一种光学镀膜设备内壁清理装置制造方法及图纸

技术编号:38832605 阅读:11 留言:0更新日期:2023-09-17 09:51
本实用新型专利技术公开一种光学镀膜设备内壁清理装置,所述清理装置包括内壁主体、顶板、滚筒,所述顶板的中部通过第一轴承套接第一转动轴,所述第一转动轴的顶端延伸出所述顶板的顶部固定连接用于驱动所述第一转动轴转动的第一驱动装置,所述第一转动轴的底部固定连接第一旋转板,所述第一旋转板的底部连接第二驱动装置,所述第二驱动装置的传动轴通过第二轴承套接所述滚筒的内表面,所述滚筒的滚动面上设置用于清洁所述内壁主体的侧面的第一清理刷,所述滚筒的底部固定连接第二旋转板,所述第二旋转板的底面上设置用于清洁所述内壁主体的底面的第二清理刷。本实用新型专利技术设计转动清理的第一清理刷、第二清理刷,提高镀膜设备内壁的清理效率。清理效率。清理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光学镀膜设备内壁清理装置


[0001]本技术涉及清灰设备领域,特别涉及一种光学镀膜设备内壁清理装置。

技术介绍

[0002]光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。真空镀膜室内长期使用会沉积一层金属镀层,这层镀层与真空室内壁结合紧密,影响真空设备的正常使用。
[0003]在现有技术中,镀膜设备的真空室内壁在镀膜使用一段时间后,要对真空室的内壁进行清理,镀层与真空室内壁结合紧密清理难度大,且人工清理真空室内壁上的镀层效率低。

技术实现思路

[0004]有鉴于现有技术的缺点,本技术所要解决的技术问题是提供一种光学镀膜设备内壁清理装置,旨在设计转动清理的第一清理刷、第二清理刷,提高镀膜设备内壁的清理效率。
[0005]为实现上述目的,本技术提供一种光学镀膜设备内壁清理装置,所述清理装置包括内壁主体、顶板、滚筒,所述顶板的中部通过第一轴承套接第一转动轴,所述第一转动轴的顶端延伸出所述顶板的顶部固定连接用于驱动所述第一转动轴转动的第一驱动装置,所述第一转动轴的底部固定连接第一旋转板,所述第一旋转板的底部连接第二驱动装置,所述第二驱动装置的传动轴通过第二轴承套接所述滚筒的内表面,所述滚筒的滚动面上设置用于清洁所述内壁主体的侧面的第一清理刷,所述滚筒的底部固定连接第二旋转板,所述第二旋转板的底面上设置用于清洁所述内壁主体的底面的第二清理刷。
[0006]可选的,所述第一驱动装置包括第一电机、两个皮带轮、传动皮带,所述皮带轮分别固定在所述第一电机的传动端与所述第一转动轴的顶部,所述传动皮带套接在所述皮带轮的外表面。
[0007]可选的,所述第一旋转板的顶部固定连接滑动块,所述顶板的底部设置与所述滑动块相匹配的滑动轨道。
[0008]可选的,所述第二驱动装置包括用于驱动所述滚筒转动的第二电机、与所述顶板的底部连接的安装座,所述顶板与所述第二电机之间通过所述安装座固定连接。
[0009]可选的,所述第一清理刷与所述第二清理刷为不锈钢刷,所述第一清理刷、所述第二清理刷与所述内壁主体直接接触。
[0010]可选的,所述第一旋转板与所述第二旋转板平行设置,且所述第一旋转板与所述第二旋转板一齐转动。
[0011]本技术的有益效果:1、本技术的滚筒的滚动面上设置用于清洁内壁主体的侧面的第一清理刷,滚筒的底部固定连接第二旋转板,第二旋转板的底面上设置用于清
洁内壁主体的底面的第二清理刷。设计转动清理的第一清理刷、第二清理刷,第一清理刷、第二清理刷直接接触内壁主体,第一清理刷、第二清理刷转动清理提高镀膜设备内壁的清理效率,节省人力成本。2、本技术的第一旋转板的顶部固定连接滑动块,顶板的底部设置与滑动块相匹配的滑动轨道。滑动轨道引导滑动块滑动,第一旋转板与滑动块固定连接,使第一旋转板的转动稳定。3、本技术的第一旋转板与第二旋转板平行设置,且第一旋转板与第二旋转板一齐转动。配合转动的连接结构简单空间占用小,便于废料清理和排出。综上,本技术通过第一电机、第二电机带动第一清理刷、第二清理刷转动,而转动清理内壁主体,实现电动清理光学镀膜设备内壁,便于内壁主体的清理,节省人力。
附图说明
[0012]图1是本技术的一种光学镀膜设备内壁清理装置的结构示意图;
[0013]图2是本技术的一种光学镀膜设备内壁清理装置的正视图;
[0014]图3是本技术的一种光学镀膜设备内壁清理装置的第一清理刷、第二清理刷侧视图。
具体实施方式
[0015]下面详细描述本专利的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本专利,而不能理解为对本专利的限制。
[0016]在本专利的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利的限制。
[0017]在本专利的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定相连、设置,也可以是可拆卸连接、设置,或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0018]经申请人的研究发现:镀膜设备的真空室内壁在镀膜使用一段时间后,要对真空室的内壁进行清理,镀层与真空室内壁结合紧密清理难度大,且人工清理真空室内壁上的镀层效率低。
[0019]因此,本技术实施例提供了一种光学镀膜设备内壁清理装置,可以如图1

