且更及时地清除尾气所含有的粉尘，避免粉尘过多存在对尾气处理造成影响。
2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术的一种等离子水洗式尾气处理装置，包括分别导气连通安装在循环水箱上的水幕室和水洗塔，水幕室上沿废气输入导流方向依次设置有气管组和燃烧室，对应燃烧室的中轴方向安装有等离子炬；
3、所述水幕室周向转动设置，其内安装有轴向水幕组件和周向水幕组件，所述轴向水幕组件向下导水形成长度沿水幕室轴向、宽度沿水幕室径向的轴向水幕，所述周向水幕组件向圆周中心喷水形成沿水幕
4、所述水洗塔内设置有竖向升降的滤水压尘板，所述滤水压尘板上设置有可开合的水孔和密布有微滤孔，所述滤水压尘板上移时所述水孔打开通水，所述滤水压尘板下移时所述水孔闭合，通过所述微滤孔的渗水滤尘将粉尘下压限位在滤水压尘板与循环水箱底部之间的排尘底腔内。
5、进一步地，所述轴向水幕组件包括上喷水管和下吸水管；所述上喷水管与下吸水管以经过水幕室的中心径向安装，所述上喷水管的上喷水孔与下吸水管上的下吸水孔竖向正对设置，通过所述上喷水孔的喷水动力与下吸水孔的吸水动力配合，形成所述轴向水幕。
6、进一步地，所述轴向水幕组件还包括环形喷水管；所述环形喷水管导通相连在上喷水管的外部，所述环形喷水管的内圈具有径向喷水孔，通过所述径向喷水孔冲击上喷水管，形成所述周向水幕，且旋转状态的所述周向水幕形成对进入冷却腔的尾气流的切割动作。
7、进一步地，包括与水幕室对应的支撑臂和旋转驱动机构；所述水幕室旋转配合安装在连接机箱的支撑臂上，并通过所述旋转驱动机构驱动实现正转与反转的交替旋转动作，且每个旋转方向的旋转进度不得超过一圈。
8、进一步地，所述循环水箱设置有循环供水泵和回水泵，所述循环供水泵供水至水幕室内的上喷水管和环形喷水管以及水洗塔内的喷淋组件；所述回水泵提供给水幕室内的下吸水管的吸水动力。
9、进一步地，所述滤水压尘板的水孔对应设置有执行开、合动作的弹性水驱阀；所述弹性水驱阀包括位于水孔顶端的支架、位于水孔底端的阀盖以及穿过水孔弹性连接支架与阀盖的弹性部件；所述滤水压尘板上、下位移时，通过循环水箱内水的阻力驱动执行开、合动作。
10、进一步地，所述循环水箱的内底部设置有收尘板，所述滤水压尘板与收尘板之间限位的空间为所述排尘底腔；所述收尘板内部具有收尘腔，所述收尘板的顶面均布导通收尘腔的收尘孔，导通所述收尘腔还连接有对接排尘泵的排尘管道。
11、进一步地，包括与滤水压尘板对应的升降驱动机构；所述滤水压尘板的外周设置有与循环水箱的内壁滑移接触的塞框，所述升降驱动机构驱动滤水压尘板升降实现出、入水动作。
12、进一步地，所述水洗塔由通过循环供水泵供水的一级水洗塔和通过市水供应的二级水洗塔构成。
13、一种等离子水洗式尾气处理装置的尾气处理方法，步骤如下：
14、步骤一：等离子炬通过直流电源激发高纯n2产生等离子体和高温；
15、步骤二：结合高温电浆分解与水溶解的过程，将工业生产制程所产生的尾气经由燃烧室高温处理，反应成粉末或是溶解于水的物质；
16、步骤三：副产物及粉尘经由水幕室水幕冷却处理；
17、步骤四：水幕冷却后的副产物及粉尘经水洗塔喷淋处理，冲洗清除或水溶清除，并对气体进行喷淋降温。
18、有益效果：本专利技术将水幕冷却步骤中的静态水幕改进为了动态水幕，即轴向水幕和周向水幕，动态的轴向水幕和周向水幕能够与经过水幕室导流的尾气进行充分地接触，进而实现效果更好、效率更高的冷却降尘；滤水压尘板下移时水孔闭合，通过微滤孔的渗水滤尘将粉尘下压限位在滤水压尘板与循环水箱底部之间的排尘底腔内，从而便于将水中已经收集的粉尘及时清理出去，避免含有粉尘的水循环被引入处理工业中。
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1.一种等离子水洗式尾气处理装置，包括分别导气连通安装在循环水箱(2)上的水幕室(4)和水洗塔(9)，水幕室(4)上沿废气输入导流方向依次设置有气管组(6)和燃烧室(3)，对应燃烧室(3)的中轴方向安装有等离子炬(5)；
2.根据权利要求1所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件包括上喷水管(18)和下吸水管(17)；所述上喷水管(18)与下吸水管(17)以经过水幕室(4)的中心径向安装，所述上喷水管(18)的上喷水孔(180)与下吸水管(17)上的下吸水孔(170)竖向正对设置，通过所述上喷水孔(180)的喷水动力与下吸水孔(170)的吸水动力配合，形成所述轴向水幕(100)。
3.根据权利要求2所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件还包括环形喷水管(19)；所述环形喷水管(19)导通相连在上喷水管(18)的外部，所述环形喷水管(19)的内圈具有径向喷水孔(190)，通过所述径向喷水孔(190)冲击上喷水管(18)，形成所述周向水幕(200)，且旋转状态的所述周向水幕(200)形成对进入冷却腔的尾气流的切
