一种镀防水膜的石墨坩埚制造技术

本技术公开了一种镀防水膜的石墨坩埚，包括坩埚体，所述坩埚体顶部的侧面开设有加热槽，加热槽的封闭端开设有容纳腔，所述容纳腔的顶部安装有坩埚盖，坩埚盖的顶部开设有贯穿的蒸发孔。本申请通过在容纳腔顶部设置坩埚盖，并于坩埚盖上设置蒸发孔，防水药的蒸气仅通过蒸发孔排出，延长了蒸发时间，同时使镀膜更均匀；在坩埚体上设置加热槽，电子束作用于加热槽实现对坩埚体加热，通过热传导的方式实现对容纳腔内防水药的加热，这种间接加热的方式能够起到对防水药很好的保护作用，防止材料变异。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机辅助工具领域，具体为一种镀防水膜的石墨坩埚。

技术介绍

1、滤光片加工完成后，需要在其表面镀一层防水膜，防水膜具有防水、防尘、防污的作用，以对其表面进行保护，现今蒸发镀膜一般是加热防水药使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在滤光片表面，形成薄膜。目前的镀膜装置在使用中，使用镀膜机的电子枪对坩埚内的防水药进行加热，防水药直接蒸发在滤光片上形成防水膜，该种方式存在如下缺点：1、直接采用电子束作用于防水药，会导致材料变异，影响防水防污性能；2、由于传统坩埚开口较大，导致防水药蒸发过快，不仅造成材料浪费，而且会导致滤光片表面镀膜不均匀。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种镀防水膜的石墨坩埚，解决了
技术介绍
中的问题。

2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种镀防水膜的石墨坩埚，包括坩埚体，所述坩埚体顶部的侧面开设有加热槽，加热槽的封闭端开设有容纳腔，所述容纳腔的顶部安装有坩埚盖，坩埚盖的顶部开设有贯穿的蒸发孔。

3、进一步限定，上述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其中，所述坩埚体和坩埚盖均采用石墨或钼质基材成型。

4、进一步限定，上述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其中，所述坩埚体底部的边缘采用弧面过渡。

5、进一步限定，上述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其中，所述坩埚盖包括对容纳腔封闭的挡柱，挡柱的顶部设有限位盖，限位盖架设于坩埚体的上表面，所述蒸发孔贯穿限位盖并延伸至挡住的底部与容纳腔连通。</p>

6、进一步限定，上述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其中，所述挡柱的高度与加热槽的深度相等。

7、本技术具备以下有益效果：本申请通过在容纳腔顶部设置坩埚盖，并于坩埚盖上设置蒸发孔，防水药的蒸气仅通过蒸发孔排出，延长了蒸发时间，同时使镀膜更均匀；在坩埚体上设置加热槽，电子束作用于加热槽实现对坩埚体加热，通过热传导的方式实现对容纳腔内防水药的加热，这种间接加热的方式能够起到对防水药很好的保护作用，防止材料变异；坩埚体采用石墨或钼；都具有较高的耐高温性能和化学稳定性，能够承受高温下的腐蚀和氧化。

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【技术保护点】

1.一种镀防水膜的石墨坩埚，包括坩埚体(1)，其特征在于：所述坩埚体(1)顶部的侧面开设有加热槽(2)，加热槽(2)的封闭端开设有容纳腔(3)，所述容纳腔(3)的顶部安装有坩埚盖(4)，坩埚盖(4)的顶部开设有贯穿的蒸发孔(5)。

2.根据权利要求1所述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚体(1)和坩埚盖(4)均采用石墨或钼质基材成型。

3.根据权利要求2所述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚体(1)底部的边缘采用弧面过渡。

4.根据权利要求3所述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚盖(4)包括对容纳腔(3)封闭的挡柱(41)，挡柱(41)的顶部设有限位盖(42)，限位盖(42)架设于坩埚体(1)的上表面，所述蒸发孔(5)贯穿限位盖(42)并延伸至挡住的底部与容纳腔(3)连通。

5.根据权利要求4所述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其特征在于：所述挡柱(41)的高度与加热槽(2)的深度相等。

【技术特征摘要】

1.一种镀防水膜的石墨坩埚，包括坩埚体(1)，其特征在于：所述坩埚体(1)顶部的侧面开设有加热槽(2)，加热槽(2)的封闭端开设有容纳腔(3)，所述容纳腔(3)的顶部安装有坩埚盖(4)，坩埚盖(4)的顶部开设有贯穿的蒸发孔(5)。

2.根据权利要求1所述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚体(1)和坩埚盖(4)均采用石墨或钼质基材成型。

3.根据权利要求2所述的一种镀防水膜的石墨坩埚，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭华，
申请(专利权)人：上海高能煜镀科技有限公司，
类型：新型
国别省市：