图3所示,清理装置1包括内壁主体2、顶板3、滚筒4,顶板3的中部通过第一轴承套接第一转动轴5,第一转动轴5的顶端延伸出顶板3的顶部固定连接用于驱动第一转动轴5转动的第一驱动装置,第一转动轴5的底部固定连接第一旋转板6,第一旋转板6的底部连接第二驱动装置,第二驱动装置的传动轴7通过第二轴承套接滚筒4的内表面,滚筒4的滚动面上设置用于清洁内壁主体2的侧面的第一清理刷8,滚筒4的底部固定连接第二旋转板9,第二旋转板9的底面上设置用于清洁内壁主体2的底面的第二清理刷10。
[0020]可选的,第一驱动装置包括第一电机11、两个皮带轮12、传动皮带13,皮带轮12分别固定在第一电机11的传动端与第一转动轴5的顶部,传动皮带13套接在皮带轮12的外表
面。
[0021]可选的,第一旋转板6的顶部固定连接滑动块14,顶板3的底部设置与滑动块14相匹配的滑动轨道15。
[0022]可选的,第二驱动装置包括用于驱动滚筒4转动的第二电机16、与顶板3的底部连接的安装座17,顶板3与第二电机16之间通过安装座17固定连接。
[0023]可选的,第一清理刷8与第二清理刷10为不锈钢刷,第一清理刷8、第二清理刷10与内壁主体2直接接触。
[0024]可选的,第一旋转板6与第二旋转板9平行设置,且第一旋转板6与第二旋转板9一齐转动。
[0025]本技术的工作原理为:将第一清理刷8与第二清理刷10接触内壁主体2,启动第一电机11、第二电机16,第一电机11带动第一旋转板6、第二旋转板9一齐转动,第二电机16带动滚筒4转动,进而第一清理刷8与第二清理刷10转动清理内壁主体2。
[0026]内壁主体2为光学镀膜设备的可拆卸内壁,清理装置1用于清理内壁主体2。
[0027]本技术实施例的滚筒4的滚动面上设置用于清洁内壁主体2的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学镀膜设备内壁清理装置,其特征在于,所述清理装置包括内壁主体、顶板、滚筒,所述顶板的中部通过第一轴承套接第一转动轴,所述第一转动轴的顶端延伸出所述顶板的顶部固定连接用于驱动所述第一转动轴转动的第一驱动装置,所述第一转动轴的底部固定连接第一旋转板,所述第一旋转板的底部连接第二驱动装置,所述第二驱动装置的传动轴通过第二轴承套接所述滚筒的内表面,所述滚筒的滚动面上设置用于清洁所述内壁主体的侧面的第一清理刷,所述滚筒的底部固定连接第二旋转板,所述第二旋转板的底面上设置用于清洁所述内壁主体的底面的第二清理刷。2.根据权利要求1所述的光学镀膜设备内壁清理装置,其特征在于,所述第一驱动装置包括第一电机、两个皮带轮、传动皮带,所述皮带轮分别固定在所述第一电机的传动端与所述第一转动轴的顶部,...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈子杰陈日亮郑秀梅
申请(专利权)人:华思光电福建有限公司
类型:新型
国别省市:

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