【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体喷涂的领域，尤其是涉及一种光刻胶涂覆装置。
技术介绍
1、光刻胶是半导体的核心材料，主要是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，在半导体制造时，需要将光刻胶均匀涂覆在电路板上，而后经过曝光、显影等步骤最终形成合格的半导体，公开号为cn217425921u的中国专利，一种光刻胶涂覆装置，提到常见的光刻胶喷涂设备为三轴点胶机，由于电路板通常较薄，而且工作人员需要全程佩戴手套以保证不会有杂质，因此工作人员在涂覆完光刻胶之后较难取下电路板；
2、针对上述中的相关技术，专利技术人认为，常见的光刻胶涂覆装置存在有难以稳定地取下电路板的缺陷，由于电路板本身较薄，而且在刚涂覆上光刻胶之后也不宜有过大的晃动，因此对工作人员的操作要求较大，因此，提出了一种光刻胶涂覆装置以解决上述问题。
3、本
技术介绍
所公开的上述信息仅仅用于增加对本申请
技术介绍
的理解，因此，其可能包括不构成本领域普通技术人员已知的现有技术。
技术实现思路
1、为了解决常见的光刻胶涂覆装置难以稳定地取下电路板的问题，本申请提供一种光刻胶涂覆装置。
2、本申请提供的一种光刻胶涂覆装置采用如下的技术方案：
3、一种光刻胶涂覆装置，包括点胶机，所述点胶机底部设置有固定台，所述固定台上安设有放置板，所述固定台上还安设有固定块，所述固定块上开设有竖槽，所述竖槽中安设有推动机构，所述放置板中开设有工作腔，所述工作腔中安设有转动机构，所述放
4、优选的，所述推动机构包括侧面齿条、曲形杆、运动板以及刮板，所述侧面齿条安设在竖槽中，所述曲形杆的截面为“l”形，所述曲形杆短边与侧面齿条顶壁固定连接，所述曲形杆长边与运动板侧壁固定连接，所述刮板安设在运动板底壁，所述刮板底壁与放置板顶壁位于同一高度，所述放置板侧壁开设有与侧面齿条位于同一高度的运动孔，所述运动孔与工作腔连通。
5、优选的，所述运动板底壁开设有限制槽，所述限制槽一端为开放设计，所述刮板顶壁安设有限制杆，所述限制杆与限制槽内壁滑动连接。
6、优选的，所述转动机构包括中心齿轮、中心杆、顶部齿轮以及两个运动齿条，所述中心齿轮与工作腔底壁转动连接，所述中心杆安设在中心齿轮顶壁，所述顶部齿轮安设在中心杆顶壁，所述顶部齿轮与运动孔处于同一高度，所述顶部齿轮的齿形与侧面齿条的齿形一致，两个所述运动齿条分别与两个连接杆固定连接，所述连接杆的截面为“u”形，所述连接杆远离抵板一端分别伸入工作腔中，两个所述运动齿条分别与中心齿轮啮合。
7、优选的，所述刮板的截面为弧形，所述刮板的圆心指向放置板方向。
8、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
9、当电路板被放在放置板上时，两个抵板会将电路板的位置固定，从而方便光刻胶的涂覆，在涂覆完毕之后，工作人员推动运动板前进时，侧面齿条会通过运动孔进入工作腔中，进而使得顶部齿轮转动，而后使得两个连接杆带动两个抵板打开，既松开了电路板，也使得刮板可以将电路板推动到放置板尽头，方便工作人员取下电路板。
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1.一种光刻胶涂覆装置，包括点胶机(1)，其特征在于：所述点胶机(1)底部设置有固定台(2)，所述固定台(2)上安设有放置板(3)，所述固定台(2)上还安设有固定块(4)，所述固定块(4)上开设有竖槽(5)，所述竖槽(5)中安设有推动机构，所述放置板(3)中开设有工作腔，所述工作腔中安设有转动机构，所述放置板(3)两侧分别安设有连接杆(6)，两个所述连接杆(6)相互靠近一端分别安设有抵板(7)，两个所述抵板(7)均位于放置板(3)上方。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述推动机构包括侧面齿条(8)、曲形杆(9)、运动板(10)以及刮板(11)，所述侧面齿条(8)安设在竖槽(5)中，所述曲形杆(9)的截面为“L”形，所述曲形杆(9)短边与侧面齿条(8)顶壁固定连接，所述曲形杆(9)长边与运动板(10)侧壁固定连接，所述刮板(11)安设在运动板(10)底壁，所述刮板(11)底壁与放置板(3)顶壁位于同一高度，所述放置板(3)侧壁开设有与侧面齿条(8)位于同一高度的运动孔(12)，所述运动孔(12)与工作腔连通。
3.根据权利要求2所述
4.根据权利要求2所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述转动机构包括中心齿轮(15)、中心杆(16)、顶部齿轮(17)以及两个运动齿条(18)，所述中心齿轮(15)与工作腔底壁转动连接，所述中心杆(16)安设在中心齿轮(15)顶壁，所述顶部齿轮(17)安设在中心杆(16)顶壁，所述顶部齿轮(17)与运动孔(12)处于同一高度，所述顶部齿轮(17)的齿形与侧面齿条(8)的齿形一致，两个所述运动齿条(18)分别与两个连接杆(6)固定连接，所述连接杆(6)的截面为“U”形，所述连接杆(6)远离抵板(7)一端分别伸入工作腔中，两个所述运动齿条(18)分别与中心齿轮(15)啮合。
5.根据权利要求2所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述刮板(11)的截面为弧形，所述刮板(11)的圆心指向放置板(3)方向。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻胶涂覆装置，包括点胶机(1)，其特征在于：所述点胶机(1)底部设置有固定台(2)，所述固定台(2)上安设有放置板(3)，所述固定台(2)上还安设有固定块(4)，所述固定块(4)上开设有竖槽(5)，所述竖槽(5)中安设有推动机构，所述放置板(3)中开设有工作腔，所述工作腔中安设有转动机构，所述放置板(3)两侧分别安设有连接杆(6)，两个所述连接杆(6)相互靠近一端分别安设有抵板(7)，两个所述抵板(7)均位于放置板(3)上方。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述推动机构包括侧面齿条(8)、曲形杆(9)、运动板(10)以及刮板(11)，所述侧面齿条(8)安设在竖槽(5)中，所述曲形杆(9)的截面为“l”形，所述曲形杆(9)短边与侧面齿条(8)顶壁固定连接，所述曲形杆(9)长边与运动板(10)侧壁固定连接，所述刮板(11)安设在运动板(10)底壁，所述刮板(11)底壁与放置板(3)顶壁位于同一高度，所述放置板(3)侧壁开设有与侧面齿条(8)位于同一高度的运动孔(12)，所述运动孔(12)与工作腔连通。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：张同锦，宋慧洁，赖桢岚，
申请(专利权)人：合肥汉旸科技材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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