【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备领域，特别涉及一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备。
技术介绍
1、在镀膜设备真空腔体内，水汽分子是典型的环境污染气体，占腔内残余气体65％到95％，当真空度达到10e-2pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的具副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。真空应用中水蒸气不仅影响真空系统的质量，同时也会使真空度抽不上去，从而影响工艺结果。镀膜设备的冷阱管道将真空腔室内的水汽捕集并冷凝在表面来提高抽真空的真空度。
2、公告号为cn217922311u的中国技术专利公开了一种镀膜设备，包括：真空腔体，所述真空腔体包括真空腔室；位于所述真空腔室内，且与所述真空腔体内壁固定连接的冷阱管道；与所述冷阱管道连通的制冷器，所述制冷器设置于所述真空腔体的外部。由于镀膜质量对真空度的要求较高，而镀膜设备中的水汽对抽真空的影响较大，当水汽含量较高时无法使得所述真空腔室内的真空值达到预定范围。因此通过位于所述真空腔室内的所述冷阱管道，能够迅速的将所述真空腔室内的水汽捕集并冷凝在表面，从而使系统快速获得所需要的工艺真空条件，保证了膜材分子自由程和精准的光学厚度，显著提高镀膜沉积质量和生产效率，提高膜基界面结合力。
3、在现有技术中，水汽冷凝后大面积附着在冷阱管道表面，而在一般镀膜过程加热环境下基片表面易有水汽从而影响镀膜质量。
技术实现思路
1、有鉴于现有技术的缺点，本技术所要解决的技术问题是提供一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，旨
2、为实现上述目的，本技术提供一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，所述设备包括镀膜机体，所述镀膜机体内设置真空腔室，所述镀膜机体的外部、内部分别设置制冷器、冷阱管道，所述冷阱管道连通所述制冷器；所述冷阱管道沿所述镀膜机体的内壁布置，且所述冷阱管道的四周分布底座，所述底座密接滑动配合竖直设置的挡板，且所述底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，所述挡板的一侧设置驱动组件，所述驱动组件驱动所述挡板上下移动，所述挡板的表面抵靠设置与所述底座固定连接用于刮下冷凝水的刮板，所述挡板端侧的下方设置向下倾斜的导液槽，所述导液槽的汇集口对应所述挡板，且所述导液槽的下端固定连接用于收集水汽冷凝水的收集罐。
3、可选的，所述驱动组件包括电机、与所述电机的传动轴固定连接的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条，所述齿条固定安装于所述挡板的端侧，所述齿轮转动带动所述挡板移动。
4、可选的，所述底座呈方形环块状，所述底座设置十字滑动槽，所述挡板与所述底座对应的连接端设置配合的滑动块。
5、可选的，所述导液槽的底端开设排水孔，所述排水孔与所述收集罐相对应，所述排水孔的下端设置螺纹，所述收集罐的顶部与所述排水孔之间螺纹连接。
6、可选的，所述挡板的表面与所述刮板的接触面均设置疏水性涂层。
7、可选的，所述冷阱管道固定连接所述底座的一侧，且所述冷阱管道分别与所述挡板、镀膜机体的内壁之间存在间隙。
8、本技术的有益效果：本技术的与制冷器连通的冷阱管道设置于真空腔室内；挡板滑动配合密接设置于冷阱管道四周的底座，通过冷阱管道的低温使真空腔室内的水汽凝结在挡板表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集真空腔室的水汽分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力，底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，减小外部的热量通过真空腔室传递至冷阱管道，增强利用挡板的表面的低温冷凝效应，且由驱动组件将挡板向上移动，刮板刮下冷凝水流向导液槽在收集罐中被收集，减少水汽冷凝后的蒸发面积降低蒸发速率，而减弱污染真空环境的能力从而不易有水汽到基片表面，使镀膜质量提高，待镀膜结束，真空腔室内的温度未冷却至室温时，开启制冷器冷阱管道辅助降温，冷阱管道与真空腔室的环境直接接触，真空腔室的环境温度传递给冷阱管道而加快温度下降从而节省冷却时间。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述设备包括镀膜机体，所述镀膜机体内设置真空腔室，所述镀膜机体的外部、内部分别设置制冷器、冷阱管道，所述冷阱管道连通所述制冷器；所述冷阱管道沿所述镀膜机体的内壁布置，且所述冷阱管道的四周分布底座，所述底座密接滑动配合竖直设置的挡板，且所述底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，所述挡板的一侧设置驱动组件，所述驱动组件驱动所述挡板上下移动，所述挡板的表面抵靠设置与所述底座固定连接用于刮下冷凝水的刮板，所述挡板端侧的下方设置向下倾斜的导液槽，所述导液槽的汇集口对应所述挡板，且所述导液槽的下端固定连接用于收集水汽冷凝水的收集罐。
2.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机、与所述电机的传动轴固定连接的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条，所述齿条固定安装于所述挡板的端侧，所述齿轮转动带动所述挡板移动。
3.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述底座呈方形环块状，所述底座设置十字滑动槽，所述挡板与所述底座对应的连接端设置配合的滑动块。
4.根据权利
5.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述挡板的表面与所述刮板的接触面均设置疏水性涂层。
6.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述冷阱管道固定连接所述底座的一侧，且所述冷阱管道分别与所述挡板、镀膜机体的内壁之间存在间隙。
...【技术特征摘要】
1.一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述设备包括镀膜机体，所述镀膜机体内设置真空腔室，所述镀膜机体的外部、内部分别设置制冷器、冷阱管道，所述冷阱管道连通所述制冷器；所述冷阱管道沿所述镀膜机体的内壁布置，且所述冷阱管道的四周分布底座，所述底座密接滑动配合竖直设置的挡板，且所述底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，所述挡板的一侧设置驱动组件，所述驱动组件驱动所述挡板上下移动，所述挡板的表面抵靠设置与所述底座固定连接用于刮下冷凝水的刮板，所述挡板端侧的下方设置向下倾斜的导液槽，所述导液槽的汇集口对应所述挡板，且所述导液槽的下端固定连接用于收集水汽冷凝水的收集罐。
2.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机、与所述电机的传动轴固定连接的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条，所述齿条固...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈子杰，陈日亮，郑秀梅，
申请(专利权)人：华思光电福建有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。