4.根据权利要求3所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：包括与水幕室(4)对应的支撑臂(16)和旋转驱动机构(12)；所述水幕室(4)旋转配合安装在连接机箱(1)的支撑臂(16)上，并通过所述旋转驱动机构(12)驱动实现正转与反转的交替旋转动作，且每个旋转方向的旋转进度不得超过一圈。
5.根据权利要求4所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述循环水箱(2)设置有循环供水泵(13)和回水泵(31)，所述循环供水泵(13)供水至水幕室(4)内的上喷水管(18)和环形喷水管(19)以及水洗塔(9)内的喷淋组件；所述回水泵(31)提供给水幕室(4)内的下吸水管(17)的吸水动力。
6.根据权利要求5所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述滤水压尘板(21)的水孔(210)对应设置有执行开、合动作的弹性水驱阀(26)；所述弹性水驱阀(26)包括位于水孔(210)顶端的支架(261)、位于水孔(210)底端的阀盖(262)以及穿过水孔(210)弹性连接支架(261)与阀盖(262)的弹性部件(263)；所述滤水压尘板(21)上、下位移时，通过循环水箱(2)内水的阻力驱动执行开、合动作。
7.根据权利要求6所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述循环水箱(2)的内底部设置有收尘板(22)，所述滤水压尘板(21)与收尘板(22)之间限位的空间为所述排尘底腔(23)；所述收尘板(22)内部具有收尘腔(220)，所述收尘板(22)的顶面均布导通收尘腔(220)的收尘孔(221)，导通所述收尘腔(220)还连接有对接排尘泵(15)的排尘管道(14)。
8.根据权利要求7所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：包括与滤水压尘板(21)对应的升降驱动机构(24)；所述滤水压尘板(21)的外周设置有与循环水箱(2)的内壁滑移接触的塞框(25)，所述升降驱动机构(24)驱动滤水压尘板(21)升降实现出、入水动作。
9.根据权利要求9所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述水洗塔(9)由通过循环供水泵(13)供水的一级水洗塔(10)和通过市水供应的二级水洗塔(11)构成。
10.基于权利要求1～9任一项所述的一种等离子水洗式尾气处理装置的尾气处理方法，其特征在于：步骤如下：
...【技术特征摘要】
1.一种等离子水洗式尾气处理装置，包括分别导气连通安装在循环水箱(2)上的水幕室(4)和水洗塔(9)，水幕室(4)上沿废气输入导流方向依次设置有气管组(6)和燃烧室(3)，对应燃烧室(3)的中轴方向安装有等离子炬(5)；
2.根据权利要求1所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件包括上喷水管(18)和下吸水管(17)；所述上喷水管(18)与下吸水管(17)以经过水幕室(4)的中心径向安装，所述上喷水管(18)的上喷水孔(180)与下吸水管(17)上的下吸水孔(170)竖向正对设置，通过所述上喷水孔(180)的喷水动力与下吸水孔(170)的吸水动力配合，形成所述轴向水幕(100)。
3.根据权利要求2所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件还包括环形喷水管(19)；所述环形喷水管(19)导通相连在上喷水管(18)的外部，所述环形喷水管(19)的内圈具有径向喷水孔(190)，通过所述径向喷水孔(190)冲击上喷水管(18)，形成所述周向水幕(200)，且旋转状态的所述周向水幕(200)形成对进入冷却腔的尾气流的切割动作。
4.根据权利要求3所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：包括与水幕室(4)对应的支撑臂(16)和旋转驱动机构(12)；所述水幕室(4)旋转配合安装在连接机箱(1)的支撑臂(16)上，并通过所述旋转驱动机构(12)驱动实现正转与反转的交替旋转动作，且每个旋转方向的旋转进度不得超过一圈。
5.根据权利要求4所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述循环水箱(2)设置有循环供水泵(13)和回水泵(31)，所述循环供水泵(13)供水至水幕室(4)内的上喷水管(18)和环...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨浩旗，
申请(专利权)人：无锡索奥半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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