【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及磁控溅射，具体涉及一种气体导流隔离装置与系统。
技术介绍
1、目前磁控溅射设备越来越多的应用在各个领域内，其制备的产品包含多种膜层结构。有的相邻膜层，采用的是不同的反应气体。在腔体的真空环境中，气体分子是无规则运动的，同时制备不同的膜层，就需要在两个相邻的靶位之间布置气体导流隔离装置，否则就会影响膜层的成分及质量。现有镀膜的基板规格包括2-19mm等的不同选择。这也需要该装置能快速适应基板不同规格，达到最优的隔离效果。
2、但是在真空环境中，生产不同厚度产品时，无法调节通道的高度，隔离效果较差。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的上述问题，旨在提供一种气体导流隔离装置与系统。
2、具体技术方案如下：
3、一种气体导流隔离装置，主要包括：框体；
4、所述框体的内部设置有一高度能够调整的第一隔板，所述第一隔板将所述框体的内部分隔成第一空间和第二空间，所述第一空间位于所述第二空间的上方，所述第一隔板的上方设置有一沿竖直方向的第二隔板，所述第二隔板将所述第一空间隔成并列的第三空间和第四空间，所述第三空间与所述第四空间的上方各设置有一个分子泵，所述第二空间内阵列设置有若干辊子，所述辊子的输送面距离所述第一隔板留有预设距离以形成玻璃输送通道，所述第二空间上相对的两侧壁上设置有与所述玻璃输送通道相连通的玻璃口，开设有所述玻璃口的侧壁上对应所述第三空间与所述第四空间的位置各设置有一开口。
5、上述的一种气体导流隔离装置中
6、上述的一种气体导流隔离装置中，还具有这样的特征，所述框体的侧壁上设置有安装孔，所述安装板上设置有圆形孔，所述偏心销钉包括圆形的法兰盘与装设置在所述法兰盘一侧的偏心轴，所述法兰盘的直径与所述圆形孔的直径相适配，所述偏心轴的直径与所述安装孔的直径相适配，所述偏心轴插入所述安装孔内，所述法兰盘装入所述圆形孔内。
7、上述的一种气体导流隔离装置中，还具有这样的特征，所述法兰盘的另一侧设置有手持端。
8、上述的一种气体导流隔离装置中，还具有这样的特征，所述第二隔板的一端装在所述第一隔板上，所述第二隔板的另一端设置有第一密封胶条，所述第一密封胶条用于实现所述第二隔板与所述分子泵的底板之间的密封。
9、上述的一种气体导流隔离装置中，还具有这样的特征，相邻的两个所述辊子之间设置有支撑架，所述支撑架的上方设置有支撑板，所述支撑架的下方通过第二密封胶条实现与所述框架的底壁的密封。
10、上述的一种气体导流隔离装置中，还具有这样的特征，所述第二空间的内侧壁设置有与所述支撑板平齐的台板，所述台板设置在所述玻璃口附近。
11、上述的一种气体导流隔离装置中，还具有这样的特征，所述第一隔板位于所述第四空间的一侧设置有贯穿孔，所述贯穿孔将所述玻璃输送通道与所述第四空间相连通。
12、一种气体导流隔离系统，包括至少一个前面所述的气体导流隔离装置与两个溅射单元，两个所述溅射单元分别放置于所述气体导流隔离装置设置有所述开口与所述玻璃口的一侧。
13、上述技术方案的积极效果是：
14、本专利技术提供的一种气体导流隔离装置与系统，能使相邻的溅射单元的隔离系数更高，减小不同反应气体间的相互影响。同时生产不同厚度产品时，能快速调节通道高度，减小劳动强度，节省维护时间从而增加生产时间。
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1.一种气体导流隔离装置，其特征在于，包括：框体；
2.根据权利要求1所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述框体的内侧壁上设置有安装板，所述第一隔板与所述安装板相连接，所述安装板与所述框体通过偏心销钉实现可调节连接。
3.根据权利要求2所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述框体的侧壁上设置有安装孔，所述安装板上设置有圆形孔，所述偏心销钉包括圆形的法兰盘与装设置在所述法兰盘一侧的偏心轴，所述法兰盘的直径与所述圆形孔的直径相适配，所述偏心轴的直径与所述安装孔的直径相适配，所述偏心轴插入所述安装孔内，所述法兰盘装入所述圆形孔内。
4.根据权利要求3所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述法兰盘的另一侧设置有手持端。
5.根据权利要求1至4任一项所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述第二隔板的一端装在所述第一隔板上，所述第二隔板的另一端设置有第一密封胶条，所述第一密封胶条用于实现所述第二隔板与所述分子泵的底板之间的密封。
6.根据权利要求1至4任一项所述的气体导流隔离装置，其特征在于，相邻的两个所述辊子之间设置有支撑架，所
7.根据权利要求6所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述第二空间的内侧壁设置有与所述支撑板平齐的台板，所述台板设置在所述玻璃口附近。
8.根据权利要求1至4任一项所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述第一隔板位于所述第四空间的一侧设置有贯穿孔，所述贯穿孔将所述玻璃输送通道与所述第四空间相连通。
9.一种气体导流隔离系统，其特征在于，包括至少一个权利要求1至8任一项所述的气体导流隔离装置与两个溅射单元，两个所述溅射单元分别放置于所述气体导流隔离装置设置有所述开口与所述玻璃口的一侧。
...【技术特征摘要】
1.一种气体导流隔离装置，其特征在于，包括：框体；
2.根据权利要求1所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述框体的内侧壁上设置有安装板，所述第一隔板与所述安装板相连接，所述安装板与所述框体通过偏心销钉实现可调节连接。
3.根据权利要求2所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述框体的侧壁上设置有安装孔，所述安装板上设置有圆形孔，所述偏心销钉包括圆形的法兰盘与装设置在所述法兰盘一侧的偏心轴，所述法兰盘的直径与所述圆形孔的直径相适配，所述偏心轴的直径与所述安装孔的直径相适配，所述偏心轴插入所述安装孔内，所述法兰盘装入所述圆形孔内。
4.根据权利要求3所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述法兰盘的另一侧设置有手持端。
5.根据权利要求1至4任一项所述的气体导流隔离装置，其特征在于，所述第二隔板的一端装在所述第一隔板上，所述第二隔板的另一端设置有第一密...
【专利技术属性】
技术研发人员：井治，葛治亮，张超群，王贝，张康，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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