【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于工业生产的尾气处理，尤其涉及一种等离子水洗式尾气处理装置及方法。
技术介绍
1、采用等离子水洗废气处理技术对工业生产产生的尾气进行净化处理是比较常用的技术，比如半导体生产、光伏生产等产生的尾气，具体为将氮气在强电流的作用下电离成等离子体，产生的高温对尾气进行分解，后续依次通过水幕冷却及喷淋水洗处理，达标后即可排空。尾气中含有的粉尘容易对设备造成堵塞，严重影响处理效率。现有的水幕冷却为静态水幕，水幕不仅容易被尾气流冲散，受接触范围的影响，水幕冷却降尘不够彻底，导致后续含有较多粉尘的尾气输入水洗塔进行水洗操作，而且水箱内粉尘不集中，排出困难，粉尘分散于水中会被循环泵循环供水至水幕冷却和水洗操作步骤，导致粉尘清除困难而且循环引入生产工序。
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种等离子水洗式尾气处理装置及方法，通过对尾气执行水幕冷却降尘与滤水压尘操作，更高效且更及时地清除尾气所含有的粉尘，避免粉尘过多存在对尾气处理造成影响。
2、...
【技术保护点】
1.一种等离子水洗式尾气处理装置，包括分别导气连通安装在循环水箱(2)上的水幕室(4)和水洗塔(9)，水幕室(4)上沿废气输入导流方向依次设置有气管组(6)和燃烧室(3)，对应燃烧室(3)的中轴方向安装有等离子炬(5)；
2.根据权利要求1所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件包括上喷水管(18)和下吸水管(17)；所述上喷水管(18)与下吸水管(17)以经过水幕室(4)的中心径向安装，所述上喷水管(18)的上喷水孔(180)与下吸水管(17)上的下吸水孔(170)竖向正对设置，通过所述上喷水孔(180)的喷水动力与下吸水孔(17...
【技术特征摘要】
1.一种等离子水洗式尾气处理装置，包括分别导气连通安装在循环水箱(2)上的水幕室(4)和水洗塔(9)，水幕室(4)上沿废气输入导流方向依次设置有气管组(6)和燃烧室(3)，对应燃烧室(3)的中轴方向安装有等离子炬(5)；
2.根据权利要求1所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件包括上喷水管(18)和下吸水管(17)；所述上喷水管(18)与下吸水管(17)以经过水幕室(4)的中心径向安装，所述上喷水管(18)的上喷水孔(180)与下吸水管(17)上的下吸水孔(170)竖向正对设置，通过所述上喷水孔(180)的喷水动力与下吸水孔(170)的吸水动力配合，形成所述轴向水幕(100)。
3.根据权利要求2所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述轴向水幕组件还包括环形喷水管(19)；所述环形喷水管(19)导通相连在上喷水管(18)的外部，所述环形喷水管(19)的内圈具有径向喷水孔(190)，通过所述径向喷水孔(190)冲击上喷水管(18)，形成所述周向水幕(200)，且旋转状态的所述周向水幕(200)形成对进入冷却腔的尾气流的切割动作。
4.根据权利要求3所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：包括与水幕室(4)对应的支撑臂(16)和旋转驱动机构(12)；所述水幕室(4)旋转配合安装在连接机箱(1)的支撑臂(16)上，并通过所述旋转驱动机构(12)驱动实现正转与反转的交替旋转动作，且每个旋转方向的旋转进度不得超过一圈。
5.根据权利要求4所述的一种等离子水洗式尾气处理装置，其特征在于：所述循环水箱(2)设置有循环供水泵(13)和回水泵(31)，所述循环供水泵(13)供水至水幕室(4)内的上喷水管(18)和环...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨浩旗，
申请(专利权)人：无锡索奥半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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